硅通孔中一步法化学接枝有机绝缘膜的方法与流程

文档序号:11828488阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种硅通孔中一步法化学接枝有机绝缘膜的方法,其特征在于,包括以下步骤:将带有硅通孔的硅片进行预处理后,置于电解质溶液中进行化学镀,即可。

2.如权利要求1所述的硅通孔中一步法化学接枝有机绝缘膜的方法,其特征在于,所述电解质溶液包括以下浓度的各组分:所述表面活性剂的浓度为不超过20g/L,所述有机单体的浓度为不超过其溶解度,所述重氮盐的浓度为0.1~10g/L,所述氟离子的浓度为0.1~8mol/L。

3.如权利要求2所述的硅通孔中一步法化学接枝有机绝缘膜的方法,其特征在于,所述表面活性剂包括十二烷基磺酸钠、硫酸化蓖麻油中的至少一种;所述有机单体包括聚甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸、2-(全氟辛基)乙基甲基丙烯酸酯、甲基丙烯酸三氟乙酯中的至少一种;所述重氮盐包括四氟硼酸重氮盐,吡唑重氮内盐,三蝶烯重氮盐中的至少一种。

4.如权利要求1或2所述的硅通孔中一步法化学接枝有机绝缘膜的方法,其特征在于,所述电解质溶液的pH值不超过3。

5.如权利要求1所述的硅通孔中一步法化学接枝有机绝缘膜的方法,其特征在于,所述化学镀的温度为5-30℃,时间为0.1-10h。

6.如权利要求1所述的硅通孔中一步法化学接枝有机绝缘膜的方法,其特征在于,所述硅通孔的孔径为1-500μm,深度为1-500μm。

7.如权利要求1所述的硅通孔中一步法化学接枝有机绝缘膜的方法,其特征在于,所述硅片为n型或者p型,电阻率在0-1000Ω/m。

8.如权利要求1所述的硅通孔中一步法化学接枝有机绝缘膜的方法,其特征在于,所述真空预处理具体采用以下步骤:将带有硅通孔的硅片依次用丙酮、酒精、去离子水超声清洗5-15分钟。

9.如权利要求1所述的硅通孔中一步法化学接枝有机绝缘膜的方法,其特征在于,所述有机绝缘膜在硅通孔侧壁的厚度为0.01-3μm,在硅通孔底部的厚度为0.01-10μm。

10.如权利要求9所述的硅通孔中一步法化学接枝有机绝缘膜的方法,其特征在于,所述有机绝缘膜的击穿电压为0.5-1.5MV/cm。

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