本技术涉及清洗剂，尤其是涉及一种清槽液及其制备方法和应用。
背景技术：
1、在显影过程中，光阻材料(如负性光阻和正性光阻)与显影液发生作用，未曝光或曝光的部分光阻溶解，如果这些溶解物在腔室或管道内长时间积累，会结块形成污垢。此外，显影槽在使用过程中还可能会有化学成分残留，如丙烯酸树脂、丙烯酯单体、盐酸与乙基-4-二亚甲胺苯酸脂等材料，这些残留物也会形成污垢。同时，可能还会有部分干膜残留。
2、这些污垢或残留物粘附于槽壁或行辘滚轮，堵塞喷嘴，严重影响显影效果。这些残留物可能会干扰显影液与板面的正常接触，导致显影不均匀。大量未清洗干净的干膜会堵塞管路，降低显影槽使用寿命，影响显影效率。显影槽内的残留物和沉淀物可能会反粘在板面上而造成污染，对化金、化锡等后续制程造成不良，增加不良品率。喷嘴堵塞会减少显影液的喷洒量，影响显影液的均匀分布，进而影响显影质量。粘附于行辘滚轮上的残留物易划伤干膜或油墨，从而影响显影工序的品质，导致显影良品率下降。
3、现有技术中，有用稀硫酸浸泡清洗的，然而，清洗效果差，耗时长，而且喷嘴和行辘滚轮须取下单独清洗才能清洗干净，清洗工艺复杂，效率低。
4、因此，提供一种清洗效率高，清洗效果好的清槽液显得很有必要。
技术实现思路
1、为了解决上述至少一种技术问题，本技术提供一种清槽液及其制备方法和应用。该清槽剂在1.5h甚至1h内即可将显影槽、行辘滚轮、显影槽的喷淋喷嘴清洗干净，清洗效率高，其在常温下，即可对显影槽、行辘滚轮、显影槽的喷淋喷嘴进行清洗，且行辘滚轮、显影槽的喷淋喷嘴不需要拆下清洗。
2、一方面，本技术提供一种清槽剂，其特征在于，包括以下重量份的原料：1-2.5重量份的柠檬酸、0.3-0.8重量份的氨基磺酸、0.4-1重量份的乙二胺四乙酸钠盐、0.1-0.15重量份的海藻酸钠、0.1-0.18重量份的胶体、75-85重量份的水以及1-2重量份的添加剂，所述添加剂包括油酰胺丙基二甲胺、椰油酰胺丙基二甲基叔胺和辛基酚聚氧乙烯醚。
3、通过采用上述技术方案，辛基酚聚氧乙烯醚具有优异的润湿和渗透性能，这使得它能够帮助清洗剂更好地接触并渗透到污垢中，从而提高清洗效率，此外，辛基酚聚氧乙烯醚还具有良好的乳化性能，能够将污垢分解成非常细小的颗粒，从而将其从清洗对象表面驱逐下来，同时，辛基酚聚氧乙烯醚还具有分散作用，可以帮助分散污垢颗粒，防止它们重新沉积到清洗对象表面，提高清洗效果。油酰胺丙基二甲胺可以提高清洗剂在不同环境下的稳定性，使其在各种环境下都能保持高效，其次，可以增加清洗剂对难溶污垢的溶解能力，从而提高清洗效率，油酰胺丙基二甲胺还有助于降低水的表面张力，使清洗剂能够更好地渗透到污垢和被清洗表面之间，提高清洗效果。椰油酰胺丙基二甲基叔胺作为一种非离子表面活性剂，能够降低水的表面张力，提高清洗剂的润湿和渗透能力，使清洗剂更好地接触并去除污垢，并且具有抗静电性能，可以减少清洗过程中的静电问题，提高清洗效率。
4、可选的，所述添加剂中，油酰胺丙基二甲胺、椰油酰胺丙基二甲基叔胺和辛基酚聚氧乙烯醚的质量比为1:(1.5-3):(0.5-1.5)。
5、通过采用上述技术方案，油酰胺丙基二甲胺、椰油酰胺丙基二甲基叔胺和辛基酚聚氧乙烯醚按照一定比例混合，可以充分发挥各自的优势，提高清洗剂对油脂和一些难溶物质的溶解能力，从而提高清洗效率，使清洗剂能够更好地渗透到污垢和被清洗表面之间，提高清洗效果。在该体系下对显影槽实现快速高效清洗。
6、可选的，所述胶体包括黄原胶和魔芋胶中的至少一种。
7、通过采用上述技术方案，加入黄原胶和魔芋胶，可以形成稳定的胶体溶液，这有助于清洗剂中的有效成分均匀分布，提高清洗效率。
8、可选的，所述胶体与所述海藻酸钠的质量比为(0.66-1.8):1。
9、通过采用上述技术方案，海藻酸钠在清洗过程中的作用一方面通过其阴离子基团与污染物中的基团通过氢键结合，形成稳定的聚集体，从而帮助去除污染物质。另一方面，海藻酸钠能够形成凝胶，这种特性可以用于在清洗过程中形成保护层，减少污染物再次附着在清洗物表面。通过控制所述胶体与所述海藻酸钠的质量比，可以进一步将清洗剂流动性及粘度控制在合理水平，控制清洁剂的微观滞留速度，提高清洗效率。
10、可选的，所述乙二胺四乙酸钠盐选自乙二胺四乙酸二钠盐和乙二胺四乙酸四钠盐中的至少一种。
11、第二方面，本技术提供了上述清槽剂的制备方法，包括：将原料混合，搅拌，得到所述清洗剂。
12、可选的，所述搅拌包括先以400-600r/min的转速搅拌10-20min，再以1800-2200r/min的转速搅拌15-25min。
13、通过采用上述技术方案，通过高速搅拌，可以改变混合体系的流变性质，更易于在清洗件表面形成膜，避免污染物附着，提高清洗效率。
14、可选的，所述的清槽剂的制备方法，包括：
15、步骤1)：将海藻酸钠、黄原胶加入水中，以400-600r/min的转速搅拌10-20min，再以1800-2200r/min的转速搅拌15-25min；
16、步骤2)：加入剩余原料，搅拌均匀，得到所述清洗剂。
17、第三方面，本技术提供了上述清槽剂在清洗显影槽、行辘滚轮、显影槽的喷淋喷嘴中的应用。
18、第四方面，本技术提供了上述清槽剂清洗显影槽、行辘滚轮、显影槽的喷淋喷嘴的方法，包括：将显影槽液排放，用水循环8-15min，加入上述的清槽剂，启动喷淋泵浦，循环喷淋清洗，完毕后，排放清槽液，用水循环清洗，排掉清洗水，再注入显影液，循环使用。
19、通过采用上述技术方案，在常温下，即可对显影槽、行辘滚轮、显影槽的喷淋喷嘴进行清洗，且行辘滚轮、显影槽的喷淋喷嘴不需要拆下清洗，此外，用上述清槽剂清洗，在1.5h甚至1h内即可将显影槽、行辘滚轮、显影槽的喷淋喷嘴清洗干净，清洗效率高。
20、综上所述，本发明包括以下至少一种有益技术效果：
21、1.本技术提供一种清槽剂，清槽剂中，油酰胺丙基二甲胺、椰油酰胺丙基二甲基叔胺和辛基酚聚氧乙烯醚按照一定比例混合，可以充分发挥各自的优势，提高清洗剂对油脂和一些难溶物质的溶解能力，从而提高清洗效率，使清洗剂能够更好地渗透到污垢和被清洗表面之间，提高清洗效果，此外，加入胶体和海藻酸钠，将清洗剂流动性及粘度控制在合理水平，控制清洁剂的微观滞留速度，提高清洗效率，该清槽剂在1.5h甚至1h内即可将显影槽、行辘滚轮、显影槽的喷淋喷嘴清洗干净，清洗效率高。
22、2.本技术还提供一种上述清槽剂的制备方法，其制备方法简单，易于产业化。
23、3.本技术还提供一种上述清槽剂在清洗显影槽、行辘滚轮、显影槽的喷淋喷嘴中的应用。
24、4.本技术还提供一种上述清槽剂清洗显影槽、行辘滚轮、显影槽的喷淋喷嘴的方法。其在常温下，即可对显影槽、行辘滚轮、显影槽的喷淋喷嘴进行清洗，且行辘滚轮、显影槽的喷淋喷嘴不需要拆下清洗。
25、具体实施方式
26、以下结合具体实施例对本发明作进一步说明，但下列实施例仅用于说明本发明，而不应视为限制本发明的范围。以下实施例中未注明具体条件者，按照常规条件或制造商建议的条件进行，使用的方法如无特别说明，均为本领域公知的常规方法，使用的耗材和试剂如无特别说明，均为市场购得。除非另有说明，本文中所用的专业与科学术语与本领域熟练人员所熟悉的意义相同。此外，任何与所记载内容相似或均等的方法或材料也可应用于本发明中。椰油酰胺丙基二甲基叔胺：cas:68140-01-2，购自武汉吉业升化工有限公司。黄原胶购自江苏维之润生物科技有限公司。魔芋胶购自山东丰泰生物科技有限公司。油酰胺丙基二甲胺：cas:109-28-4，购自邹平铭兴化工有限公司。辛基酚聚氧乙烯醚购自淄博海杰化工有限公司的辛基酚聚氧乙烯醚op-10。