专利名称：一种用于装载扩散磷源的源瓶的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种用于装载扩散磷源的源瓶，特别涉及太阳能电池制作过程中用于装载扩散磷源的源瓶。
背景技术：
扩散工序是太阳能电池生产过程中的一个核心工序，其是在硅晶体表面进行扩散形成PN结，在这一工序中是将源瓶中的磷源以气体的形式经出气管引入到石英炉中进行扩散反应。在扩散工序中常用的是三氯氧磷液态源扩散，将液态三氯氧磷装载在源瓶中。现有的源瓶包括瓶体、设置在瓶体上的进气管和出气管，在需要测量温度时，必须在灌入三氯氧磷前或取出源瓶后测量温度，碰到有毒、易挥发和温度过高的环境时，测量温度的危险性较大，不容易进行测量。
发明内容本实用新型所要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种用于装载扩散磷源的源瓶，无需取出源瓶就可直接测量瓶内温度。为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案一种用于装载扩散磷源的源瓶，其包括瓶体、设置在瓶体上的进气管和出气管，所述源瓶还包括设置在所述瓶体内的热电偶保护管。所述瓶体的材料优选为熔凝石英，其中以高纯度熔凝石英为最佳。热电偶保护管作为温度传感器，与温度变送器，调节器及显示仪表等配套，即可直接测量或控制各种生产过程中0-1800°C范围内的流体的温度。根据本实用新型，所述的热电偶保护管的材质可优选为高纯度熔凝石英。优选地，所述瓶体的底部内表面为自中部向四周逐渐降低的凸面，出气管位于瓶体的边缘使得出气管的下端口对应位于瓶体的较低的表面上方，如此，利于出气管更多的将磷源带出，最大程度地使用磷源，避免浪费。由于采用以上技术方案的实施，本实用新型与现有技术相比具有如下优点本实用新型具有设置在瓶体内的热电偶保护管，在需要测量瓶体内温度时，无需取出瓶源，只需将热电偶保护管与温度变送器，调节器及显示仪表等配套连接，即可获得温度数据，温度测量既方便又安全。
下面结合具体的实施例，对本实用新型做进一步详细的说明。图1为用于装载扩散磷源的源瓶的主视剖视图；图2为图1的俯视图；其中1、瓶体；2、进气管；3、出气管；30、下端口 ；4、热电偶保护管。
具体实施方式
如 图1和2所示，按照本实施例的用于装载扩散磷源的源瓶包括瓶体1、设置在瓶体1上的进气管2和出气管3以及设置在瓶体1内的热电偶保护管4。瓶体1的材质为石英，其底部内表面为自中部向四周逐渐降低的凸面，出气管3位于瓶体1的边缘使得出气管3的下端口 30对应位于瓶体1的较低的表面上方，如此，利于出气管更多的将磷源带出， 最大程度地使用磷源，避免浪费。热电偶保护管4的材质为高纯度熔凝石英，优点是耐酸、 耐腐蚀、耐高温。本实用新型通过在瓶体内增设热电偶保护管，使得无需取出源瓶就可直接测量温度，方便、安全。以上对本实用新型做了详尽的描述，其目的在于让熟悉此领域技术的人士能够了解本实用新型的内容并加以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围，凡根据本实用新型的精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围内。
权利要求1.一种用于装载扩散磷源的源瓶，包括瓶体(1)、设置在所述瓶体(1)上的进气管(2) 和出气管(3)，其特征在于所述源瓶还包括设置在所述瓶体(1)内的热电偶保护管(4)。
2.根据权利要求1所述的用于装载扩散磷源的源瓶，其特征在于所述的瓶体(1)的材质为熔凝石英。
3.根据权利要求1或2所述的用于装载扩散磷源的源瓶，其特征在于所述的热电偶保护管(4)的材质为熔凝石英。
4.根据权利要求1所述的用于装载扩散磷源的源瓶，其特征在于所述瓶体(1)的底部内表面为自中部向四周逐渐降低的凸面，所述的出气管(3)位于所述瓶体(1)的边缘使得出气管(3)的下端口(30)对应位于所述瓶体(1)的较低的表面上方。
专利摘要本实用新型涉及一种用于装载扩散磷源的源瓶，其包括瓶体、设置在瓶体上的进气管和出气管，所述源瓶还包括设置在所述瓶体内的热电偶保护管。本实用新型具有设置在瓶体内的热电偶保护管，在需要测量瓶体内温度时，无需取出瓶源，只需将热电偶保护管与温度变送器，调节器及显示仪表等配套连接，即可获得温度数据，温度测量既方便又安全。
文档编号F17C1/10GK202032285SQ20112013349
公开日2011年11月9日 申请日期2011年4月29日 优先权日2011年4月29日
发明者沈法松 申请人:苏州凯西石英电子有限公司