专利名称：液滴喷出装置和其驱动方法以及它们的应用的制作方法
技术区域本发明涉及一种在配置于载物台的基板上涂敷液滴的液滴喷出装置，详细地说是涉及设有控制该喷射动作机构的液滴喷出装置和其驱动方法、制膜装置和制膜方法、滤色器的制造方法、有机电子发光(EL)装置的制造方法、以及电子设备。
背景技术：
作为喷出油墨等液滴并且进行薄膜或图案形成的液滴喷出装置，一般具有应用油墨喷注技术的装置。该装置设有接收从液状材料供给部供给的液状材料的液滴喷出头以及相对于液滴喷出头使基板相对移动的载物台，根据喷出数据边移动液滴喷出头边使液滴排在基板上，进而进行薄膜或图案的形成。
液滴喷出头，通过装载于在载物台上配置的承载器上，设置为相对于载物台例如能够向该X方向移动。另外，在所述载物台上，设置能够使基板例如向Y方向输送的输送机构，由此，液滴喷出头就能够相对于基板来看向XY方向移动。
但是，该液滴喷出头，是将多个喷出液滴的喷嘴以纵横对直的状态设置于基板上并且俯视呈矩形状，支撑该液滴喷出头的轴设置为通过移动装置能够移动，由此相对于X方向和Y方向，喷嘴的列以倾斜的状态能够喷出液滴。在这里之所以将喷嘴的列设置为倾斜而喷出液滴，是由于使形成一定的相邻喷嘴间的间距从表观上看狭窄，并由此可以进行精致的或具有连续性的薄膜或图案的形成。
即，如图15(a)所示，将液滴喷出头H的喷嘴N的列L相对于其移动方向(X方向)以相互垂直的正直的状态喷出液滴时，喷出液滴T间的间距P2与喷嘴N、N间的间距P1相同。
另一方面，如图15(b)所示，将液滴喷出头H的喷嘴N的列L相对于其移动方向(X方向)以倾斜的状态喷出液滴时，喷出液滴T间的间距P3比喷嘴N、N间的间距P1窄，所以从表观上来看可以缩短喷嘴间的间距。
另外，在该装置中，尤其是在喷出液状材料中的溶剂挥发性高时等，在不能连续喷出液状材料的喷嘴上，在其开口处滞留的液状材料随着溶剂的挥发而引起粘度升高，严重时导致液状材料固化，或在其上面粘附灰尘，进而由于气泡的混入等而引起喷嘴开口处的堵塞，导致喷出不畅的问题。
为防止这样的喷出不良，在以往，是在载物台的一侧或两侧上设置冲洗区域。该冲洗区域是用于强制液滴喷出头的各喷嘴喷出的场所，是对于长时间不喷出的喷嘴为防止喷出不良而设置的。
但是，在此类冲洗区域的冲洗中存在以下要改善的问题。
一般在冲洗区域中，是使相对于载物台(基板)的液滴喷出头的移动一次性停止，然后在该状态下进行冲洗。但是，通过这种方式使液滴喷出头的移动停止而进行冲洗，就会使通过喷出形成薄膜或图案的整个工艺的时间变长，结果使生产率降低。
另外，为解决这类问题，也可以考虑边使液滴喷出头移动边在冲洗区域进行冲洗。但是，尤其在使液滴喷出头倾斜配置时，部分喷嘴容易从冲洗区域露出，此时若也对露出的喷嘴进行冲洗时，在其周边液滴飞溅而引起污染，从而对目的制膜或图案的形成带来不良影响或装置本身被污染而导致维护上的麻烦。
发明内容
本发明是鉴于上述问题，其目的在于提供一种能够在不降低生产率并且可以防止对制膜及图案形成产生不良影响或污染装置的情况下而进行冲洗的液滴喷出装置和其驱动方法，进而提供制膜装置和制膜方法、滤色器的制造方法、有机EL装置的制造方法以及电子设备。
为达到所述目的，在本发明的液滴喷出装置中，具有将设置于载物台上方的相对于基板能够向一个方向往复移动并且在所述基板上喷出液滴的多个喷嘴纵横对直配置的液滴喷出头、相对于所述载物台上的基板在所述一个方向上的至少一侧设置的冲洗区域、以及控制所述液滴喷出头动作的控制装置，所述液滴喷出头是相对于所述一个方向使该喷嘴的列倾斜地设置，其特征在于，所述控制装置设置为，在边使所述液滴喷出头移动边在冲洗区域内在该液滴喷出头上进行冲洗动作的同时，在至少一个喷嘴到达从预先设定的冲洗区域内偏离的位置时，能够控制使所有喷嘴的冲洗动作停止。
根据该液滴喷出装置，由于是边使液滴喷出头移动边在冲洗区域内进行冲洗动作，所以通过该冲洗不会降低生成率。另外，由于构成的控制装置使在至少一个喷嘴到达从预先设定的冲洗区域内偏离的位置时，所有喷嘴的冲洗动作停止，所以可以防止由于从冲洗区域露出并且被清洗而引起对制膜或图案形成产生的不良影响以及可以防止对装置的污染。
在本发明的另一液滴喷出装置中，具有将设置于载物台上方的相对于基板能够向一个方向往复移动并且在所述基板上喷出液滴的多个喷嘴纵横对直配置的液滴喷出头、相对于所述载物台上的基板在所述一个方向上的至少一侧设置的冲洗区域、以及控制所述液滴喷出头动作的控制装置，所述液滴喷出头是相对于所述一个方向使该喷嘴的列倾斜地设置，其特征在于，所述控制装置设置为，在边使所述液滴喷出头移动边在冲洗区域内在该液滴喷出头上进行冲洗动作的同时，在喷嘴到达从预先设定的冲洗区域内偏离的位置时，能够控制使该喷嘴的冲洗动作停止。
根据该液滴喷出装置，由于是边使液滴喷出头移动边在冲洗区域内进行冲洗动作，所以通过该冲洗不会降低生成率。另外，由于构成的控制装置使在喷嘴到达从预先设定的冲洗区域内偏离的位置时，该喷嘴的冲洗动作停止，所以可以防止由于从冲洗区域露出并且被清洗而引起对制膜或图案形成产生的不良影响以及可以防止对装置的污染。
另外，在所述液滴喷出装置中，所述控制装置优选能够控制对于喷嘴在控制使冲洗动作停止后，对于该喷嘴能够使其进行微振动作。
由此可以进一步精确的防止由于液滴喷出头内的液体挥发而引起的粘度上升。
另外，在所述液滴喷出装置中，冲洗区域优选相对于载物台上的基板在所述一个方向上的两侧设置。
由此在所述一个方向上往复移动时，由于在任一侧都能进行清洗，所以可以进一步精确的防止由于液滴喷出头内的液体挥发而引起的粘度上升。
另外，在所述液滴喷出装置中，所述控制装置优选能够控制使液滴喷出头在冲洗区域上向外测移动时不进行冲洗动作，而仅在冲洗区域上向内测移动时才进行冲洗动作。
由此由于在仅向内侧，即向基板侧移动时才进行冲洗动作，所以通过使液滴在基板上喷出之前进行冲洗，可以进一步有效防止喷嘴的喷出不良。另外，由于在向外测移动时不进行冲洗动作，所以可以减少液体的浪费。
另外，在所述液滴喷出装置中，所述液滴喷出头设置为能够向其四周方向回转并且该回转动作可以通过所述控制装置进行控制，所述控制装置优选能够控制在所述液滴喷出头移动至冲洗区域内并且进行清洗时，预先回转该液滴喷出头使该喷嘴的列相对于所述一个方向呈垂直，在全部喷嘴停止冲洗动作后再次回转使至倾斜位置。
由此，由于回转该液滴喷出头使该喷嘴的列相对于所述一个方向呈垂直，并且在该状态下进行冲洗，所以通过使液滴喷出头变为倾斜，可以防止一部分喷嘴从冲洗区域露出并且还可以防止在该状态下行冲洗。
另外，在这种情况下，优选在冲洗区域上相对于所述液滴喷出头该喷嘴的列进行相对于所述一个方向呈垂直回转的动作。
由此就不会影响基板上的液滴喷出，并且可以进行冲洗。
在本发明的制膜装置中，其特征在于设有所述液滴喷出装置。
根据该制膜装置，由于设有所述液滴喷出装置，所以不会产生由于冲洗引起的生产率下降，另外，也可以防止由于从冲洗区域露出并且被冲洗而引起对制膜产生的不良影响或者对装置的污染。
本发明的液滴喷出装置的驱动方法，其特征在于，液滴喷出装置具有将设置于载物台上方的相对于基板能够向一个方向往复移动并且使在所述基板上喷出液滴的多个喷嘴纵横对直配置的液滴喷出头、和相对于所述载物台上的基板在所述一个方向上的至少一侧设置的冲洗区域，相对于所述一个方向将该喷嘴的列倾斜地设置所述液滴喷出头，冲洗是在边使所述液滴喷出头移动边在冲洗区域内通过在该液滴喷出头上进行冲洗动作而进行，之后，在至少一个喷嘴到达从预先设定的冲洗区域内偏离的位置时，使全部喷嘴的冲洗动作停止。
根据该液体喷出装置的驱动方法，由于是边使液滴喷出头移动边在冲洗区域内进行冲洗动作，所以通过该冲洗不会降低生成率。另外，由于构成的控制装置使在至少一个喷嘴到达从预先设定的冲洗区域内偏离的位置时，所有喷嘴的冲洗动作停止，所以可以防止由于从冲洗区域露出并且被清洗而引起对制膜或图案形成产生的不良影响以及可以防止对装置的污染。
本发明的另一液滴喷出装置的驱动方法，其特征在于，液滴喷出装置具有将设置于载物台上方的相对于基板能够向一个方向往复移动并且使在所述基板上喷出液滴的多个喷嘴纵横对直配置的液滴喷出头、和相对于所述载物台上的基板在所述一个方向上的至少一侧设置的冲洗区域，相对于所述一个方向将该喷嘴的列倾斜地设置所述液滴喷出头，冲洗是在边使所述液滴喷出头移动边在冲洗区域内通过在该液体喷出头上进行冲洗动作而进行，之后，喷嘴到达从预先设定的冲洗区域内偏离的位置时，使该喷嘴的冲洗动作停止。
根据该液滴喷出装置的驱动方法，由于是边使液滴喷出头移动边在冲洗区域内进行冲洗动作，所以通过该冲洗不会降低生成率。另外，由于构成的控制装置在使喷嘴到达从预先设定的冲洗区域内偏离的位置时，该喷嘴的冲洗动作停止，所以可以防止由于从冲洗区域露出并且被清洗而引起对制膜或图案形成产生的不良影响以及可以防止对装置的污染。
另外，在所述液滴喷出装置的驱动方法中，优选对于喷嘴在控制使冲洗动作停止后，对于该喷嘴能够使其进行微振动作。
由此可以进一步精确的防止由于液滴喷出头内的液体挥发而引起的粘度上升。
另外，在所述液滴喷出装置的驱动方法中，冲洗区域优选相对于载物台上的基板在所述一个方向上的两侧设置。
由此在所述一个方向上往复移动时，由于在任一侧都能进行清洗，所以可以进一步精确的防止由于液滴喷出头内的液体挥发而引起的粘度上升。
另外，在所述液滴喷出装置的驱动方法中，优选在液滴喷出头在冲洗区域上向外测移动时不进行冲洗动作，而仅在冲洗区域上向内测移动时才进行冲洗动作。
由此由于在仅向内侧，即向基板侧移动时才进行冲洗动作，所以通过使液滴在基板上喷出之前进行冲洗，可以进一步有效防止喷嘴的喷出不良。另外，由于在向外测移动时不进行冲洗动作，所以可以减少液体的浪费。
另外，在所述液滴喷出装置的驱动方法中，所述液滴喷出头设置为能够向其四周方向回转并且该回转动作可以通过所述控制装置进行控制，所述控制装置优选能够控制在所述液滴喷出头移动至冲洗区域内并且进行清洗时，预先回转该液滴喷出头使该喷嘴的列相对于所述一个方向呈垂直，在全部喷嘴停止冲洗动作后再次回转使至倾斜位置。
由此，由于回转该液滴喷出头使该喷嘴的列相对于所述一个方向呈垂直，并且在该状态下进行冲洗，所以通过使液滴喷出头变为倾斜，可以防止一部分喷嘴从冲洗区域露出并且还可以防止在该状态下进行冲洗。
另外，在这种情况下，优选在冲洗区域上相对于所述液滴喷出头该喷嘴的列进行相对于所述一个方向呈垂直回转的动作。
由此就不会影响基板上的液滴喷出，并且可以进行冲洗。
在本发明的制膜方法中，其特征在于，具有所述液滴喷出装置的驱动方法。
根据该制膜方法，由于具有所述液滴喷出装置的驱动方法，所以不会产生由于冲洗引起的生产率下降，另外，也可以防止由于从冲洗区域露出并且被冲洗而引起对制膜产生的不良影响或者对装置的污染。
本发明滤色器的制造方法，其特征在于，通过所述制膜方法形成滤色器。
根据该滤色器的制造方法，如所述不会降低生产率，另外，从能够防止对制膜的不良影响以及对装置的污染来看，可以提高滤色器的生产率并且还可以形成良好的滤色器。
本发明的有机EL装置的制造方法，其特征在于，通过所述制膜方法形成有机EL装置构成要素的薄膜。
根据该有机EL装置的制造方法，如所述不会降低生产率，另外，从能够防止对制膜的不良影响以及对装置的污染来看，可以提高有机EL装置构成要素的薄膜的生产率并且还可以形成良好的有机EL装置构成要素的薄膜。
本发明的电子设备，其特征在于，具有利用所述制膜方法形成的装置。
根据该电子设备，由于具有利用所述制膜方法形成的装置，所以可以以高生产率并且以良好的状态形成。
图1是表示本发明的液滴喷出装置一实施例的简单构成的斜视图。
图2是表示用于说明液滴喷出头的简要构成图，(a)是表示主要部位的斜视图，(b)是表示主要部位侧的剖面图。
图3是表示用于说明载物台和冲洗区域之间的位置关系的俯视图。
图4中(a)和(b)是表示用于说明冲洗区域与液滴喷出头之间位置关系的俯视图。
图5中(a)和(b)是表示用于说明液滴喷出头移动的俯视图。
图6是表示对于压电子的外加电压的波形。
图7是表示基板上的滤色器区域的图。
图8中(a)～(f)是表示用于说明滤色器区域形成方法的工序顺序的主要部位侧的剖视图。
图9是表示设有有机EL元件的EL显示器的一个例子的电路图。
图10是表示图9所示的EL显示器中象素部的平面构造的扩大俯视图。
图11中(a)～(e)是表示用于说明有机EL元件制造方法的工序顺序的主要部位侧的剖视图。
图12中(a)～(c)是表示用于说明接着图3中工序的顺序的主要部位侧的剖视图。
图13中(a)～(c)是表示用于说明接着图4中工序的顺序的主要部位侧的剖视图。
图14是表示本发明的电子设备的具体例的图，(a)是表示用于便携式电话时的一个例子的斜视图，(b)是表示用于信息处理装置时的一个例子的斜视图，(c)是表示用于手表时的一个例子的斜视图。
图15中(a)、(b)是表示用于说明液滴喷出头的状态(格角)和喷出液滴之间的位置关系的图。
图中30是表示液滴喷出装置，34是表示液滴喷出头，39是表示载物台，40是表示控制装置，41是表示冲洗区域，S是表示基板。
具体实施例方式
以下，对本发明进行详细说明。
图1是表示将设有本发明的液滴喷出装置的制膜装置作为制造滤色器的装置使用时的一实施例的示意图，在图1中，符号30是表示作为制膜装置的液滴喷出装置。该液滴喷出装置30由基座31、基板移动装置32、头移动装置33、液滴喷出头34、供液装置35、控制装置40等构成。在基座31的上面设置所述基板移动装置32和头移动装置33。
基板移动装置32，是设置在基座31上，设有沿着Y轴方向配置的导轨36。该基板移动装置32的构成，例如可以通过线性电动机(图未示)使滑块37沿着导轨36移动。
在滑块37上固定载物台39。该载物台39是用于保持决定基板S的位置。即，该载物台39，具有公知的吸附保持装置(图未示)，通过使该吸附保持装置动作使基板S吸附保持在载物台39上。基板S，例如通过载物台39的位置固定栓(图未示)，可以在载物台39的一定位置上正确地固定其位置并保持固定。
相对于载物台39上的基板S，在其两侧，即后述的在液滴喷出头34的移动方向(X轴方向)的两侧上，设置用于在液滴喷出头34上进行冲洗的冲洗区域41。这些冲洗区域41、41沿着Y轴方向延伸形成俯视矩形状，通过设置于载物台39侧方基座31上的容器开口部等而形成。另外，此类冲洗区域41、41，可以预先决定在该基座31上的位置，并且该位置能够记忆在后述的控制装置中。
头移动装置33，设有立于基座31后部侧的一对架台33a、33a和设置于这些架台33a、33a上的移动路径33b，该移动路径33b是沿着X轴方向，即与前述基板移动装置32的Y轴方向垂直的方向配置。移动路径33b由跨过架台33a、33a之间的保持板33c和设置于该保持板33c上的一对导轨33d、33d构成，并且能够确保在导轨33d、33d的长方向上搭载液滴喷出头34的承载器42能够移动。承载器42的构成可以使通过线性电动机(图未示)等的动作，在导轨33d、33d上移动，由此可以使液滴喷出头34沿着X轴方向移动。
在此，该承载器42例如可以在导轨33d、33d的长方向即X轴方向以1μm单位移动，该移动可以通过控制装置40来控制。所以，如前述通过在控制装置40中记忆的冲洗区域41、41的位置，如后述可以通过该控制装置40控制液滴喷出头34的各动作与冲洗区域41、41的位置之间的关系。
液滴喷出头34，通过安装部43使能够回转地安装在所述承载台42上。在安装部43上设置发动机44，液滴喷出头34，其支撑轴(图未示)连接在发动机44上，在这种构成下，液滴喷出头34能够在其四周方向上回转。另外，发动机44也连接在所述控制装置40上，由此液滴喷出头34，其向四周方向的回转可以由控制装置40控制。
这里液滴喷出头34，如图2(a)所示，例如设有不锈钢制的喷嘴板12和振动扳13，通过隔开部件(reservoir plate)14将两者接合。在喷嘴扳12和振动板13之间，通过隔开部件14而形成多个空间15和聍液池16。在各空间15和聍液池16的内部充满了液状材料，各空间15和聍液池16是通过供液口17连通。另外，在喷嘴板12上，以纵横对直的状态形成多个用于由空间15喷射液状材料的喷嘴孔18。另一方面，在振动扳13上形成用于向聍液池16供给液状材料的孔19。
另外，在振动扳13的空间15的相对面的反面上，如图2(b)所示接合压电元件(piezo元件)20。该压电元件20的构成是位于一对电极21之间，一旦通电能够向外突出并且能够弯曲。并且，在这样构成下，接合压电元件20的振动扳13与压电子形成一体并且同时能够向外弯曲，由此可以增大空间15的容积。所以，相当于空间15内增大的容积部分的液状材料通过供液口17从聍液池16流入。另外，若由该种状态停止向压电元件20通电时，压电元件20和振动扳13都返回至初始形状。所以，空间15也返回至初始容积，由此空间15内的液状材料的压力上升，并且由喷嘴孔18向基板喷出液状材料的液滴22。
另外，由此构成的液滴喷出头34，其底面形状大致呈矩形，如图15(a)、(b)所示，喷嘴N(喷嘴孔18)是以纵横对直的状态配置为矩形。并且，在本实施例中，将在其综方向、即长边方向上配置的喷嘴组设为喷嘴的列(喷嘴列)。另外，各喷嘴N(喷嘴孔18)各自独立，并且通过设置压电元件20，可以使其喷出动作或后述的微振动作能够各自独立进行。
液体供给装置35是由向液滴喷出头34供给液状材料的液体供给源45和用于由该液体供给源45向液滴喷出头34输送液体的液体供给管46构成。
控制装置40，由计算机等构成，如前述，在记忆冲洗区域41的位置、具体的说是与Y轴平行的两边的X坐标的同时，还可以检测并记忆液滴喷出头34的位置信息即在液滴喷出头34的导轨33d、33d上的位置(X坐标)和此时各喷嘴的位置(X坐标)。另外，根据这些记忆，可以对相对于各喷嘴一般的喷出动作和冲洗动作、以及后述的微振动作进行控制。
以下对根据控制装置40具体控制冲洗动作进行说明。在本发明中，可以以几种方式进行控制，但是从大的方面来分可以分为两类控制方式。另外，以下所示的控制，都是将液滴喷出头34以喷嘴的列能够倾斜并且能够移动至所需角度地配置，将其喷嘴间的间距设置为表观上所需间距。
第一种控制方式，是边使液滴喷出头34移动边在冲洗区域41内在该液滴喷出头34上进行冲洗动作的同时，在至少其中一个喷嘴到达从冲洗区域41内偏离的位置时，能够将其检测并且使全部喷嘴的冲洗动作停止。
第二种控制方式，是边使液滴喷出头34移动边在冲洗区域41内在该液滴喷出头34上进行冲洗动作的同时，在喷嘴到达从冲洗区域41内偏离的位置时，能够将该喷嘴即相对于从冲洗区域41内偏离的各个喷嘴，能够停止该冲洗动作。
即，在这些方式中，首先如前述，预选将冲洗区域41的两边位置作为液滴喷出头34的移动方向的X轴上的坐标记忆。此时，如图3所示，冲洗区域41在载物台39(基板S)的两侧时，记忆载物台39(基板S)侧即作为内侧X坐标的X2、X3，进而也记忆作为外测的X1、X4。
另外，在所述第一种方式中，是记忆位于液滴喷出头34的最外部的喷嘴，即如图4(a)中所示，相对于液滴喷出头34的移动方向的X轴方向呈倾斜配置的液滴喷出头34的在X轴方向上最外位置的角隅的喷嘴N1、N2的位置。另外，根据液滴喷出头34的移动当这些喷嘴N1、N2到达从预先设定的冲洗区域41内偏离的位置时，例如如图4(a)所示，液滴喷出头34从冲洗区域41侧向载物台39侧移动时，当其喷嘴N2到达冲洗区域41内侧的坐标X2时，能够使全部的喷嘴N的冲洗动作停止。
另外，这样的冲洗动作，可以使通过液滴喷出头34位于冲洗区域41上的所有空间而进行，但特别是在喷出液体较昂贵时，优选液滴喷出头34在冲洗区域41上向外测移动时，不进行冲洗动作，如图4(a)所示，仅在冲洗区域41上向内侧移动时，才控制冲洗动作。
由此，通过在基板S上喷出液滴之前进行冲洗，可以进一步有效地防止喷嘴N的喷出不良，并且也可以减少液体的浪费。
另外，在这样仅向内侧移动时才进行冲洗的情况下，作为该冲洗动作的初始时间无特殊限定，但是，例如液滴喷出头34在冲洗区域上向外侧移动并且一旦从冲洗区域偏离后，再次返回，如图4(b)所示，当该喷嘴N1到达冲洗区域41的外侧坐标X1时，对于全部喷嘴能够进行冲洗动作。另外，液滴喷出头34不从冲洗区域41上离开，并且即全部的喷嘴N以位于冲洗区域41上的状态改变移动方向而折回时，例如可以在折回时刻对于全部喷嘴进行冲洗动作。
另一方面，在所述第二种方式中，记忆倾斜配置的液滴喷出头34的全部喷嘴的位置。并且，根据液滴喷出头34的移动，这些喷嘴N到达从预先设定的冲洗区域41内偏离的位置时，对于该喷嘴N、即从冲洗区域41内偏离的各个喷嘴N，使该冲洗动作停止。例如如图4(a)所示，在液滴喷出头34从冲洗区域41侧向载物台39移动的情况下，当喷嘴N2到达冲洗区域41的内侧坐标X2时，能够控制仅使该喷嘴N2的冲洗动作停止。并且，之后即使对于到达该X2的其它喷嘴N，也可以依次控制使该冲洗动作停止。
另外，即使在这样的冲洗动作中，各个喷嘴N可以分别通过位于冲洗区域41上的所有空间，但是，如前述在喷出液体较昂贵时，也仍然优选能够控制液滴喷出头34在冲洗区域41上向外测移动时不进行冲洗动作，而是仅在冲洗区域41上向内侧移动时进行冲洗动作。
另外，在这些方式中，在液滴喷出头34上进行冲洗时，也可以预先将该液滴喷出头34回转至使该喷嘴的列相对于X轴方向(一个方向)呈垂直的位置，并且在该状态下能够进行冲洗。即如图5(a)所示，在载物台39上(基板S)进行液滴喷出后，直接移向冲洗区域时，根据控制装置40作用发动机44，并且使液滴喷出头34向以图5(a)中两点划线所示，不倾斜其姿势而向正直的姿势回转，由此在冲洗区域41上喷嘴列在Y轴方向上变为姿势一至。另外也可以在这样回转液滴喷出头34时，将其移动动作在如图5(b)所示在到达冲洗区域41上后进行。
另外，在回转液滴喷出头34进行这样冲洗时，对于该冲洗的控制也可以以前述的两种控制方式进行。
若根据这种方式进行冲洗，通过倾斜液滴喷出头34可以防止其一部分喷嘴从冲洗区域41上露出，并且还可以防止在这种状态下的冲洗。
另外，在到达冲洗区域后进行回转动作时，对基板上的液滴喷出无影响，并且还可以进行冲洗。
另外，作为控制方式，尤其在采用所述的第二种方式时，由于在冲洗区41域上液滴喷出头34中的喷嘴列的方向都与Y轴方向(一个方向)一致，所以构成喷嘴列的各喷嘴能够同时到达从预先设定的冲洗区域41偏离的位置。所以，无论对于每个喷嘴其控制冲洗的方式如何，实际上通过对每个喷嘴列的冲洗进行控制，在冲洗区域41外不喷出液滴，并且可以进行冲洗动作，从而由此可以简化控制。
另外，在进行这样的冲洗时，即使在回转液滴喷出头34的情况下，也仍然优选能够控制液滴喷出头34在冲洗区域上向外侧移动时不进行冲洗动作，而仅在在冲洗区域上向内侧移动时才进行冲洗动作。
另外，即使在前述两种中任一控制方式中，在进行冲洗动作后，对于停止其冲洗动作的喷嘴，优选能够控制使在印字前进行微振动作。
这里所述的微振动作，是指对对应于液滴喷出头34的各个喷嘴的压电元件20外加很小的电压并且由此使振动扳13产生很小的振动，在如图2(a)、(b)所示的空间15内的液状材料中给予微振动，并且不使液体喷出而抑制液状材料的粘度增加的动作。
即，在向基板上喷出液体以及冲洗时，对于对压电元件20外加以图6中波形T表示的较大电压，在微振动动作中，外加以图6中波形B表示的较小电压，并且如前述不使液滴喷出而能够在液状材料中仅给予微振动。另外，在微振动动作中，包括在基板S上进行液滴喷出动作以前进行的第一微振动；在喷嘴间相对于不进行喷出动作的喷嘴其它的喷嘴在进行喷出动作时进行的第二微振动；在液滴喷出头34的开动前进行的第三微动作；以及与这些无关的平时进行的平时微动作等，在本发明中，特别是在进行冲洗动作后，优选能够控制对于停止其冲洗动作的喷嘴，能够进行所述第一微动作。
通过如此控制，可以进一步确保防止由于液滴喷出头34内液体溶剂挥发而引起的粘度上升。
以下对在利用该类构成的液滴喷出装置30驱动方法的制膜方法适用于滤色器的制造时的一个例子进行说明。
在该例子中，首先将基板S设置在载物台39上的一定位置，再在控制该位置的控制装置40中通入电源。另外，通过控制装置40使发动机44启动，移动液滴喷出头34使其喷嘴间的间距为表观上所需的间距，即如图15(b)所示的液滴T间的间距P3，并且倾斜该喷嘴列。
作为所述基板S，可以使用具有一定机械强度并且透光性高的透明基板。具体的说，可以使用透明玻璃基板、丙烯酸玻璃、塑料基板、塑料胶片以及它们的表面处理品等。
另外，在本例子中，例如如图7所示，在长方形形状的基板S上从提高生产率的观点来看，可以使多个滤色器区域形成矩阵状。这些滤色器区域51可以在后面通过切断基板S而用作适合于液晶显示装置的滤色器。另外，作为滤色器区域51，可以配置为如图7所示将R的液状材料、G的液状材料、以及B的液状材料分别形成一定的图案、在本例中形成以往公知的条纹图案。另外，作为该形成图案，除条纹形外，还可以是镶嵌形、三角形或四角形等。
在形成这样滤色器区域51中，首先如图8(a)所示，对于透明基板S的一面，形成黑色矩阵52。
作为形成该黑色矩阵52的方法，是通过将无透光性的树脂(优选黑色)以计算机等的方法涂敷为一定厚度(例如2μm)来进行。对于以该黑色矩阵52的格子围成的最小显示要素即滤器单位53，例如可以将X轴方向的幅度大致设为30μm，将Y轴方向的长度大致设为100μm。
以下，如图8(b)所示，由所述液滴喷出头34喷出液滴54，并且将其供给滤器单位53。对于喷出液滴54的量，设为在考虑加工工艺中液状材料的体积减少后的足够量。
液滴54的喷出，是在沿着头移动装置33中导轨33d、33d向X轴方向边往返移动液滴喷出头34边进行的，此时，每一循环或每数个循环使液滴喷出头34移动至冲洗区域41中，并在此进行所述冲洗。此时，也可以通过所述两种方式中的任何一种方式来进行。另外，对于在印字前进行微振动还是不进行微振动、使液滴喷出头34一次性回转后进行冲洗还是不进行冲洗、进而对于冲洗的定时(仅在冲洗区域41上向内侧移动时才进行冲洗等)等，可以任意选择。
通过这种方式在基板S上的所有滤器单位53中充填液滴54后，利用加热器进行加热处理使基板S加热到一定温度(例如大致70℃)。通过该加热处理，液状材料的溶剂蒸发并且液状材料的体积减少。在该体积急剧减少时，反复进行喷出工序和加热工序直至作为滤色器能够获得足够膜厚为止。通过该处理，液状材料的溶剂蒸发，最终仅液状材料的固形成分残留并且膜化，如图8所示形成色材料层。
然后，为了使基板S平坦化并且保护色材料层55，如8(d)所示，覆盖色材料层55或黑色矩阵52，并且在基板S上形成保护膜56。在形成该保护膜56的过程中也可以采用旋涂法、滚涂法、开裂法(ripping)等的方法，与色材料层55的形成相同，也可以使用如图1所示的液滴喷出装置30。
然后，如图8(e)所示在该保护膜56的整个面上通过飞溅法或真空蒸镀法等形成透明导电膜57。之后，将透明导电膜57进行图案制作，对应于所述滤器单元58将象素电极58进行图案制作。但是若在液晶显示盘的驱动中使用TFT(Thin Film Transistor)时，就不须要该图案制作。
在利用此类液滴喷出装置30的滤色器的制造中，尤其是由于边移动液滴喷出头34边进行该冲洗动作，所以可以防止由于该冲洗而引起的生产率下降。
另外，由于构成的控制装置40使喷嘴到达从预先设定的冲洗区域41内偏离的位置时，所有喷嘴或离开的各个喷嘴的冲洗动作停止，所以可以防止由于从冲洗区域41露出并且被清洗而引起对制膜或图案形成产生的不良影响以及可以防止对装置的污染。进而，由于防止了对制膜或图案形成产生的不良影响，因此可以提高滤色器的生产率并且能够制造出良好的滤色器。
另外，利用本发明的液滴喷出装置30的驱动方法的制膜方法，也可以适用于形成有机EL元件构成要素的薄膜。图9和图10是表示用于说明设有该类有机EL元件的EL显示器中一个例子的简图，在这些图中符号70是表示EL显示器。
该EL显示器70的构成为，如电路9所示，在透明的显示基板上分别布有多条扫描线131、相对于这些扫描线呈交叉方向延伸的多条信号线132、以及与扫描线131并列延伸的多条通用送电线133，在每个扫描线131和信号线132的交叉点上设置象素(象素区域素)71。
对于信号线132，可以设置具有移位记录器、电平移位、视频线、模拟开关的数据侧驱动电路72。
另一方面，对于扫描线131，可以设置具有移位记录器和电平移位的扫描侧驱动电路73。另外，在各个象素区域71中，可以设置通过扫描线131向栅极供给扫描信号的开关薄膜晶体管142、通过该开关薄膜晶体管142保持从信号线132供给的图像信号的保持电容cap、通过保持电容cap向栅极供给保持的图像信号的电流薄膜晶体管143、通过该电流薄膜晶体管143在通用送电线133上接通电源时从通用送电线133流入驱动电流的象素电极141、夹在该象素电极141和反射电极154之间的发光部140。
在这样构成下，若扫描线131被驱动并且开关薄膜晶体管142接通时，此时的信号线132的电位保持在保持电容cap中，根据保持电容cap的状态，来决定电流薄膜晶体管143是接通还是关闭状态。并且，通过电流薄膜晶体管143的通道，由通用送电线133向象素电极141流入电流，进而通过发光部140向反射电极154流入电流，由此发光部140就可以根据流入的电流量进行发光。
这里各象素71的平面构造，如去除反射电极、有机EL元件后的状态的扩大俯视图的图10所示，平面形状为长方形的象素电极141的四边，通过信号线132、通用送电线133、扫描线131以及图未示的其它象素电极用的扫描线包围构成。
以下，对于设置于这类EL显示器70的有机EL元件的制造方法，利用图11～图13来进行说明。另外，在图11～13中，为简化说明只图示了单一的象素71。
首先准备基板。在有机EL元件中，可以构成为能够从基板侧将后述的由发光层发光的光取出，以及也可以从与基板相反的一侧取出。若是将发光的光从基板侧取出的构成时，作为基板材料可以使用玻璃、石英、树脂等的透明至半透明的材料，优选使用玻璃。
另外，在基板上可以配置含有滤色器膜或荧光性物质的色变换膜、或介电体反射膜以便控制发光色。
另外，若是将发光的光从与基板的反侧取出的构成时，基板以不透明为宜，此时可以使用在氧化铝等的陶瓷、不锈钢等的金属板上实施表面氧化等的绝缘处理材料、热固化性树脂、热可塑性树脂等。
在本例中，作为基板如图11(a)所示利用由钠钙玻璃等构成的透明基板121。与此相反，根据须要可以将TEOS(四乙氧基硅烷)或氧气等作为原料通过等离子CVD法形成由厚度约为200～500nm的硅氧化膜构成的底层保护膜(图未示)。
然后，将透明基板121的温度设定约为350℃，在底层保护膜的表面上通过等离子CVD法形成厚度约为30～70nm的非晶形硅膜构成的半导体膜200。然后对于该半导体膜200进行激光退火或固相成长法等的结晶化工序，使半导体膜200在聚硅膜上结晶。在激光退火法中，例如在激元激光器中使用激光光束长度为400nm的线光束，其输出强度例如设置为200mJ/cm2。对于光束，进行相当于其宽度方向上激光强度峰值的90％部分能够重合的扫描。
然后，如图11(b)所示，将半导体膜(聚硅膜)进行图案制作并设置为岛状半导体210，对于其表面，将TEOS或氧气作为原料通过等离子CVD法形成由厚度约为60～150nm的硅氧化膜或氮化膜构成的门绝缘膜220。另外，半导体膜210，形成了如图10所示的电流薄膜晶体管143的通道区域和源·漏区域，在不同剖面位置上也形成成为开关薄膜晶体管142的通道区域和源·漏区域的半导体膜。即，在如11～图13所示的制造工序中同时形成两种类型的晶体管142、143，由于是以相同的程序制造，所以在以下的说明中关于晶体管仅对电流薄膜晶体管143进行说明，对于开关薄膜晶体管142省略说明。
以下，如图11(c)所示，通过喷溅法形成由铝、钽、钼、钛、钨等的金属膜构成的导电膜后，将其进行图案制作，从而形成栅极143A。
然后，在该状态下打入高浓度的磷离子，在半导体膜210上相对于栅极143A进行自身整合形成源·漏区域143a、143b。另外，没有引入杂质的部分形成通道区域143c。
然后，如图11(d)所示，在形成层间绝缘膜230后，形成接触孔232、234，在这些接触孔232、234内植入中继电极236、238。
然后，如图11(e)所示在层间绝缘膜230上形成信号线132、通用送电线133和扫描线(图11未示)。这里所述的中继电极和各配线可以在同一工序中形成。此时中继电极236可以通过后述ITO膜形成。
另外，形成能够覆盖各配线上面的层间绝缘膜240，在对应于中继电极236的位置上形成接触孔(图未示)，在该接触孔内也形成能够植入的ITO膜，进而将该ITO膜进行图案制作，在由信号线132、通用送电线133和扫描线(图未示)围成的一定位置中，在源·漏区域143a中形成电连接的象素电极141。在这里被信号线132和通用送电线133、进而被扫描线(图未示)夹持的部分如后述形成为空穴注入层或发光层的形成场所。
然后，如图12(a)所示，形成能够包围所述形成场所的隔壁150。该隔壁150作为隔开部件发挥作用，例如优选由聚亚酰胺等的绝缘材料形成。对于隔壁150的膜厚，例如可以形成使高度为1～2μm。另外，隔壁150，对于液滴喷出头34喷出的液体优选显示疏液性的材料。为使隔壁150的表面显示疏液性，例如可以采用将隔壁150的表面以氟类化合物等进行表面处理等之类的方法。作为氟类化合物，例如有CF4、SF5、CHF3等，作为表面处理例如可以举出等离子处理、UV照射处理等。
另外，在该构成下，在空穴注入层或发光层的形成场所即在这些形成材料的涂敷位置和其周围的隔壁150之间形成足够高的段差111。
然后，如图12(b)所示，使显示基板121的上面以向上的状态将空穴注入层的形成材料由所述的液滴喷出头34，在由所述隔壁150包围的涂敷位置即隔壁150内进行选择性涂敷。
这样使空穴注入层的形成材料喷出，是边使液滴喷出头34沿着头移动装置33中的导轨33d、33d向X轴方向往复移动边进行，此时每个循环或每数个循环将液滴喷出头34移至冲洗区域41内，在这里进行所述的冲洗。此时如前面的滤色器制造相同，可以通过所述两种方式中任何一种来进行。另外，对于在印字前是否进行微振动、进而是否进行定时冲洗(仅将冲洗区域41移向内侧时才进行冲洗等)等，也可以任意选择。
作为所述空穴注入层的形成材料，聚合物的前体可以举出聚四氢硫苯亚苯基的聚亚苯基亚乙烯基、1，1-双(4-N，N-二甲苯基氨基苯基)环己烷、三(8-羟基喹啉)铝等。
此时液状的形成材料114A，由于流动性高而向水平方向扩展，但是由于包围了涂敷位置并且形成隔壁150，所以形成材料114可以防止越过隔壁150而扩展到其外测。
然后，如图12(c)所示，通过加热或光照射使液状前体114A的溶剂蒸发，在象素电极141上形成固状正孔注入层140A。
然后，如图13(a)所示，使显示基板121的上面以向上的状态由液滴喷出头34作为液状材料将发光层的形成材料(发光材料)114B选择性地涂敷在所述隔壁150内的空穴注入层140A上。在喷出该发光层的形成材料时，每个循环或每数个循环使液滴喷出头34移至冲洗区域41内，在此进行所述的冲洗。
作为发光层的形成材料，例如优选使用含有共轭类高分子有机化合物的前体和用于改变所得发光层的发光特性的荧光色素的材料。
共轭类高分子有机化合物的前体，是指和荧光色素一起由喷出头34喷出并且形成薄膜后，例如如下式(I)所示通过加热固化生成的成为共轭类高分子有机EL层的发光层的物质，例如所述前体为锍盐时，通过加热处理脱锍基形成共轭类高分子有机化合物的物质。
该类共轭高分子有机化合物为固体并具有很强的荧光，可以形成均匀的固体超薄膜。并且富有形成能与ITO电极粘接性高。并且，该类化合物的前体，由于在固化后形成牢固的共轭类高分子膜，所以在加热固化前可以将前体溶液调节为能够适用于利用后述液滴喷出头的制膜法的一定粘度，从而简便并且在较短的时间内进行最适宜条件的膜形成。
作为该类的前体，例如优选PPV[聚(对亚苯基亚乙烯基)]或其衍生物的前体。PPV或其衍生物的前体可溶于有机溶剂，另外，由于能够聚合化所以也可以获得光学上高质量的薄膜。另外，PPV由于具有强的荧光并且为双键π电子在聚合物链上的非极性导电性高分子，所以可以得到高性能的有机EL元件。
作为该类PPV或PPV衍生物的前体，可以举出例如如化学式(II)所示的PPV[聚(对亚苯基亚乙烯基)]前体、MO-PPV[聚(2，5-二甲氧基-1，4-亚苯基亚乙烯基)]前体、CN-PPV{聚[2，5-双己基氧代-1，4-亚苯基-(1-氰基亚乙烯基)]}前体、MEH-PPV{聚[2-甲氧基-5-(2’-乙基己基氧代)]-对亚苯基亚乙烯基}前体等。
PPV或PPV衍生物的前体，如前述可溶于水，在制膜后通过加热进行高分子化并且形成PPV层。在所述PPV前体中代表前体的含量相对于整个组合物优选为0.01～10.0wt％，进一步优选0.1～5.0wt％。若前体的添加量过少，共轭类高分子膜的形成就不充分，过多，组合物的粘度变高，有时会不利于通过使用液滴喷出头的制膜方法而进行的高精度的图案案形成。
另外，作为发光层的形成材料，优选至少含有一种荧光色素。由此可以改变发光层的发光特性，例如，可以提高发光层的发光效率，或对用于作为改变最大吸收光波长(发色光)手段有效。即，荧光色素不是作为单一的发光层材料，还可以用于发挥发光功能自身的色素材料。例如可以将由共轭类高分子有机化合物分子上的媒介物重组生成的激子的能量基本上转移至荧光色素分子上。此时，发光由于仅是由高荧光色素分子产生的，所以也可以增加发光层的电流量子效率。所以通过在发光层的形成材料中添加荧光色素，同时发光层的发光光谱也成为荧光分子的荧光，所以作为用于改变发光色的方法段也是有效的。
另外，这里所述的电流量子效率是指根据发光功能用于考察发光性能的尺度，以下式定义。
ηE＝放射光子的能量/输入电能并且，根据由荧光色素的涂料引起的最大吸收光波长的变换，例如可以发出红、蓝、绿三原色光，其结果可以得到全彩色显示体。
进而通过搀杂荧光色素，可以大幅度地提高EL元件的发光效率。
作为荧光色素，在形成发出红色发色光的发光层时，优选使用具有红色发色光的若丹明或若丹明衍生物。这些荧光色素由于是小分子所以可以溶于水，并且与PPV相溶好，从而容易形成均匀稳定的发光层。作为该类荧光色素，具体的可以举出若丹明B、若丹明B碱、若丹明6G、若丹明101高氯酸盐等，也可以将它们中的两种以上混合使用。
另外，在形成发出绿色发色光的发光层时，优选使用具有绿色发色光的喹丫酮和其衍生物。这些荧光色素与所述红色荧光色素相同由于是低分子所以可以溶于水，并且与PPV相溶性良好，从而容易形成发光层。
另外，在形成发出蓝色发色光的发光层时，优选使用具有蓝色发色光的二苯乙烯联二苯和其衍生物。这些荧光色素与所述红色荧光色素相同由于是低分子所以可以溶于水，并且与PPV相溶性良好，从而容易形成发光层。
另外，作为具有绿色发色光的其它荧光色素，可以举出香豆素和其衍生物。这些荧光色素与所述红色荧光色素相同由于是低分子所以可以溶于水，并且与PPV相溶性良好，从而容易形成发光层。作为这类荧光色素具体的可以举出香豆素、香豆素-1、香豆素-6、香豆素-7、香豆素120、香豆素138、香豆素152、香豆素153、香豆素311、香豆素314、香豆素334、香豆素337、香豆素343等。
另外，作为另外具有蓝色发色光的荧光色素可以举出四苯基丁二烯(TPB)或TPB衍生物。这些荧光色素与所述红色荧光色素相同由于是低分子所以可以溶于水，并且与PPV相溶性良好，从而容易形成发光层。
对于以上的荧光色素各色可以仅使用1种也可以将两种以上混合使用。
对于这些荧光色素，相对于所述共轭类高分子有机化合物的前体固形成分优选添加0.5～10wt％，进一步优选添加1.0～5wt％。荧光色素的添加量过多，很难维持发光层的耐气候性和耐久性，另一方面，添加量若过少，即使通过添加所述的荧光色素也不能得到足够的效果。
另外，对于所述前体和荧光色素，优选使分散或溶解于极性溶剂调配为液状材料，并且将该液状材料由液滴喷出头34喷出。极性溶剂，由于可以容易地将所述前体、荧光色素等溶解或均匀分散，所以可以防止在液滴喷出头34的喷嘴孔18中由发光层形成材料中的固形成分引起的粘附或堵塞。
作为该类极性溶剂，具体的可以举出水、甲醇、乙醇等与水相溶的醇；N，N-二甲基甲酰胺(DMF)、N-甲基吡咯烷酮(NMP)、二甲基咪唑啉(DMI)、二甲基亚砜(DMSO)等有机溶剂或无机溶剂，也可以将它们中的两种以上进行适当地混合使用。
另外，优选在所述形成材料中添加润湿剂。由此可以有效地防止在形成材料在液滴喷出头34的喷嘴孔18内干燥凝固。作为润湿剂例如可以举出甘油、二乙二醇等多元醇，也可以将它们中两种以上混合使用。作为该润湿剂的添加量，相对于形成材料的总量优选为5～20wt％范围。
另外，也可以添加其它的添加剂、成膜稳定化材料，例如可以使用稳定剂、粘度调节剂、抗老化剂、pH调节剂、防腐剂、树脂溶胶、流平剂。
若将该类发光层的形成材料114B由液滴喷出头34的喷嘴孔18喷出时，形成材料114A涂敷在隔壁150内的空穴注入层140A上。
此时由形成材料114A的喷出而形成的发光层，是通过将发出红色发色光的发光层的形成材料、发出绿色发色光的发光层的形成材料、发出蓝色发色光的发光层的形成材料分别喷出并涂敷于对应的象素71上而形成。另外，对应于各色的象素71可以预先决定使它们能够有规则地配置。
通过这种方式将各色的发光层形成材料喷出并涂敷后，通过蒸发发光层形成材料114B中的溶剂，如图13(b)所示在空穴层注入层140A上形成固形的发光层140B，由此可以获得由空穴层注入层140A和发光层140B构成的发光部140。这里对于发光层形成材料114B中溶剂的蒸发，根据须要进行加热或减压等的处理，但是，发光层的形成材料，通常由于干燥性良好并且具有速干性，不需要进行这样特殊的处理，所以通过依次将各色的发光层形成材料喷出涂敷，可以根据涂敷顺序形成各色的发光层140B。
之后，如图13(c)所示，在透明基板121的整个表面上，或者在条纹状状上形成发射电极154，从而得到有机EL元件。
在由该类液滴喷出装置30制造有机EL元件构成要素的空穴层注入层140A或放光层140B的过程中，特别是由于边移动液滴喷出头34边进行其冲洗动作，所以通过该冲洗动作可以防止生产率的下降。
另外，由于控制装置40的构成是使喷嘴到达从预先设定冲洗区域41偏离的位置时，能够停止全部喷嘴或各个偏离喷嘴的冲洗动作，所以可以确切地防止由于从冲洗区域41露出并且被冲洗而引起的对制膜或图案制作的不良影响或者对装置的污染。进而由于防止了对制膜或图案的制作的不良影响，所以可以以高的生产率并且形成良好的空穴注入层140A或发光层140B。
另外，作为本发明的液滴喷出装置和其驱动方法、以及设有它们的制膜装置和制膜方法，不仅可以用于尤其是作为滤色器或有机EL元件构成要素的薄膜的制造，还可以用于其它各种薄膜或图案的形成。例如可以用于投影用屏幕等的微型透镜的形成。
以下对本发明的电子设备进行说明。本发明电子设备中的装置构成要素或制造上形成的薄膜是通过利用所述的液滴喷出装置30的驱动方法的制膜方法而形成的。即本发明的电子设备，是将设有所述滤色器的液晶显示装置、或设有所述有机EL元件的EL显示器等作为显示装置而设置的。
图14(a)是表示便携电话的一个例子的斜视图。在图14(a)中，500表示便携电话主体，501表示由所述液晶显示装置或EL显示器构成的显示装置。
图14(b)是表示文字处理机、电脑等的便携型信息处理装置的一个例子的斜视图。在图14(b)，600表示信息处理装置、601表示键盘等的输入部，603表示信息处理主体、602表示由所述液晶显示装置或EL显示器等构成的显示装置。
图14(c)是表示手表型电子设备的一个例子的斜视图。在图14(c)中700是表示手表主体、701是表示由所述液晶显示装置或EL显示器构成的显示装置。
图14(a)～(c)所示的电子设备，由于设有由所述液晶显示装置或EL显示器构成的显示装置，所以成品率高并且良好。
如以上说明，根据本发明的液滴喷出装置，由于是边使液滴喷出头移动边在冲洗区域内进行冲洗动作，所以通过该冲洗不会降低生成率。另外，由于构成的控制装置使在至少一个喷嘴到达从预先设定的冲洗区域内偏离的位置时，所有喷嘴的冲洗动作停止，所以可以防止由于从冲洗区域露出并且被清洗而引起对制膜或图案形成产生的不良影响以及可以防止对装置的污染。
根据本发明的另一液滴喷出装置，由于是边使液滴喷出头移动边在冲洗区域内进行冲洗动作，所以通过该冲洗不会降低生成率。另外，由于构成的控制装置使在喷嘴到达从预先设定的冲洗区域内偏离的位置时，该喷嘴的冲洗动作停止，所以可以防止由于从冲洗区域露出并且被清洗而引起对制膜或图案形成产生的不良影响以及可以防止对装置的污染。
根据本发明的制膜装置，由于设有所述液滴喷出装置，所以不会产生由于冲洗引起的生产率下降，另外，也可以防止由于从冲洗区域露出并且被冲洗而引起对制膜产生的不良影响或者对装置的污染。
根据本发明的液体喷出装置的驱动方法，由于是边使液滴喷出头移动边在冲洗区域内进行冲洗动作，所以通过该冲洗不会降低生成率。另外，由于构成的控制装置使在至少一个喷嘴到达从预先设定的冲洗区域内偏离的位置时，所有喷嘴的冲洗动作停止，所以可以防止由于从冲洗区域露出并且被清洗而引起对制膜或图案形成产生的不良影响以及可以防止对装置的污染。
根据本发明的另一液滴喷出装置的驱动方法，由于是边使液滴喷出头移动边在冲洗区域内进行冲洗动作，所以通过该冲洗不会降低生成率。另外，由于构成的控制装置在使喷嘴到达从预先设定的冲洗区域内偏离的位置时，该喷嘴的冲洗动作停止，所以可以防止由于从冲洗区域露出并且被清洗而引起对制膜或图案形成产生的不良影响以及可以防止对装置的污染。
根据本发明的制膜方法，由于具有所述液滴喷出装置的驱动方法，所以不会产生由于冲洗引起的生产率下降，另外，也可以防止由于从冲洗区域露出并且被冲洗而引起对制膜产生的不良影响或者对装置的污染。
根据本发明的滤色器的制造方法，如所述不会降低生产率，另外，从能够防止对制膜的不良影响以及对装置的污染来看，可以提高滤色器的生产率并且还可以形成良好的滤色器。
根据本发明的有机EL装置的制造方法，由于是通过所述制膜方法形成有机EL装置构成要素的薄膜，所以不会降低生产率，另外，从能够防止对制膜的不良影响以及对装置的污染来看，可以提高有机EL装置构成要素的薄膜的生产率并且还可以形成良好的有机EL装置构成要素的薄膜。
根据本发明的电子设备的制造方法，由于设有利用所述制膜方法形成的装置，所以可以高生产率的形成良好的电子设备。
权利要求
1.一种液滴喷出装置，具有将设置于载物台上方的相对于基板能够向一个方向往复移动并且使在所述基板上喷出液滴的多个喷嘴纵横对直配置的液滴喷出头、设置在所述载物台侧方的冲洗区域、以及控制所述液滴喷出头动作的控制装置，其特征在于，所述控制装置设置为，对所述各喷嘴列进行控制而使在所述冲洗区域内进行冲洗动作。
2.根据权利要求1所述的液滴喷出装置，其特征在于，所述控制装置，对于喷嘴在控制使冲洗动作停止后，控制使对于该喷嘴进行微振动作。
3.根据权利要求1所述的液滴喷出装置，其特征在于，所述冲洗区域，相对于所述载物台上的所述基板，在所述一个方向上的至少一方设置。
4.根据权利要求1所述的液滴喷出装置，其特征在于，所述控制装置能够控制，使所述液滴喷出头在冲洗区域上向外侧移动时不进行冲洗动作，仅在冲洗区域上向内侧移动时才进行所述冲洗动作。
5.一种制膜装置，其特征在于，备有权利要求1所述的液滴喷出装置。
6.一种液滴喷出装置的驱动方法，在配置于载物台的基板上涂敷液滴，其特征在于，所述液滴喷出装置具有将设置于载物台上方的相对于所述基板能够向一个方向往复移动并且使在所述基板上喷出液滴的多个喷嘴纵横对直配置的液滴喷出头、和设置在所述载物台侧方的冲洗区域，在所述冲洗区域内，对所述各喷嘴列进行冲洗动作。
7.根据权利要求6所述的液滴喷出装置的驱动方法，其特征在于，在停止所述喷嘴的所述冲洗动作后，对于所述喷嘴使其进行微振动作。
8.根据权利要求6所述的液滴喷出装置的驱动方法，其特征在于，所述冲洗区域，相对于所述载物台上的所述基板，在所述一个方向上的至少一方设置。
9.根据权利要求6所述的液滴喷出装置的驱动方法，其特征在于，所述液滴喷出头在冲洗区域上向外侧移动时不进行冲洗动作，仅在冲洗区域上向内侧移动时才进行所述冲洗动作。
10.一种制膜方法，其特征在于，含有权利要求6所述的驱动方法。
11.一种滤色器的制造方法，其特征在于，通过权利要求10所述的制膜方法形成滤色器。
12.一种有机EL装置的制造方法，其特征在于，通过权利要求10所述的制膜方法形成有机EL装置的构成要素的薄膜。
13.一种电子设备，具有利用权利要求10所述的制膜方法形成的装置。
全文摘要
一种液滴喷出装置及其驱动方法、制膜装置及其制膜方法，不降低生产率并且可以防止对制膜或图案制作产生的不良影响或对装置产生的污染，该液滴喷出装置(40)设有能够向X轴方向往复移动并且将多个喷嘴纵横对直配置的液滴喷出头(34)、相对于所述载物台(39)上的基板(S)在至少一侧设置的冲洗区域(41)、以及控制液滴喷出头动作的控制装置(40)，液滴喷出头(34)是相对于X轴方向倾斜配置。控制装置(40)在边使所述液滴喷出头移动边在冲洗区域内进行冲洗动作的同时，在至少一个喷嘴到达从预先设定的冲洗区域内偏离的位置时，能够控制使所有喷嘴的冲洗动作停止。
文档编号C09D11/00GK1680099SQ20051006875
公开日2005年10月12日 申请日期2003年3月4日 优先权日2002年2月5日
发明者臼田秀范 申请人:精工爱普生株式会社