一种区熔单晶炉用锥形保温桶的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种区熔单晶炉用锥形保温桶。
【背景技术】
[0002]随着集成电路等电子领域的不断发展，对单晶硅的需求量在不断增加。为满足对单晶硅的需求，国内外许多晶体生长厂家纷纷扩大其产量。晶体热场系统是直拉硅单晶生长设备的核心，所以热场的优劣对单晶硅的质量有着直接影响。在实际生产中我们发现，硅单晶在区熔保持的过程中易产生开裂的情况。
[0003]区熔单晶以其高纯度，高阻值而被广泛应用于电力电子领域。但由于巨大的温度梯度产生的热应力，对于大直径区熔硅单晶要做到晶体完美性和一致性好，对晶体生长设备和晶体生长工艺均是一种巨大的考验。硅单晶在进行单晶生长时，由于物象的转化(液相转化为固相)，不断放出固相潜热，同时，晶体越拉越长，熔体液面不断下降，热量的传导、辐射等情况都在发生变化，现有的保温桶为直筒型，在使用过程中对防止温度梯度过大效果不明显，需要改进，特别是CFZ料致密度较差，容易断裂。
【发明内容】
[0004]鉴于现有技术存在的问题，本实用新型提供一种上大下小的倒锥形桶体结构，这种桶体结构可以减少CFZ料断裂情况的发生。
[0005]本实用新型为实现上述目的，所采用的技术方案是:一种区熔单晶炉用锥形保温桶，包括桶体、把手、封闭圆环，其特征在于:所述桶体为上大下小的倒锥形桶体;所述把手上面开有条状中轴孔;所述封闭圆环固定于桶体上端的外桶体壁上，把手固定于封闭圆环上。
[0006]本实用新型的有益效果是:采用该保温桶的设计，能够有效避免硅单晶在区熔保持过程中易产生开裂的情况的发生。结构简单，可以提高热场的稳定性，延长区熔炉的使用寿命O
【附图说明】
[0007]图1是本实用新型的结构正视图；
[0008]图2是本实用新型的结构俯视图。
【具体实施方式】
[0009]如图1、2所示，一种单晶炉用锥形保温桶，包括桶体1、把手2、封闭圆环3，桶体I为上大下小的倒锥形桶体，采用无氧铜材质制作，桶体I内部为光滑状桶体;把手2上面开有条状中轴孔2-1;封闭圆环3的内径与桶体I上端口外径相同，且通过焊接将封闭圆环3固定于桶体I上端口的外桶体壁上，将把手2通过焊接固定于封闭圆环3上，完成焊接后通过去毛刺，清除焊渣。
[0010]桶体I采用无氧铜材质，无氧铜无氢脆现象，导电率更高，加工性能和焊接性能好。
[0011]补充使用方法:此保温桶在使用时，用螺栓通过把手2上面开有条状中轴孔2-1与区熔炉连接，多晶硅棒处于保温桶的上方，经过高频热场的作用多晶硅棒转化为单晶硅棒，在锥形保温桶的作用下温度梯度变化不明显，以保证单晶硅的产品质量。
【主权项】
1.一种区熔单晶炉用锥形保温桶，包括桶体(1)、把手(2)、封闭圆环(3)，其特征在于:所述桶体(I)为上大下小的倒锥形桶体;所述把手(2)上面开有条状中轴孔(2-1);所述封闭圆环(3)固定于桶体(I)上端的外桶体壁上，把手(2)固定于封闭圆环(3)上。2.如权利要求1所述的一种区熔单晶炉用锥形保温桶，其特征在于:桶体(I)采用无氧铜材质。
【专利摘要】本实用新型涉及一种区熔单晶炉用锥形保温桶。包括桶体、把手、封闭圆环，桶体为上大下小的倒锥形桶体；把手上面开有条状中轴孔；封闭圆环固定于桶体上端的外桶体壁上，把手固定于封闭圆环上。本实用新型的有益效果是：采用该保温桶的设计，能够有效避免硅单晶在区熔保持过程中易产生开裂的情况的发生。结构简单，可以提高热场的稳定性，延长区熔炉的使用寿命。
【IPC分类】C30B29/06, C30B13/00
【公开号】CN205171011
【申请号】CN201520841552
【发明人】姚长娟, 靳立辉, 高树良, 白聪轩, 李宇佳, 王遵义
【申请人】天津中环半导体股份有限公司
【公开日】2016年4月20日
【申请日】2015年10月28日