硅片酸洗减薄用提篮的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及硅片化学减薄技术，特别是一种硅片酸洗减薄用提篮。
【背景技术】
[0002]硅片减薄技术主要应用于6500V高压系列的可控硅、整流二极管、高密度二极管的生产工艺，单面减薄的作用是提高硅片单面的表面毫伏数，以便于下一步磷扩散工序的顺利完成。目前，国内其他企业都采用常规减薄工艺，即用磨床减薄，其存在如下问题:减薄的均匀性差，减去的厚度难以精确控制，容易碎片，而且经过金刚砂研磨，又引入杂质，造成硅片表面态难以控制。
【发明内容】
[0003]本实用新型的目的是为了提供一种解决上述问题的结构设计合理、使用可靠的硅片酸洗减薄用提篮，实现硅片单面化学减薄，不仅生产批量大，而且提高了成品率，节省资源，降低生产成本。
[0004]本实用新型的技术方案是:
[0005]—种硅片酸洗减薄用提篮，其特征在于:由两个圆形固定板、横向连接于两个圆形固定板之间的圆柱状围笼、设于两个圆形固定板外侧面的转轴及对称设于两个圆形固定板外周面上的提手组成，所述圆形固定板、圆柱状围笼和转轴的轴心线重合，所述圆柱状围笼由围笼本体、与围笼本体铰接的半圆状笼盖组成，所述半圆状笼盖的开口侧边沿与围笼本体利用锁扣连接，所述围笼本体底面最低位置处沿围笼本体长度方向均匀间隔设置多个隔棱。
[0006]上述的硅片酸洗减薄用提篮，所述锁扣由设于围笼本体上的旋转扭和设于半圆状笼盖上的锁孔组成，所述旋转扭穿过锁孔后旋转90度到达锁紧位置。
[0007]上述的硅片酸洗减薄用提篮，所述圆柱状围笼由柔性耐腐蚀材料编制而成，以具有径向伸展空间。
[0008]本实用新型的有益效果是:
[0009]1、使用时，通过提篮带动硅片在装有酸液的箱体内旋转，旋转的同时实现减薄，对于原始硅片有效的控制了单片均匀性、重复性和稳定性，提高了最终成品率；
[0010]2、圆柱状围笼对硅片具有盛装并固定位置的作用，防止由于硅片在围笼内晃动导致碎片，安全可靠；
[0011]3、由于圆柱状围笼底部沿其长度方向均匀设有多个隔棱，则可实现大量硅片的同时装夹，实现硅片减薄的批量生产，显著提高了工作效率，同时也方便了对硅片的夹装工作，一致性好。
[0012]综上，本申请的化学减薄方式对于成品芯片压降等动态参数的提升起到非常重要的作用，且有效的降低了磷扩时间，达到节能的目的。
【附图说明】
[0013]图1是本实用新型的结构示意图；
[0014]图2是图1的后视图；
[0015]图3是本实用新型夹装部分硅片的结构示意图；
[0016]图4是图3中A部放大图；
[0017]图5是图3中B部放大图；
[0018]图6是图1的侧视图。
[0019]图中:1.转轴、2.圆形固定板、3.围笼本体、4.隔棱、5.提手、6.半圆状笼盖、7.锁扣、701.旋转扭、702.锁孔、8.硅片。
【具体实施方式】
[0020]如图所示，该硅片酸洗减薄用提篮，由两个圆形固定板2、横向连接于两个圆形固定板2之间的圆柱状围笼、设于两个圆形固定板2外侧面的转轴1及对称设于两个圆形固定板2外周面上的提手5组成，所述圆形固定板2、圆柱状围笼和转轴1的轴心线重合，所述圆柱状围笼由围笼本体3、与围笼本体3铰接的半圆状笼盖6组成。所述半圆状笼盖6的开口侧边沿与围笼本体3利用锁扣7连接，本实施例中，所述锁扣7由设于围笼本体3上的旋转扭701和设于半圆状笼盖6上的锁孔702组成，所述旋转扭701穿过锁孔702后旋转90度到达锁紧位置。所述圆柱状围笼由柔性耐腐蚀材料编制而成，以具有径向伸展空间，硅片8被放入后能够实现夹紧硅片8的作用。所述围笼本体3底面最低位置处沿围笼本体3长度方向均匀间隔设置多个隔棱4，相邻的隔棱4之间形成放置硅片8的间隙，该间隙大于硅片8的厚度，以便于酸液进入。
[0021]使用时，把硅片8立放入圆柱状围笼中，各片硅片8利用隔棱4间隔，再把提篮放入加入适量的混酸液体的箱体内并驱动其旋转，使酸液进入到各片硅片8之间，实现减薄。
【主权项】
1.一种硅片酸洗减薄用提篮，其特征在于:由两个圆形固定板、横向连接于两个圆形固定板之间的圆柱状围笼、设于两个圆形固定板外侧面的转轴及对称设于两个圆形固定板外周面上的提手组成，所述圆形固定板、圆柱状围笼和转轴的轴心线重合，所述圆柱状围笼由围笼本体、与围笼本体铰接的半圆状笼盖组成，所述半圆状笼盖的开口侧边沿与围笼本体利用锁扣连接，所述围笼本体底面最低位置处沿围笼本体长度方向均匀间隔设置多个隔棱。2.根据权利要求1所述的硅片酸洗减薄用提篮，其特征在于:所述锁扣由设于围笼本体上的旋转扭和设于半圆状笼盖上的锁孔组成，所述旋转扭穿过锁孔后旋转90度到达锁紧位置。3.根据权利要求1所述的硅片酸洗减薄用提篮，其特征在于:所述圆柱状围笼由柔性耐腐蚀材料编制而成。
【专利摘要】本实用新型涉及一种硅片酸洗减薄用提篮，其特征在于：由两个圆形固定板、横向连接于两个圆形固定板之间的圆柱状围笼、设于两个圆形固定板外侧面的转轴及对称设于两个圆形固定板外周面上的提手组成，所述圆形固定板、圆柱状围笼和转轴的轴心线重合，所述圆柱状围笼由围笼本体、与围笼本体铰接的半圆状笼盖组成，所述半圆状笼盖的开口侧边沿与围笼本体利用锁扣连接，所述围笼本体底面最低位置处沿围笼本体长度方向均匀间隔设置多个隔棱。其结构设计合理、使用可靠，实现硅片单面化学减薄，不仅生产批量大，而且提高了成品率，节省资源，降低生产成本。
【IPC分类】H01L21/673
【公开号】CN205028888
【申请号】CN201520809100
【发明人】陈鹏
【申请人】锦州阳光能源有限公司
【公开日】2016年2月10日
【申请日】2015年10月19日