本发明涉及光刻胶技术领域，具体来说涉及一种光刻胶树脂单体。
背景技术：
光刻胶，又称光致抗蚀剂，是光刻技术中涉及的最关键的功能性化学材料，主要成分是树脂、光致产酸剂以及相应的添加剂和溶剂，这类材料具有光(包括可见光、紫外线、电子束等)化学敏感性，经光化学反应，本身在显影液中的溶解性发生变化。
光刻胶的化学敏感性是由光致产酸剂与聚合树脂的协同作用产生的，光致产酸剂在曝光后会产生光酸，光酸与聚合物树脂上的酸敏基团发生反应，引起某些基团的脱落或者聚合，从而使得树脂的极性发生了改变，进而影响了整个光刻胶的极性变化，进一步，这种极性变化带来了光刻胶在曝光前后在显影液中的溶解差异，通过曝光和显影，可以在光刻胶上留下图案。根据显影溶剂和光刻胶的性质不同，会产生与掩模板图形相同或者相反的图案，这种图案称为正性图案或者负性图案。
光酸扩散是影响光刻图案的线宽粗糙度的重要因素，目前，解决光酸扩散的方法主要有：
(1)向光刻胶组成中添加碱性光酸抑制剂；这些光酸抑制剂多为胺类结构的分子；
(2)将光致产酸剂的阴离子部分设计成体积较大的基团；抑制光酸的迁移；
(3)将光致产酸剂与不饱和键用共价键连接设计成树脂单体。
技术实现要素：
本发明所要解决的技术问题在于克服现有技术中存在的缺点，提供一种合成方便、结构简单的新结构的光刻胶树脂单体。
其所要解决的技术问题可以通过以下技术方案来实施。
一种光刻胶树脂单体，该树脂单体具有以下结构ⅰ：
其中，r1为h、甲基或者三氟甲基；r2为h或者c1～c6的饱和烷烃；r3为c1～c10的氟代烷烃r4为c1～c8烷烃或者c3～c16环烷烃；x为-co-、-coo-或者，-ch2ch2o-或连接键。
进一步地，r3与磺酸根组成的结构包括：
进一步地，r4包括亚甲基、金刚烷、环己烷、环戊烷或降冰片环。
优选的，该树脂单体为以下结构ⅱ或结构ⅲ：
更进一步的，光刻胶树脂单体选自以下结构中的一种：
本发明提供的树脂单体结构中含有锍盐类光致酸产生剂，且锍盐类光致酸产生剂的阴阳离子位于同一个结构中，适用于193nm、euv、电子束下的光致抗蚀剂使用。
其有益效果如下：
本发明的树脂单体能够显著降低光酸的扩散，改善光刻图案的线宽粗糙度，大大提高分辨率。
具体实施方式
下面对通过具体的实施例对本发明的具体技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。
实施例1：
中间体1-2的合成
将4,4’-二(羟苯基)溴化碘鎓(100g，254mmol)加入到氯苯(250g)中，加入2-(苯硫基)乙醇(39.8g，258mmol)，25℃下搅拌半小时，添加安息酸铜(1g)，升到100℃，在100℃下搅拌反应1小时，反应液浓缩得到浓缩物，浓缩物加入400g氯苯和100g去离子水，25摄氏度搅拌半小时，静置，分液得到有机层，水洗操作重复3次，有机相过滤，加入150g甲基叔丁基醚搅拌，静置后，除去上清液，剩余部分用乙腈溶解，浓缩干燥后得到中间体1-2(62.7g，收率75.4％)。
实施例2：
树脂单体1
步骤1：
将中间体1-2(20g，61.1mmol)，羧基二氟甲磺酸钠(12.1g，61.1mmol)加入到甲苯(100ml)中，加入对甲基苯磺酸(1.5g，8.7mmol)，将反应液回流16小时，反应液冷却后过滤得到固体，固体用乙腈(50ml)清洗三次，将混合的乙腈溶液进行浓缩，并加入到甲基叔丁基醚(80ml)，搅拌半小时，过滤上述混合液，收集烘干滤饼得到中间体2-1(19.3g，收率78.1％)。
步骤2：
将2-(丙烯酰氧基)乙酸(5g，38.4mmol)和二环己基碳二亚胺(3.97g，19.2mmol)加入到二氯甲烷(50ml)中，在0℃搅拌下加入羰基二咪唑(3.1g，19.1mmol)，在0℃下搅拌一小时，继续升温到室温搅拌30分钟，反应液过滤，滤液旋干得到固体。将固体和中间体2-1(15.3g，37.3mmol)加入到乙腈(120ml)中，搅拌下反应3小时，加入去离子水(50ml)，用二氯甲烷(100ml×3)萃取三次，合并有机相后真空下浓缩，得到固体经柱层析纯化(二氯甲烷：甲醇＝1：1)得到树脂单体2-2(12.7g，收率65.9％)。
实施例3：
合成方法和实施例2相同，按照实施例2中的投料摩尔比将羧基二氟甲磺酸钠替换为2-羧基-1，1’-二氟乙烷-1-磺酸钠；中间体2-1替换为中间体3-1；2-(丙烯酰氧基)乙酸替换为3-甲基丙烯酰氧基金刚烷-1-羧酸，其它反应物按摩尔比投料，得到树脂单体3-2(18.6g)，两步收率为45.8％。
实施例4：
步骤1：
合成中间体4-1：
将1,1-二氟-2-羟基乙烷-1-磺酸钠(10g，54.3mmol)溶解在氯仿(100ml)中，室温下搅拌下加入羰基二咪唑(8.8g，54.3mmol)，升至60℃下反应12小时，加水(50ml)，用氯仿(50ml×3)萃取三次，合并有机相，有机相用水(50ml×6)洗涤6次，浓缩后得到中间体4-1(14.4g，收率95.4％)。
合成中间体4-2：
将中间体1-2(16.9g，51.6mmol)和中间体4-1(14.4g，51.8mmol)加入到氯仿(120ml)中，室温下搅拌3小时，加入水(50ml)，分液，有机相用水(40ml×6)洗6次，有机相浓缩得到中间体4-2(15.8g，70.4％)。
步骤2：
将3-甲基丙烯酰氧基金刚烷-1-羧酸(10.1g，38.2mmol)和二环己基碳二亚胺(3.97g，19.2mmol)加入到二氯甲烷(100ml)中，在0℃搅拌下加入羰基二咪唑(3.1g，19.1mmol)，在0℃下搅拌一小时，继续升温到室温搅拌30分钟，反应液过滤，滤液旋干得到固体。将得到的固体(11.5g，36.6mmol)和中间体4-2(15.9g，36.6mmol)加入到乙腈(150ml)中，搅拌下反应3小时，加入去离子水(60ml)，用二氯甲烷(100ml×3)萃取三次，合并有机相后真空下浓缩，得到固体经柱层析纯化(二氯甲烷：甲醇＝2：1)得到树脂单体4-3(13.7g，收率55.0％)。
实施例5：
合成方法和实施例1相同，将2-(苯硫基)乙醇(39.8g，258mmol)替换为2-(对叔丁基苯硫基)乙醇(54.3g，258mmol)，其它反应物量保持不变，得到5-1(70.8g，收率71.6％)。
实施例6：
步骤1：
将中间体5-1(20g，52.2mmol)，2-羧基-1，1’-二氟乙烷-1-磺酸钠(11.1g，52.3mmol)加入到甲苯(120ml)中，加入对甲基苯磺酸(1.0g，5.8mmol)，将反应液回流16小时，反应液冷却后过滤得到固体，固体用乙腈(60ml)清洗三次，将混合的乙腈溶液进行浓缩，并加入到甲基叔丁基醚(60ml)，搅拌半小时，过滤上述混合液，收集烘干滤饼得到中间体6-1(18.2g，收率73.5％)。
步骤2：
将3-甲基丙烯酰氧基金刚烷-1-羧酸(10g，37.8mmol)和二环己基碳二亚胺(3.9g，18.9mmol)加入到二氯甲烷(100ml)中，在0℃搅拌下加入羰基二咪唑(3.1g，19.1mmol)，在0℃下搅拌一小时，继续升温到室温搅拌30分钟，反应液过滤，滤液旋干得到固体。将固体和中间体6-1(18.0g，37.8mmol)加入到乙腈(120ml)中，搅拌下反应3小时，加入去离子水(50ml)，用二氯甲烷(100ml×3)萃取三次，合并有机相后真空下浓缩，得到固体经柱层析纯化(二氯甲烷：甲醇＝1：1)得到树脂单体6-2(17.6g，收率64.5％)。
以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。