专利名称：液滴喷出装置、液滴喷出装置的处理方法及器件制造方法
技术领域：
本发明涉及具有从喷嘴开口将规定的液体作为液滴喷出的液滴喷头和将该液滴喷头的喷嘴开口封堵(加帽)而防止液体干燥或喷嘴开口堵塞的加帽装置的液滴喷出装置、液滴喷出装置的处理方法及器件制造方法。
背景技术：
液滴喷头包括收纳规定的液体的压力发生室、向压力发生室加压的压电元件、与压力发生室连通的喷嘴开口，通过用压电元件对压力发生室的液体加压，将微量液体作为液滴从喷嘴开口喷出。此种构成的液滴喷头在喷嘴开口附近的液体蒸发或液滴喷头内有气泡停留时，产生液滴的喷出不良。由此，这种液滴喷头必须有封堵喷嘴开口(加帽)而防止液体干燥或喷嘴开口的堵塞的加帽装置。
加帽装置具备封堵喷嘴开口的封堵部和向封堵部内提供负压的抽吸泵。该加帽装置不仅用封堵部将液滴喷头的喷嘴开口封堵，而且还可以通过抽吸泵使负压作用于封堵部内而从喷嘴开口强制性地将液体排出，由此也能够将喷嘴开口的附近增粘的液体或停留在压力发生室中的气泡排出。
关于已具有这些液滴喷头及加帽装置的以往的液滴喷出装置的详细情况，例如公布在下面的专利文献1中。
专利文献1特开2001-018408号公报在该专利文献1所述的液滴喷出装置中，在加帽装置的封堵部内设有吸收材料，在非印刷时或电源关闭状态下，为了减少封堵后的液体从喷嘴开口中蒸发，在喷嘴开口封堵前预先从保湿液罐将规定量的保湿液提供给吸收材料，由此来保持封堵部内的湿润状态。
但是，由于使保湿液从搭载于承载器上的保湿液罐上滴下，因此承载器重量变重，并导致其大型化，有难以避免承载器马达的高成本化的问题。
另外，即使使用加帽装置来封堵液滴喷头的喷嘴开口，当其封堵时间很长时，由于液体的流道及喷嘴开口的液体的蒸发或加帽装置内的干燥所造成的保湿性降低等原因，产生液体的增粘，有喷嘴开口堵塞的情况。
所以，也要求可以在喷嘴开口封堵后每隔一定时间，在维持喷嘴开口封堵的状态下向封堵部内供给保湿液。
另外，作为消除喷嘴开口的堵塞的方法，除了使用加帽装置的方法以外，还有如下的方法，即，使负压作用于液滴喷头的喷嘴形成面(形成有喷嘴开口部的面)并在从喷嘴开口抽吸液体后、用擦拭器擦抹喷嘴形成面的清洁法，以及增大由压电元件施加在压力发生室上的压力以将比通常的液滴喷出量更多的液滴强制性地喷出的冲洗法，但问题是在这些方法中，液体会被白白地消耗掉，并且缩短液滴喷头或擦拭器的寿命。
发明内容
本发明是鉴于上述情况而完成的发明，其目的在于，提供即使在利用加帽装置封堵液滴喷头的喷嘴开口的状态下，也可以向封堵部内提供保湿液，由此能够有效防止喷嘴开口等的堵塞等，并且能够防止液体的无谓的消耗、液滴喷头以及擦拭器的寿命缩短的液滴喷出装置、该液滴喷出装置的处理方法及器件制造方法。
为了解决上述问题，本发明的液滴喷出装置是具备在喷嘴形成面上具有将规定的液体作为液滴喷出的喷嘴开口的液滴喷头、具有对该液滴喷头的至少上述喷嘴开口进行封堵的封堵部的加帽装置的液滴喷出装置，其特征在于，具备向由上述喷嘴形成面和上述封堵部形成的空间内部提供针对上述液体的保湿液的保湿液供给机构，并且该保湿液供给机构连接在上述封堵部侧。
根据该发明，向由喷嘴形成面和封堵部形成的空间内部的保湿液供给是利用与封堵部连接的保湿液供给机构而进行的，因此不会导致作为移动体的液滴喷头周围的重量增加或大型化。其结果是，能够在避免液滴喷头驱动马达的高成本化的同时，有效防止液滴喷头的喷嘴开口的堵塞。另外，也不需要进行保湿液供给时的液滴喷头的移动。
另外，本发明的液滴喷出装置的特征在于，将上述保湿液从设于上述封堵部内的吸收材料的下方供给。
根据本发明，在进行保湿液供给时，能够在不使加帽装置逐个与液滴喷头分离且将喷嘴开口封堵的状态下进行，因此即使喷嘴开口封堵期间经过较长时间，也可以在封堵状态下定期提供保湿液。其结果是，能够减少清洁的次数，还能够延长实施该清洁的清洁组件所具备的擦拭器的寿命。
另外，本发明的液滴喷出装置的特征在于，具备对利用上述加帽装置的喷嘴开口封堵期间进行计时的计时机构、和根据上述保湿液的类别来控制该保湿液向上述空间内部的供给时期的控制机构。
根据该发明，由将保湿液的种类加在印刷结束后的判定要素中，因此根据因所使用的保湿液而不同的干燥的程度，可以适当地控制保湿液的供给量或供给时期(供给间隔)。其结果是，极大地抑制保湿液的无谓的消耗，从而能够有效地防止喷嘴开口的堵塞等。
为了解决上述问题，本发明的液滴喷出装置的处理方法，是具备在喷嘴形成面上具有将规定的液体作为液滴喷出的喷嘴开口的液滴喷头、具有对该液滴喷头的至少上述喷嘴开口进行封堵的封堵部的加帽装置、和将针对上述液体的保湿液提供给由上述喷嘴形成面和上述封堵部形成的空间内部的保湿液供给机构的液滴喷出装置的处理方法，其特征在于，包括在利用上述加帽装置进行的上述喷嘴开口的封堵后将上述保湿液提供给上述空间内部的步骤。
根据本发明，在进行保湿液供给时，能够不使加帽装置逐个与液滴喷头分离且将喷嘴开口封堵的状态下进行，因此不需要进行保湿液供给时的液滴喷头的移动。另外，即使喷嘴开口封堵期间经过较长时间，也可以在封堵状态下定期提供保湿液，其结果是，能够减少清洁的次数，还能够延长实施该清洁的清洁组件所具备的擦拭器的寿命。
为了解决上述问题，本发明的器件制造方法是具备在规定位置上形成了具有功能性的图案的工件的器件的制造方法，其特征在于，包括使用本发明之1～本发明之3中任意一种的液滴喷出装置所具备的液滴喷头或本发明之4中的液滴喷出装置的处理方法中所使用的液滴喷头向上述工件上将上述规定的液体作为液滴喷出而形成上述图案的工序、和在利用上述加帽装置进行的上述喷嘴开口的封堵后将上述保湿液提供给上述空间内部的工序。
根据本发明，能够向工件上将规定的液体作为液滴喷出而形成图案，并在随后实施的利用加帽装置进行的喷嘴开口的封堵后，能够不使加帽装置逐个与液滴喷头分离而供给保湿液，因此不需要进行保湿液供给时的液滴喷头的移动。其结果是，能够不造成生产能力的降低并有效制造器件，从而能够降低器件的制造成本。
图1是表示本发明的一个实施方式的液滴喷出装置的概略构成的立体图。
图2是表示喷头的主要部分的透视图。
图3是表示加帽组件的构成的图。
图4是表示本发明的一个实施方式的液滴喷出装置的电功能构成的方框图。
图5是表示加帽组件的其他实施方式的主要部分的图。
图6是表示从电源开关被设为ON到设为OFF为止的全体工序的流程图。
图7是表示加帽处理的详细情况的流程图。
图中20…喷头(液滴喷头)，22、80…加帽组件(加帽装置)，26…控制机构，40…加帽主体(封堵部)，50…吸收材料，96…计时部(计时机构)，58…保湿液罐，111…喷嘴开口，IJ…液滴喷出装置，P…基板(工件)具体实施方式
下面，参照附图，对本发明的一个实施方式的液滴喷出装置、该液滴喷出装置的处理方法及器件制造方法进行详细说明。
图1是表示本发明的一个实施方式的液滴喷出装置的概略构成的立体图。另外，以下的说明中，如果需要，则在图中设定XYZ正交坐标系，在参照该XYZ正交坐标系的同时，对各构件的位置关系进行说明。XYZ正交坐标系的XY平面被设定为与水平面平行的面，在垂直方向上设定Z轴。另外，在本实施方式中，喷头(液滴喷头)20的移动方向(主扫描方向)被设定为X方向，台架ST的移动方向(副扫描方向)被设定为Y方向。
如图1所示，本实施方式的液滴喷出装置IJ包括基座10、在基座10上支撑玻璃基板等基板P的台架ST、被支撑在台架ST的上方(+Z方向)并可以向基板P喷出规定的液滴的喷头20。在基座10和台架ST之间，设有支撑台架ST并可使其沿Y方向移动的第1移动装置12。另外，在台架ST的上方，设有支撑喷头20并可使其沿X方向移动的第2移动装置14。
在喷头20上，借助流道18连接有贮藏从喷头20喷出的液体(规定的液体)的液罐16。另外，在基座10上，配置有加帽组件(加帽装置)22和清洁组件24。控制装置26控制液滴喷出装置IJ的各部分(例如，第1移动装置12以及第2移动装置14等)，从而控制整个液滴喷出装置IJ的动作。
上述的第1移动装置12被设于基座10上，并被沿着Y轴方向定位。该第1移动装置12例如由线性马达构成，具有导引轨12a、12a、沿着该导引轨12a被设置成可以移动的滑块12b。该线性马达形式的第1移动装置12的滑块12b沿着导引轨12a在Y轴方向上移动而可以定位。
另外，滑块12b具有绕Z轴(θz)用的马达12c。该马达12c例如为直接驱动马达，马达12c的转子被固定在台架ST上。这样，通过向马达12c通电，转子和台架ST能够沿着θz方向旋转而进行换位(旋转分度)。即，第1移动装置12可以在Y轴方向及θz方向上移动台架ST。台架ST是保持基板P并定位在规定的位置上的构件。另外，台架ST具有未图示的吸附保持装置，通过该吸附保持装置的运行，穿过设于台架ST上的未图示的吸附孔而将基板P吸附并保持在台架ST之上。
上述的第2移动装置14是使用支柱28a、28a而被竖立安装在基座10上，且是安装在基座10的后部10a上。该第2移动装置14由线性马达构成，由固定在支柱28a、28a上的横梁28b所支撑。第2移动装置14具有被横梁28b支撑的导引轨14a、可沿着导引轨14a在X轴方向上移动并被其支撑的滑块14b。滑块14b沿着导引轨14a在X轴方向上移动而可以定位。上述喷头20被安装在滑块14b上。
喷头20具有作为Z方向的定位装置的马达30及作为摆动定位装置的马达32、34、36。如果驱动马达30，能够使喷头20沿Z方向上下移动，能够在任意的Z方向的位置上将喷头20定位。如果驱动马达32，能够使喷头20沿着绕Y轴的β方向摆动，从而能够调整喷头20的角度。如果驱动马达34，能够使喷头20沿着绕X轴的γ方向摆动，从而能够调整喷头20的角度。如果驱动马达36，能够使喷头20沿着绕Z轴的α方向摆动，从而能够调整喷头20的角度。
如此，由滑块14b支撑图1所示的喷头20，以使其可以在Z方向上直线移动，并且能够沿α方向、β方向及γ方向摆动而调整角度。喷头20的位置及姿势被控制装置26精确地控制，以使液滴喷出面21的相对于台架ST侧的基板P的位置或姿势成为规定的位置或规定的姿势。而且，在喷头20的液滴喷出面(喷嘴形成面)21上，设有喷出液滴的多个喷嘴开口111。
作为从上述的喷头20喷出的液滴，可以采用含有着色材料的墨液、含有金属微粒等材料的分散液、含有PEDOTPSS等空穴注入材料或发光材料等有机EL物质的溶液、液晶材料等高粘度的功能性液体、含有微透镜的材料的功能性液体、含有包含蛋白质或核酸等生物高分子溶液等各种材料的液滴。
这里，对喷头20的构成进行说明。图2是表示喷头20的主要部的一部分的透视图。如图2所示，喷头20包括喷嘴板110、压力室基板120及振动板130。压力室基板120具备作为压力发生室的空腔121、侧壁122、贮液室123及供给口124。空腔121是压力室，是通过对硅等基板进行蚀刻而形成。侧壁122是为了分隔空腔121之间而构成的，贮液室123是在向各空腔121中填充规定的液体时，作为可以供给液体的公共流道而构成的。供给口124的构成是可以向各空腔121导入液体。
另外，振动板130的构成是可以贴合于压力室基板120的一方的面上。在振动板130上设有作为上述的压电体器件的一部分的压电体元件150。压电体元件150为具有钙铁矿构造的强电介质的晶体，以规定形状形成于振动板130上。该压电体元件150的构成是可以根据由控制装置26提供的驱动信号产生体积变化。
喷嘴板110与压力室基板120贴合，以便在与设置在压力室基板120上的多个空腔(压力室)121各自对应的位置上配置其喷嘴开口111，而被。贴合了喷嘴板110的压力室基板120被嵌于未图示的筐体中。利用以上方法构成喷头20。
为了使规定的液体作为液滴从喷头20中喷出，首先，控制装置26将用于喷出液滴的驱动信号提供给喷头20。液体流入喷头20的空腔121，当驱动信号被提供给喷头20时，设于喷头20上的压电体元件150产生与该驱动信号对应的体积变化。该体积变化使振动板130变形，从而使空腔121的体积变化。其结果是，从该空腔121的喷嘴开口111中，液体作为液滴被喷出。重新从液罐16向喷出了液滴的空腔121提供因喷出而减少了的液体。
另外，参照图2说明的喷头20的构成是使压电体元件产生体积变化而喷出液滴，但也可以是利用发热体对液体加热而通过其膨胀喷出液滴的喷头构成。另外，也可以是利用静电使振动板变形而产生体积变化来喷出液滴的喷头。
回到图1，第2移动装置14通过使喷头20在X轴方向移动，能够将喷头20在清洁组件24或加帽组件22的上部选择性地定位。即，即使在器件制造作业的中途，例如如果将喷头20移动至清洁组件24上，能够进行喷头20的清洁。另外，如果将喷头20移动至加帽组件22之上，可以对喷头20的液滴喷出面21实施加帽，或将液滴填充到空腔121中，或使由喷嘴开口111的堵塞等造成的喷出不良复原。
即，清洁组件24及加帽组件22在基座10上的后部10a侧，在喷头20的移动路径的正下方，并与台架ST分开配置。由于基板P相对于台架ST的搬入作业及搬出作业是在基座10的前部10b侧进行的，因此不会因这些清洁组件24或加帽组件22给作业带来妨碍。
清洁组件24具备对形成喷嘴开口111的面进行擦拭的擦拭器，能够在器件制造工序中或待机时定期地或随时地进行喷头20的喷嘴开口111等的清洁。为了使喷头20的液滴喷出面21不干燥，加帽组件22在不制造器件的待机时对该液滴喷出面21实施加帽，或在将液滴填充到空腔121中时使用，另外，使已产生喷出不良的喷头20复原。
接着，对加帽组件22进行详细说明。图3是表示加帽组件22的构成的图。如图3所示，加帽组件22包括形成箱状的加帽主体(封堵部)40、与喷头20的喷嘴形成面(液滴喷出面21)抵接的密封构件42、第1连通管44、第1泵46、吸收材料50、第2连通管54、第2泵56、第3连通管64及大气开放阀66。
在加帽主体40的封堵侧端面40A上，遍布其整个圆周形成有凹槽40a。在该凹槽40a上，例如由橡胶等柔性材料制成方形的密封构件42以从封堵侧端面40A局部突出的方式嵌入。
在加帽主体40的内周面40B上，设有向内方突出的一对卡合部52。吸收材料50通过其周缘部用卡合部52夹持，而被固定在距加帽主体40的内底面40C规定距离的位置上。
而且，吸收材料50相对从喷头20中喷出的液滴的吸收性优良，并且在吸收液滴时保持湿润状态，例如由具有微细的连续气孔构造的海绵等材料制成。
在加帽主体40的底面部40b上，连接有贯穿该底面部40b而向内底面40C开口的第1～第3连通管44、54、64。
在第1连通管44上，连接有借助该第1连通管44而对加帽主体40内，即由喷头20的喷嘴形成面和加帽主体40形成的空间内部进行抽吸、减压(提供负压)的第1泵46。在第1泵46的排出侧设有排液罐48，贮留伴随清洁操作等而产生的排出液。
第1泵46与控制装置26电连接(参照图4)，在控制装置26的控制之下，其驱动被控制。
在第2连通管54上，借助第2泵56，连接有具有大气导入口60的保湿液罐58，通过从保湿液罐58向加帽主体40内提供保湿液，可以长期维持吸收材料50的湿润状态。保湿液罐58被设于基座10上，连接有检测保湿液的余量的余量检测机构62。
而且，余量检测机构62可以是仅在保湿液的余量达到规定值以下的情况下输出该信息的构成，例如在保湿液罐58内配置漂浮构件，利用该漂浮构件的位置检知保湿液的余量达到规定值以下，并输出此时的信号。
第2泵56及余量检测机构62与控制装置26电连接(参照图4)，基于由余量检测机构62检测出的保湿液的余量，在余量控制装置26的控制之下，其驱动被控制。
在第3连通管64上，连接有借助该第3连通管64而使加帽主体40的内外连通的大气开放阀66。该大气开放阀66与控制装置26电连接(参照图4)，在控制装置26的控制之下，其驱动被控制。
如上述说明所示，在本实施方式中，具备第2连通管54、第2泵56、保湿液罐58、余量检测机构62及控制制造26而构成本发明的保湿液供给机构。
接着，对本实施方式的液滴喷出装置IJ的电功能构成进行说明。而且，在图4的方框图中，对与图1～图3所示的构件相当的方框使用相同的符号。如图4所示，控制液滴喷出装置IJ的电构成包括控制计算机90、控制装置26及驱动用集成电路100。
控制计算机90包括例如CPU(中央处理装置)、RAM(Random AccessMemory)及ROM(Read Only Memory)等内部储存装置、硬盘、CD-ROM等外部储存装置以及液晶显示装置或CRT(Cathod Ray Tube)等显示装置，依照ROM或硬盘中储存的程序，输出控制液滴喷出装置IJ的动作的控制信号。该控制计算机90例如使用电缆等与控制装置26连接。
控制装置26包括运算控制部92、驱动信号生成部94及计时部(计时机构)96。运算控制部92基于由控制计算机90输入的控制信号以及在内部预先储存的控制程序，驱动第1移动装置12、第2移动装置14及马达30～36，并且控制设于加帽组件22上的泵46、56、余量检测机构62及大气开放阀66的动作。
另外，运算控制部92将用于生成对设置在喷头20上的多个压电体元件150进行驱动的各种驱动信号的各种数据(驱动信号生成用数据)，向驱动信号生成部94输出。另外，运算控制部92基于上述控制程序生成选择数据而向设置在驱动用集成电路100上的切换信号生成部102输出。该选择数据是由用于对成为驱动信号的施加对象的压电体元件150进行指定的喷嘴选择数据和用于对施加在压电体元件150上的驱动信号进行指定的波形选择数据构成。
此外，运算控制部92使用计时部96，对利用加帽组件22进行的喷嘴开口封堵期间、即喷头20被加帽组件22的加帽主体40加帽(封堵)的时间进行计时，根据该计时结果、保湿液的种类及开帽后的喷头20是否被清洁等，对从保湿液罐58向上述空间内部的保湿液供给量或保湿液供给时期进行控制。
而且，当保湿液罐58内的保湿液的余量达到规定值以下时，将表示此情况的信号从余量检测机构62向控制装置26输出，例如由控制计算机90的显示装置进行出错显示。
驱动信号生成部94基于上述的驱动信号生成用数据，生成规定形状的各种驱动信号，例如用于喷出液滴的通常驱动信号、用于在喷嘴开口111中使弯月面微振的微振信号等驱动信号，向开关电路104输出。
计时部96例如在输入由运算控制部92输出的计时开始信号以及计时时间，并从开始计时后经过了计时时间时，输出计时结束信号。
驱动用集成电路100被设于喷头20的内部，包括切换信号生成部102及开关电路104。切换信号生成部102基于由运算控制部92输出的选择数据，生成对向各移动体元件150的驱动信号的导通/非导通进行指示的切换信号，向开关电路104输出。开关电路104被设于每个压电体元件150上，将由切换信号指定的驱动信号向压电体元件150输出。
接着，对使用上述构成的液滴喷出装置IJ在基板P上形成微阵列后进行的液滴喷出装置IJ的处理方法进行详细说明。
图6所示的流程图的最终步骤，即「打印机电源OFF」的处理程序是在由操作者切断电源开关的情况下，或者，因插座松动或因停电等造成供电停止的情况下执行的步骤，下面说明的液滴喷出装置IJ的处理方法是在由该「打印机电源OFF」的处理程序执行的冲洗动作处理内实施的。
图7所示的流程图的步骤S1中，由计时部96计时的喷嘴开口封堵期间T被重设为零，开始喷嘴开口封堵期间T的计时。喷嘴开口封堵期间T的重设以及计时开始是在印刷结束后，喷嘴开口111即将被加帽主体40封堵(以下将该封堵动作称为「加帽」。)时实施的。
在其后的步骤S2中，在上次的开帽后，即解除加帽主体40对喷嘴开口111的封堵后，判断是否实施了清洁。这是因为，根据开帽后的清洁的有无，残存在吸收材料50中的液体的量不同，因此应向加帽主体40供给的保湿液的量也有必要改变。
在步骤S2中，当在开帽后实施了清洁时(判断结果为「YES」时)处理前进到步骤S3，判断保湿液是否含有1价醇。这是因为，当保湿液含有1价醇时和含有多价醇时，有必要改变应将保湿液提供给加帽主体40的时间间隔、或是否需要后述的帽内抽吸(步骤S14)。
在步骤S3中，当保湿液含有1价醇时(判断结果为「YES」时)，处理前进到步骤S4，从吸收材料50下方向加帽主体40供给1g(克)保湿液，然后进行加帽。
在其后的步骤S5中，判断有无操作者的印刷执行指令。在没有印刷执行指令的情况下，处理前进到步骤S6，在有印刷执行指令的情况下，处理返回到该处理程序的调用前的处理程序。
在步骤S6中，判断在步骤S1中开始计时的喷嘴开口封堵期间T是否为1个月以上。当已经经过了1个月以上时(判断结果为「YES」)，则处理回到步骤S4，向加帽主体40内再供给1g保湿液。与之相对，当尚未经过1个月时(判断结果为「NO」)，则反复进行该步骤S6的判断。
在步骤S3中，当保湿液含有多价醇时(判断结果为「NO」的情况)，处理前进到步骤S11，从吸收材料50下方向加帽主体供给1g(克)保湿液，随后进行加帽。
在其后的步骤S12中，判断有无操作者的印刷执行指令。在没有印刷执行指令的情况下，处理前进到步骤S13，在有印刷执行指令的情况下，处理返回到该处理程序的调用前的处理程序。
在步骤S13中，判断在步骤S1中开始计时的喷嘴开口封堵期间T是否为0.5个月以上。当已经经过了0.5个月以上时(判断结果为「YES」)，则处理前进到步骤S14，驱动第1泵46并借助第1连通管44对加帽主体40内进行抽吸、减压(提供负压)，进行用于防止喷嘴开口111的堵塞的帽内抽吸。然后，解除加帽主体40的对喷嘴开口111的封堵(步骤S15)，继而处理回到步骤S11，向加帽主体40内再供给1g保湿液。
与之相对，在步骤S13中，当尚未经过0.5个月时(判断结果为「NO」)，则反复进行该步骤S13的判断。
这些步骤11～步骤15的处理与步骤S4～S6的处理不同的原因是，在保湿液含有多价醇的情况下，在将保湿液提供给加帽主体40后，当经过规定的时间时，由于保湿液从喷嘴开口111中将喷头20侧的水分吸收掉，因此优选相对较短设置保湿液的补充间隔(步骤S6、S13)，进一步优选实施帽内抽吸处理(步骤S14)。
在步骤S2中，当开帽后未实施清洁时(判断结果为「NO」时)，处理前进到步骤S21，判断保湿液是否含有1价醇。这是因为，在保湿液含有1价醇的情况和含有多价醇的情况下，有必要改变应当将保湿液提供给加帽主体40的时间间隔、或是否需要帽内抽吸(步骤S14)。
在步骤S21中，当保湿液含有1价醇时(判断结果为「YES」的情况)，处理前进到步骤S22，从吸收材料50下方向加帽主体40提供0.5g保湿液，然后进行加帽。该处理中，将保湿液的供给量设定为少于步骤S4、S7的1g，其原因是，与在开帽后实施了清洁的情况相比，在帽内残存有更多的保湿液。
在其后的步骤S23中，判断有无操作者的印刷执行指令。在没有印刷执行指令的情况下，处理前进到步骤S24，在有印刷执行指令的情况下，处理返回到该处理程序的调用前的处理程序。
在步骤S24中，判断在步骤S1中开始计时的喷嘴开口封堵期间T是否为1个月以上。当已经经过了1个月以上时(判断结果为「YES」)，则处理前进到步骤S4，向加帽主体40内再供给1g保湿液。与之相对，当尚未经过1个月时(判断结果为「NO」)，则反复进行该步骤S24的判断。
在步骤S21中，当保湿液含有多价醇时(判断结果为「NO」的情况)，处理前进到步骤S31，从吸收材料50下方向加帽主体40供给0.5g保湿液，随后进行加帽。之后，处理前进到上述的步骤13。
当开帽后未实施清洁处理时(步骤S2的判断结果为「NO」)，则虽然最初进行的保湿液向加帽主体40的供给量为0.5g即足够，但是随后由于不经过0.5个月以上或1个月以上则不能供给，因此其供给量与在开帽后已实施清洁处理的情况(步骤S2的判断结果为「YES」)相同，被设定为1g。
由此，在本实施方式中，向由喷嘴形成面和加帽主体40形成的空间内部进行保湿液供给是从设置在基座10上的保湿液罐58并借助第2连通管54而由加帽主体40的底面部40b进行的，因此就不会导致作为移动体的喷头20周围的重量增加或大型化。其结果是，能够在避免作为驱动源的马达30、32、34、36的高成本化的同时，有效地防止喷头20的喷嘴开口111的堵塞。
另外，由于不是从喷头20侧，而是从吸收材料50的下方供给保湿液，因此在进行保湿液供给时，能够在不使加帽组件22逐个从喷头20分离且将喷嘴开口111封堵的状态下进行。由此，不需要进行保湿液供给时的喷头20的移动。另外，即使喷嘴开口封堵期间经过较长时间，也可以在封堵状态下定期供给保湿液，其结果是，既能够减少清洁的次数，也能够延长清洁组件24所具备的擦拭器的寿命。
进而，在印刷结束后的冲洗动作中，将开帽后的清洁的有无或保湿液是否含有1价醇加到控制时的判定要素中，因此就可以根据吸收材料50的干燥的程度，适当地控制保湿液的供给量或供给间隔(供给interval)，不仅可以极大地抑制保湿液的无谓的消耗，而且还能够有效地防止喷嘴开口111的堵塞等。
上面虽然对本发明的实施方式的液滴喷出装置的处理方法进行了说明，但是该液滴喷出装置能够用作形成膜的成膜装置，形成金属配线等配线的配线装置，或制造微透镜阵列、液晶显示装置、有机EL装置、等离子体型显示装置、电场发射显示器(FEDField Emission Display)等器件的器件制造装置。
在使用上述的液滴喷出装置向作为工件的基板P上喷出液滴而形成图案之后，当不进行图案形成而进一步经过规定的期间的时候，可以在维持喷嘴开口封堵的状态下向封堵部内供给保湿液，因此不需要进行保湿液供给时的液滴喷头的移动。其结果是，能够不造成生产能力的降低而有效地制造器件，从而能够降低器件的制造成本。
上述的液晶装置、有机EL装置、等离子体型显示装置、FED等显示器被设于笔记本型计算机及携带电话等电子机器上。但是，电子机器并不限定于上述的笔记本型计算机及携带电话，能够应用于各种电子机器中。例如，可以应用于液晶投影仪、对应多媒体的个人电脑(PC)及工程·工作站(EWS)、寻呼机、文字处理器、电视、取景器型或监视器直视型摄像机、电子记事簿、台式电子计算机、导航装置、POS终端、具备触摸面板的装置等电子机器中。
另外，加帽装置的构成并不限定于上述图3所示的加帽组件22，例如也可以是如图5所示的构成。
图5所示的加帽组件80将与大气开放阀66连接的第3连通管72、与第2泵连接的第2连通管73以及与第1泵46连接的第1连通管74延长至贯穿吸收材料50，并且将第1及第3连通管74、72的开口端74a、72a配置在比吸收材料50的上面更高的位置，而且配置在比第2连通管73a的开口端73a更高的位置。该方式中，开口端73a的高度位置被设定为与吸收材料50的上面处于相同平面。
根据该构成，在驱动第1泵46而对加帽主体40内进行抽吸、减压时，能够有效防止被吸收材料50吸收的保湿液从第1连通管74的开口端74a被抽吸，因此能够良好地保持吸收材料50的湿润状态。另外，即使在保湿液供给时，能够防止借助第2连通管73向加帽主体40内供给的保湿液从第3连通管72的开口端72a向大气开放，因此能够抑制保湿液的无谓的消耗。另外，能够有效防止附着在吸收材料50上的液体因来自第1连通管74的空气或液体的逆流，以及来自第3连通管72的大气开放时的空气的供给而发生气泡化，因此气泡没有附着在喷嘴形成面上，从而不需要多余的清洁动作。
权利要求
1.一种液滴喷出装置，是具备在喷嘴形成面上具有将规定的液体作为液滴喷出的喷嘴开口的液滴喷头、和具有对该液滴喷头的至少所述喷嘴开口进行封堵的封堵部的加帽装置的液滴喷出装置，其特征在于，具备向由所述喷嘴形成面和所述封堵部形成的空间内部提供针对所述液体的保湿液的保湿液供给机构，并且该保湿液供给机构与所述封堵部侧连接。
2.根据权利要求1所述的液滴喷出装置，其特征在于，将所述保湿液从与设置有所述液滴喷头的一侧相反的一侧提供给设于所述封堵部内的吸收材料。
3.根据权利要求1所述的液滴喷出装置，其特征在于，具备对利用所述加帽装置的喷嘴开口封堵期间进行计时的计时机构、和根据所述保湿液的类别来控制该保湿液向所述空间内部的供给时期的控制机构。
4.根据权利要求2所述的液滴喷出装置，其特征在于，具备对利用所述加帽装置的喷嘴开口封堵期间进行计时的计时机构、和根据所述保湿液的类别来控制该保湿液向所述空间内部的供给时期的控制机构。
5.一种液滴喷出装置的处理方法，是具备在喷嘴形成面上具有将规定的液体作为液滴喷出的喷嘴开口的液滴喷头、具有对该液滴喷头的至少所述喷嘴开口进行封堵的封堵部的加帽装置、和将针对所述液体的保湿液提供给由所述喷嘴形成面和所述封堵部形成的空间内部的保湿液供给机构的液滴喷出装置的处理方法，其特征在于，包括在利用所述加帽装置进行的所述喷嘴开口的封堵后将所述保湿液提供给所述空间内部的步骤。
6.一种器件制造方法，是具备在规定位置上形成具有功能性的图案的工件的器件的制造方法，其特征在于，包括使用权利要求1～4中任意一项所述的液滴喷出装置所具备的液滴喷头或者在权利要求5所述的液滴喷出装置的处理方法中所使用的液滴喷头将所述规定的液体作为液滴向所述工件上喷出而形成所述图案的工序、和在利用所述加帽装置进行的所述喷嘴开口的封堵后将所述保湿液提供给所述空间内部的工序。
全文摘要
本发明提供液滴喷出装置、液滴喷出装置的处理方法及器件的制造方法，液滴喷出装置具备在喷嘴形成面上具有将规定液体作为液滴喷出的喷嘴开口的液滴喷头、具有将液滴喷头的至少喷嘴开口封堵的加帽主体(40)的加帽组件、向由喷嘴形成面和加帽主体(40)形成的空间内部提供针对所述液体的保湿液的保湿液供给机构。该保湿液供给机构具备第2连通管(54)、第2泵(56)、保湿液罐(58)、余量检测机构(62)及控制装置，保湿液从吸收材料(50)下方供给。即使在利用加帽装置将液滴喷头的喷嘴开口封堵的状态下，也可以向封堵部内供给保湿液，有效防止喷嘴开口等的堵塞等，同时防止液体的无谓的消耗、液滴喷头及擦拭器的寿命缩短。
文档编号B05C5/00GK1647925SQ20051000586
公开日2005年8月3日 申请日期2005年1月27日 优先权日2004年1月30日
发明者臼田秀范 申请人:精工爱普生株式会社