专利名称：涂布装置、分散液移动方法
技术领域：
本发明涉及喷墨方式的间隔物涂布装置，特别涉及循环式间隔物涂 布装置。
背景技术：
近年来，为了涂布液晶显示装置的间隔物，采用了应用喷墨打印机 的喷墨方式的间隔物涂布装置。图9 (a)的符号111是间隔物涂布装置的一个例子，在底座105的 上方位置配置有安装在保持框120上的喷头121,在底座105上配置液 晶用的基板107,将喷头121与基板107沿着扫描方向109相对移动， 同时由喷头121喷出分散有间隔物的分散液，则分散液弹落到在基板 10 7表面的所要求的位置，间隔物以配置的方式构成。图8是用于说明以往技术的间隔物涂布装置111的分散液供给系统 的框图。该间隔物涂布装置111中，喷头121由多个喷头组件121a-121c构 成，各喷头组件121a-121c与位于底座105—侧的供给罐136连接。供给罐136以与各喷头组件121a-121c喷出孔的位置相同的高度储 存分散液138,打开供给罐136与各喷头组件121a-121c之间的阀，在 供给罐136与各喷头組件121a-121c连接的状态下通过加压装置130将 气体供给供给罐136的内部，则供给罐136内的压力升高，供给罐136 内的分散液138被供给各喷头组件121a-121c。各喷头组件121a-121c以与回收罐137连接，由供给罐136供给的 分散液流入喷头组件121a-121c内，然后再返回至回收罐137中的方式 构成。回收罐137与供给罐136互相连接，回收到回收罐137的分散液139 可以返回至供给耀136。专利文献1:日本特开2004-50059号z〉才艮 专利文献2:日本特开2002-72218号公报 专利文献3:日本特开平11-7028号公报发明内容以往技术的涂布装置111中，如上所述，分散液通过加压供给各喷头组件121a-121c，因此气体容易溶解入分散液138中，其在喷头组件 121a-121c内形成气泡并析出，可能发生喷出错误。在分散液的供应中使用泵，则发生气体的巻入，除此之外还有间隔 物变形、损坏的问题。为解决上述课题，本发明是使喷头组件与基板相对移动、使分散有 固体微粒的分散液弹落在基板的所要求的位置上的涂布装置，该涂布装 置具有配置在上述喷头组件外部的第一、第二循环罐；设于上述喷头 组件的緩冲罐；流入口与上述緩冲罐相连接的喷出室；设于上述第一、 第二循环罐与上述緩冲罐之间的主配管；设于上述喷出室的流出口与上 述第一、第二循环罐之间的返回配管；设于上述主配管、使上述第一、 第二循环罐中的至少一方与上述緩冲罐连接的供给阀；设于上述返回配 管、使上述笫一、第二循环罐中的至少一方与上述喷头组件连接的返回 阀，以上述第一、第二循环罐和上述緩冲罐密闭，可以调控配置于上述 各罐内部的上述分散液的上部空间压力的方式构成。本发明涉及涂布装置，该涂布装置以具有与上述第一、第二循环罐 连接的给排气装置，可对上述第一、笫二循环罐内上述分散液液面上方 的空间供给加压气体以及进行真空排气的方式构成。本发明又涉及涂布装置，其中，以真空泵和气体供给系统与上述緩 冲罐连接，可以控制上述緩冲罐内上述分散液的液面上方空间压力的方 式构成。本发明还涉及涂布装置，其中，以由上述气体供给系统供给He的 方式构成。本发明又涉及涂布装置，其中，以在上述第一、第二循环罐之间设 置移动用配管，上述分散液不经上述喷出室，可以在上述第一、第二循 环罐之间移动的方式构成。本发明还涉及具有聚集物分离用滤器的涂布装置，其中所迷聚集物 分离用滤器设置在上述移动用配管中，使上述固体微粒的单体通过，捕 获上述固体微粒的聚集物。本发明又涉及具有固体微粒除去用滤器的涂布装置，其中所述固体微粒除去用滤器设于上述移动用配管中，捕获上述固体微粒的单体。本发明又涉及涂布装置，其中，分散液由循环罐供给喷出室的配管 的至少 一部分由不具有透液性而具有透气性、上述分散液流过的内管， 和不具有透气性、上述内管插入连通的外管的双重配管构成，上述内管 与上述外管之间可以进行真空排气。本发明又涉及分散液移动方法，其是使上述任何涂布装置内部的循 环液体移动的分散液移动方法，该方法是在上述第一、第二循环罐中， 以其中任意一方作为供给源，在使上述供给阀为打开状态、与上述緩冲 罐连接时，使上述作为供给源的循环罐内的压力为大气压或以下，同时 使上述分散液从上述作为供给源的循环罐向上述緩冲罐内移动。本发明又涉及分散液移动方法，其是使上述任何涂布装置内部的循 环液移动的分散液移动方法，该方法是在上述第一、第二循环罐中，以 其中任意一方作为回收目的地，在将上述返回阀打开的状态下、在与上 述喷出室连接时使上述回收目的地的循环罐内的压力比大气压低，使上 述喷出室内的上述分散液移动至上述回收目的地的循环罐中。本发明又涉及分散液移动方法，其是使上述任何涂布装置内部的循 环液移动的分散液移动方法，该方法是在上述第一、第二循环罐中，以 其中任意一方作为供给源，使上述供给阀为打开的状态，与上述緩冲罐 连接，以另一方作为回收目的地，使上述返回阀为打开状态，与上述喷 出室连接，使上述供给源的循环罐内的上述分散液经过上述緩冲罐和上 述喷出室移动至上述回收目的地的循环罐中。本发明是如上述那样构成的，在緩冲罐内的分散液上方空间(緩冲罐内空间)的压力比循环罐内 分散液上方空间(循环罐内空间)的压力低的状态下，在循环罐与緩冲 罐连接时，分散液由循环罐向緩冲罐供给。在循环罐吸引喷出室内的分散液的力比緩冲罐吸引喷出室内的分 散液的力大的状态下，在将循环罐与喷出室连接时，喷出室内的分散液 净皮吸引到循环罐中。分散液不与比大气压高的压力的气体接触，因此溶解于分散液中的 气体少，气泡发生少。在分散液的移动中不使用泵，因此不会由于泵而向分散液内巻入气 体，可防止气泡发生。不使用泵则不会有分散于分散液中的微粒的变形或破损。 可以使分散液循环，因此不会产生沉淀。附图简述
图1是表示本发明的一个例子的涂布装置的循环系统图。图2是用于说明分散液由第 一循环罐流至第二循环罐的途径的图。图3是用于说明分散液由第二循环罐流至第 一循环罐的途径的图。图4是用于说明流经聚集物分离用滤器的分散液的图。图5是用于说明流经固体微粒除去用滤器的分散液的图。图6是用于说明将分散液由喷出室直接返回緩冲罐的涂布装置的图。图7是用于说明利用双重配管的脱气装置的图。 图8是用于说明以往技术的涂布装置的分散液循环途径的图。 图9 (a):以往技术的涂布装置的外观(b):本发明的涂布装置 的外^L的一个例子符号说明 7......基板11......涂布装置21…...喷头24......给排气装置50……料筒 21a-21c……喷头组件 31L, 31R……循环罐 37……主配管 38......返回配管39......移动用配管41a-41c……緩沖罐 42a-42c......喷出室46...…超声波施加装置 47......聚集物分离用滤器49......固体微粒除去用滤器57......气体供给系统58……真空泵VSl, vsr......供纟合泵vrL， vrR......返回阀
具体实施方式
图9 (b)的符号11是本发明的涂布装置的一个例子，在底座5上 配置基板7。底座5的上方配置保持框20。保持框20上安装有喷头21。如图1所示，喷头21由多个喷头组件21a、 21b、 21c构成。各喷头组件21a-21c内分别设置緩冲罐41a-41c、喷出室42a-42c。涂布装置11具有向喷头组件21a-21c供给分散液的循环系统。图1的符号10表示该循环系统，循环系统10中设置有第一、第二循环罐31L、31R。第一、第二循环罐31L、 31R配置于底座5的侧方或下方等对基板 7的搬运没有障碍的位置，相对于底座5静止。緩冲罐41a-41c设于喷出室42a-42c上方，緩冲罐41a-41c内储存有 分散了固体微粒的分散液48a-48c。緩冲罐41a-41c内的分散液48a-48c 在緩冲罐41a-41c的内部配置成在分散液48a-48c的液面上方形成空间 的程度。各緩冲罐41a-41c的顶面或壁面的上部位置分别连接真空泵58。真 空泵与各緩冲罐41a-41c连接的位置是各緩冲罐41a-41c内部分散液液 面上方，通过对各緩冲罐41a-41c内的分散液48a-48c液面上方的空间 进行真空排气，可使该空间的压力降低，以此方式构成。各緩冲罐41a-41c的顶面或壁面上部位置分别连接气体供给系统 57。气体供给系统与各緩沖罐41a-41c的连接位置是各緩冲罐41a-41c 内部的分散液液面上方，向各緩冲罐41a-41c内的分散液48a-48c液面 上方的空间供给对分散液溶解度小的升压气体，使该空间的压力升高， 以jt匕方式构成。緩冲耀41a-41c的底面或壁面下部等分散液的液面下方的位置设置 供给口，喷出室42a-42c的壁面或顶面i殳置流入口。緩冲罐41a-41c的供给口分别与喷出室42a-42c的流入口连接，可以使緩冲罐41a-41c内的分散液向喷出室42a-42c移动。喷出室42a-42c的底面配置在与配置于底座5上的基板相对的位置。在喷出室42a-42c的底面形成4艮多喷孔，喷出室42a-42c内的分散液通过喷孔与大气接触。使緩冲罐41a-41c内的空间的压力PB为负压(PB< (大气压))、在负压的吸引力与緩冲罐41a-41c内分散液48a-48c的重量平衡的状态下，喷出室42a-42c内的分散液不会由喷孔滴落，因此緩冲罐41a-41c内的分散液48a-48c也不会移动至喷出室42a-42c。在各喷出室42a-42c内与喷孔对应地形成小室，各小室配置有压电元件。向压电元件施加电压，则压电效果导致压电元件伸缩，由此各小室 内的分散液被加压，分散液由该各小室的喷孔向基板7表面喷出。喷出室42a-42c内的分散液喷出，则从緩冲罐41a-41c 4又吸入分散 液48a-48c^皮喷出的量，予以补充。緩冲罐41a-41c内的分散液液面降低，则升压气体由气体供给系统 57向緩冲罐41a-41c内导入，或者由后述第一或第二循环罐31L、 31R 补充分散液，緩冲罐41a-41c内的空间压力保持一定。分散液由循环罐31L、 31R向緩冲罐41a-41c的移动是根据第一或 第二循环罐31L、 31R内的分散液23L、 23R的重量、第一或第二循环 罐31L、 31R的压力、和緩冲罐41a-41c内的压力差的力来进行的。基板7与保持框20的构成是其中的任意一方或两方沿着扫描方向9 移动。可以是基板7静止、保持框20沿着扫描方向9移动，也可以是 保持框20静止，基板7沿着扫描方向9移动。还可以是基板20与保持 框20同向或者不同向沿着扫描方向9移动。总之，喷头21与保持框20 一起移动。结果，基板7可与喷头21,即，基板7可与緩冲罐41a-41c和喷出 室42a-42c相对移动。使基板7与喷头21相对移动、在喷头21位于基板7上所要求的位 置时，对压电元件施加电压，则分散液由喷出口喷出，可以使喷出的分 散液弹落于基板7表面的所要求的位置。分散液中分散有间隔物或颜料颗粒等固体微粒，如果弹落的分散液 中的分散溶剂蒸发，则固体微粒牢固定于基板7上。还可以与循环系统10分开设置分散液供给系统28,第一、第二循 环罐31L、 31R分别与该分散液供给系统28连接。连接第一、第二循环罐31L、 31R和分散液供给系统28的配管中途 设有阀Vi、 V2,该阀Vp V2打开，则分散有固体微粒的分散液由分散液 供给系统28供给第一、第二循环罐31L、 31R。图l及后述的各图中，阀的打开状态以白色表示，关闭状态以黑色 表示，在图1中，与第一循环罐31L相连接的阀Vi为白色，为打开状态， 与第二循环罐31R连接的阀V2为黑色，为关闭状态。给排气装置24经由切换装置22L、 22R与第一、第二循环罐31L、 31R连接。给排气装置24上设置气体供给系统44和真空泵(或真空排 气系统)45,通过操作切换装置22L、 22R内的阀的开闭，将第一、第 二循环罐31L、 31R与气体供给系统44和真空泵45均分别连接，以此 方式构成。也可以将一方与气体供给系统44连接，将另一方与真空泵 45连接。第一、第二循环罐31L、 31R与给排气装置24连接的位置是顶面或 壁面的上部，在第一、第二循环罐31L、 31R内的分散液23L、 23R的 液面上方。第一、第二循环罐31L、 31R密闭，通过切换装置22L、 22R与气 体供给系统44连接，升压气体由气体供给系统44供给，则第一、第二 循环罐31L、 31R的内部空间压力升高。第一、第二循环罐31L、 31R通过切换装置22L、 22R与真空泵45 连接，分散液23L、 23R的液面上部的空间的气体通过真空泵45排出， 则液面上部空间压力降低。在第一、第二循环罐31L、 31R的底面或靠近底面的位置、分散液 23L、 23R液面下方的位置设置有供给口。在各緩冲罐41a-41c上分别设置流入口 ，各緩冲罐41a-41c的流入 口与第一、第二循环罐31L、 31R的供给口之间通过主配管37连接。图 中，供给口是主配管的前端。主配管37的管路上靠近第一、第二循环罐31L、 31R供给口附近的位置分别设有第一、第二供给阀VSL、 VSr,在比第一、第二供给阀VSL、vsR更靠近各緩冲罐41a-41c的流入口附近的位置分别设有流入阀Via-Vic,使第一、第二供给阀VSl、 VSr中的任意一方为打开状态、另一方为关闭状态，同时使要供给的喷头组件21a-21c的流入阀vK为打开状态，则与打开状态的第一、笫二供给阀VSL、 VSr連接的第一、第二循环罐31L、 31R成为供给源，与打开状态的流入阀via-vie连接的緩冲 罐41a-41c成为供给目的地，供给源与供给目的地之间连接，以此方式构成。循环罐31L、 31R的内部空间压力Ps可通过升压气体的供给进行控 制，如果预先使作为供给源的第一或第二循环罐31L、 31R的内部空间 压力Ps为比緩冲罐41a-41c的内部空间压力Pb高(Pb<Ps),则供给源 第一、第二循环罐31L、 31R的内部分散液23L、 23R经过主配管37流 入到接收地緩冲罐41a-41c。緩冲罐41a-41c内的分散液48a-48c储液至规定量，则形成可由緩 冲罐41 a-41 c向喷出室42a-42c供给分散液的状态。这里，即使向笫一、第二循环罐31L、 31R供给升压气体，其内部 压力Ps也不会比大气压大(Ps^ (大气压))，升压气体不会溶解于分 散液中。在喷出室42a-42c内被分散液充满的状态下，可以向基板7的表面 喷出喷出液。下面，对喷出室42a-42c下游一侧进4亍i兌明。流出口分别设于喷出室42a-42c上，第一、第二循环罐31L、 31R 分别设有流入口。喷出室42的流出口与第一、笫二循环罐31L、 31R的 流入口之间设有返回配管38。图中，流入口是返回配管38的前端。返回配管38在靠近喷出室42a-42c的流出口的位置分别设有流出阀VOa-VOc,在比流出阀V(VVOc更靠近第一、第二循环罐31L、 31R的流入口的位置分别设有第一、第二返回阀vrL、 vrR。返回阀vrL、 vrR是第一、第二循环罐中使其至少一方与喷头组件连接的阀，第一、第二供给阀VSL、 VSr中，任意一方为打开状态、另一方 为关闭状态时，与关闭状态的供给阀VSl或VSr連接的第一或第二循坏 罐31L、 31R成为回收目的地，使该回收目的地第一或第二循环罐31L、 31R的返回阀vrL、 vrR为打开状态、4吏所希望的流出阀voa-voc为打开状 态，则与打开状态的流出阀v(vvoc连接的喷出室42a、 42b或42c成为 返回源，作为返回源的喷出室42a、 42b或42c与作为回收目的地的第一或第二循环耀31L、 31R连接。全部的流出阀VOa-VOc为打开状态，则各喷出室42a-42c均成为返回源。此时，如果是各喷出室42a-42c内的分散液在喷孔内与大气接触的 状态，如果使回收目的地的第一或第二循环罐31L、 31R的内部压力PR 比大气压低(PR< (大气压))，则作为返回源的喷出室42a-42c内的分 散液可以移动至作为回收目的地的第一或第二循环罐31L、 31R中。如果使作为回收目的地的第一或第二循环罐31L、 31R的压力比緩 冲罐41a-41c内的压力低、使喷出室42a-42c的流出口的压力比流入口 的压力低，则可以在喷出室42a-42c内使分散液从流入口流向流出口 ， 分散液可以移动至作为回收目的地的循环罐31L 、 31R中。这里，流出阀voa-voc是三通阀，流出阀voa-voc可以将喷出室42a-42c 与第一或第二循环罐31L、 31R连接，除此之外也可以使喷出室42a-42c 与排放口连接。本发明的涂布装置11中，在上述緩冲罐41a-41c中设置检测内部的 分散液48a-48c液面高度的高度传感器、和测定分散液48a-48c液面上 方空间压力的压力传感器，检测緩冲罐41a-41c内部的液面变化或液面 上方空间的压力变化，由第一或第二循环罐31L、 31R向内部补充分散 液，使液面高度恒定；或者由气体供给系统57导入升压气体或通过真 空泵58对緩沖罐41a-41c内的气体进行真空排气，使压力恒定，由此可 防止緩冲罐41a-41c内的分散液48a-48c从喷出室42a-42c的喷孔滴落。喷出室42a-42c内的分散液的一部分或全部移动至作为回收目的地 的第一或第二循环罐31L、 31R中时，緩冲罐41a-41c内的分散液移动 至喷出室42a-42c。这种情况下，緩冲罐41a-41c内的分散液48a-48c的 液面降低，緩冲罐41a-41c的内部空间压力降低。这种情况下，可以使作为供给源的第一或第二循环罐31L、 31R内 的分散液移动至緩冲罐41a-41c内，因此，可以使分散液由供给源第一 或第二循环罐31L、 31R内经过緩冲罐41a-41c、喷出室42a-42c移动至 作为回收目的地的第一或第二循环罐31L、 31R中。这期间，可以使緩 冲罐41a-41c内部的空间压力保持恒定值。图2表示在第一循环罐31L作为供给源、第二循环罐31R作为回收 目的地时(第一供给阀VSL与第二返回阀vrR为打开状态，第二供给阀 VSR和第一返回阀vrL为关闭状态)分散液流动的状态。分散液由第一循 环罐31L向第二循环罐32R移动。图2和后述的图3-图5是用于说明分散液的流动情况的附图，分散 液流经的配管用实线表示，其它配管用虛线表示。图3与图2相反，是第一供给阀vsL和第二返回阀vrR为关闭状态、 第二供给阀vsr和第一返回岡vrL为打开状态，第二循环罐31R为供给 源、第一循环罐31L为回收目的地时，分散液流动的情况。下面，对于使分散液在第一、第二循环罐31L、 31R之间直接移动 的路径进行说明。第一、第二循环罐31L、 31R中，在比第一、第二循环罐31L、 31R 内的分散液23L、 23R液的液面低的位置设置第一、第二移动口，第一、 第二移动口通过与主配管37或返回配管38不同的移动用配管39连接， 通过移动用配管39与第一、第二循环罐31L、 31R的内部连接。这里， 第一、第二移动口由移动用配管39的前端构成。将设于主配管37或返回配管38的各阀关闭，阻断第一、第二循环 罐31L、 31R与緩冲罐41a-41c之间的通过主配管37的连接，或者阻断 第一、第二循环罐31L、 31R与喷出室42a-42c之间的通过返回配管38 的连接。移动用配管39上设置有开关阀26，使该开关阀26为关闭状态，通 过给排气装置24在第一循环罐31L的内部和第二循环罐31R的内部之 间设置压力差，以高压力一侧的第一或第二循环罐31L、 31R作为移动 源，以低压一侧的第一或第二循环罐31L、 31R作为移动目的地，打开 开关阀26,则分散液由作为移动源的第一或第二循环罐31L、 31R向作 为移动目的地的笫一或第二循环罐31L、 31R流动。移动用配管39的中途配置有滤器装置25。滤器装置25具有聚集物 分离用滤器47和固体微粒除去用滤器49。聚集物分离用滤器47和固体 微粒除去用滤器49并列配置于第一、第二循环罐31L、 31R之间，分散 液经由其中一方的滤器(47或49)、或两方滤器(47、 49),在第一、 第二循环耀31L、 31R之间移动，以此构成。分散于分散液中的固体微粒在流过配管期间或储存在循环罐31L、 31R等罐中期间发生聚集，形成粒径大的聚集物，聚集物分离用滤器47 的过滤网眼成型为比固体微粒的大小要大，但是比固体微粒的聚集物要 小，在分散液通过聚集物分离用滤器47时，聚集物被聚集物分离用滤 器47捕获并除去。聚集物分离用滤器47与超声波施加装置46连接，对聚集物分离用 滤器47施加超声波，以此构成。聚集物分离用滤器47上施加超声波，则被聚集物分离用滤器47捕 获的聚集物可以解离，形成固体微粒单体，可以通过聚集物分离用滤器 47,聚集物被分解，因此，分散液在流过移动用配管39内期间再生。图4表示分散液在移动用配管39内由第二循环罐31R向第一循环 罐31L经由聚集物分离用滤器47流动的状态。可以使被作为回收目的 地的第一或第二循环罐31L、 31R回收的分散液再生，同时返回至作为 供给源的第一或第二循环罐31L、 31R。通过操作设于移动用配管39中的开关阀26,流过移动用配管39内 的分散液无需通过聚集物分离用滤器47,可以通过与聚集物分离用滤器 47并列设置的固体微粒除去用滤器49。图5表示分散液在移动用配管39内由第二循环罐31R向第一循环 罐31L并流经固体微粒除去用滤器49的状态。固体微粒除去用滤器49的网眼比分散液中含有的微粒的大小要小， 因此固体微粒无法通过固体微粒除去用滤器49。因此，分散液在流过固 体微粒除去用滤器49时，固体微粒被全部捕获到固体微粒除去用滤器 49中。涂布装置11必须与多种分散液、例如分散有不同材料微粒的分散 液或分散有不同粒径微粒的分散液对应。使用固体微粒除去用滤器49、更换分散液的顺序如下说明，更换在 涂布装置11内循环并由喷头21喷出的分散液时，必须首先是将配管 37-39中的分散液或各罐31L、 31R、 41a-41c中的分散液由排放口等除 去，清洗配管37-39或罐31L、 31R、 41a-41c,然后由分散液供给系统 28向第一、第二循环罐31L、 31R供给新种类的分散液。该涂布装置ll中，溶剂供给系统29与第一、第二循环罐31L、 31R 的任何一方或两方连接。该例子中，与第一循环罐31L连接，在将各罐 31L、 31R、 41a-41c或喷头组件21a-21c或各配管37-39内的分散液由排 放口排出、然后将另外的分散液配置在第一、第二循环罐31L、 31R之 前，打开溶剂供给系统29与第一循环罐31L之间的阀，由溶剂供给系 统29向第一循环罐31L供给清洗液，代替分散液，使清洗液经由緩冲 罐41a-41c和喷头组件21a-21c移动至第二循环罐31R，在将清洗液由第二循环罐31R经由移动用配管39返回至第一循环罐31L。如上所述，向第一或第二循环罐31L、 31R的其中一方或两方供给清洗液(溶剂)，与分散液同样地进行循环，则各罐31L、 31R、 41a-41c或各配管37-39内被清洗，可以除去微粒。清洗液由排放口排出后，如果将新的分散液配置在第一、第二循环罐31L、 31R中，则更换前的分散液的固体微粒不会混入到更换后的分散液中。在将分散液由排放口排出并更换清洗液之前，通过固体微粒除去用 滤器49除去更换对象分散液的微粒，使分散溶剂循环，则首先可以通 过分散液的分散溶剂清洗配管内。接着，将该分散溶剂排出后通过清洗 液进行清洗，则可以节约清洗液。在该例子中，在配管中途与配置有滤器装置25的移动用配管39并 列地设置使滤器装置25迂回并连接第一、第二循环罐31L、 31R的迂回 用配管40。迂回用配管40设有开关阀27,在该开关阀27关闭的状态下，分散 液不会流入迂回用配管40中，在移动用配管39的开关阀26关闭的状 态下，如果打开迂回用配管40的开关阀，则由于第一、第二循环罐31L、 31R内的空间压力差，分散液在迂回用配管40内流动。与迂回用配管 40连接的第一、第二循环罐31L、 31R的迂回口也位于第一、第二循环 罐31L、 31R的液面下方。底座5的一侧位置设置有清洗装置6,将喷头21由基板7上移动至 清洗装置6中，在使喷出口闭塞的状态下可通过清洗装置6使清洗液或 分散溶剂循环。气体供给系统57经由岡与緩冲罐41a-41c连接，将喷头21由基板 7上移动至清洗装置6中，在使喷出口不闭塞的状态下关闭返回配管38 的流出阀vcvvoc，打开气体供给系统57与緩冲罐41a-41c之间的阀，向 緩冲罐41a-41c内导入清洗气体，使緩冲罐41a-41c内的压力与大气压 相同或高于大气压，则可以使緩冲罐41a-41c内的分散液或清洗液由各 喷头组件21a-21c的喷出口排出到清洗装置6中。如以上说明，在本发明的涂布装置11中，在第一、第二循环罐31L、 31R中，以一方为供给源，以另一方为回收目的地，由供给源的第一或 第二循环罐31L、 31R至回收目的地的第一或第二循环罐ML、 31R，再返回至供给源的第一或第二循环罐31L、 31R中，这样可以使分散液经 由緩冲罐41a-41c和喷出室42a-42c流动，因此可以防止固体樣t粒在喷 出室42a-42c内或配管内沉淀。如果作为回收目的地的第 一或第二循环罐31L、 31R的分散液增加， 则在以该第一或第二循环罐31L、 31R作为供给源，使分散液经由緩沖 罐41a-41c向喷出室42a-42c流动，并可将緩冲液经由聚集物分离用滤 器47返回至作为供给源的第一或第二循环罐31L、 31R。第一、第二循环罐31L、 31R内分别配置超声波振动子33L、 33R， 由超声波发声装置34L、 34R向各超声波振动子33L、 33R分别施加超 声波，进行超声波振动，则第一、第二循环罐31L、 31R内的分散液发 生超声波振动，可防止固体微小颗粒的聚集，使形成的聚集物分离。第一、第二循环罐31L、 31R内分别配置含有磁石的转子35L、 35R。 第一、第二循环罐31L、 31R的底面下方配置有与转子35L、 35R磁结 合的磁搅拌器36L、 36R，搅拌器36L、 36R动作，则转子35L、 35R可 以以所希望的速度旋转，搅拌第一、第二循环罐31L、 31R内的分散液。 由此可以防止固体微小颗粒的沉淀。上述各配管37-40、特别是主配管37中的分散液由第一、第二循环 罐31L、 31R供给喷出室42a-42c的部分的全部或一部分制成双重配管， 可以使流过双重配管内部的分散液脱气。优选制成双重配管的部分配置 在喷出分散液之前，即配置在緩冲室41a-41c和喷出室42a-42c之间。图7的符号60表示脱气用的双重配管。该双重配管60具有内管61 、 和位于内管61的周围并包围内管61側面的外管62。内管61是插入到 外管62的内部的状态。内管61由具有透气性但不具有透液性的树脂(PTFA等)构成，外 管62由不具有透气性和透液性的金属(SUS)制的管构成。内外管61、 62具有柔软性，可弯曲。内管61端部与外管62端部之间设有用于连接其它配管的连接部件 69i、 692,内管61与外管62之间的缝隙空间63在内管61的两端位置 通过连4妾部件69i、 69j皮封闭，形成密闭。外管62设置有排气孔64,该排气孔64与真空泵68连接，形成可 以对缝隙空间63进行真空排气的构成。使分散液由内管61的两端66" 662的其中一方向另一方流过其内部时，如果对缝隙空间63进行真空排气，则溶解于分散液的气体经由 内管61 ^f皮吸引到缝隙空间63,从分散液中除去。上述升压气体使用氦气，氦气的溶解度低，因此可抑制气泡的发生。上述说明中，设置了两个供给阀VSL、 VSr,如果将第一、第二循环罐31L、31R其中一方或两方与主配管37连接，则阀的数目可以是一个， 也可以是三个。同样，返回阀vrL、 vi"r也不限定为两个，如果第一、第二循环罐31L、 31R其中一方或两方与返回配管38连4妄，则阀的数目不限。如图6所示，将未巻入气体的泵54a-54c连接在喷出室42a-42c下 游的返回配管38、和緩冲室41a-41c与第一、第二循环罐31L、 31R之 间的主配管37之间，在喷出室42a-42c内流动，将由喷出室42a-42c排 出的分散液由返回配管38返回至主配管37，则可以使由喷出室42a-42c 排出的分散液返回至緩冲罐41a-41c。产业实用性本发明可适用于喷出分散有形成滤色器的分散颜料的油墨、在间隔 物形成中使用的间隔物分散液、导电体'电介质'半导体'发光材料'电 子释放材料等各种功能性固体的溶液等溶液的涂布装置。可用于全面涂 布，也可以只向所需位置喷出、形成图案。为喷出间隔物的涂布装置时，可用作配置于液晶显示器的滤色器基 板与阵列基板之间配置间隔物的间隔物喷出装置。
权利要求
1.涂布装置，该涂布装置是使喷头组件与基板相对移动、使分散有固体微粒的分散液弹落在基板上的所希望的位置，该涂布装置具有配置在上述喷头组件外部的第一、第二循环罐；设于上述喷头组件的缓冲罐；流入口与上述缓冲罐相连接的喷出室；设于上述第一、第二循环罐与上述缓冲罐之间的主配管；设于上述喷出室的流出口与上述第一、第二循环罐之间的返回配管；设于上述主配管、使上述第一、第二循环罐中的至少一方与上述缓冲罐连接的供给阀；和设于上述返回配管、使上述第一、第二循环罐中的至少一方与上述喷头组件连接的返回阀；以上述第一、第二循环罐和上述缓冲罐密闭，可以控制配置于上述各罐内部的上述分散液的上部空间压力的方式构成。
2. 权利要求1的涂布装置，该涂布装置以具有与上述第一、第二 循环罐连接的给排气装置，可对上述第一、第二循环罐内上述分散液液 面上方的空间供给加压气体以及进行真空排气的方式构成。
3. 权利要求1的涂布装置，其中，以真空泵和气体供给系统与上 述緩冲罐连接，可以控制上述緩冲罐内上述分散液的液面上方空间的压 力的方式构成。
4. 权利要求3的涂布装置，其中，以由上述气体供给系统供给He 的方式构成。
5. 权利要求1的涂布装置，其中，以在上述第一、第二循环罐之 间设置移动用配管，上述分散液不经上述喷出室，可以在上述第一、第 二循环罐之间移动的方式构成。
6. 权利要求5的涂布装置，该涂布装置具有聚集物分离用滤器， 该聚集物分离用滤器设置在上述移动用配管中，使上迷固体微粒的单体 通过，捕获上述固体微粒的聚集物。
7. 权利要求5的涂布装置，该涂布装置具有固体微粒除去用滤器， 该固体微粒除去用滤器设于上述移动用配管中，捕获上述固体微粒的单 体。
8. 权利要求1的涂布装置，其中，分散液由循环罐供给喷出室的 配管的至少 一部分由不具有透液性而具有透气性、上述分散液流过的内 管，和不具有透气性、上述内管插入连通的外管的双重配管构成，上述 内管与上述外管之间是以能够进行真空排气的方式构成。
9. 分散液移动方法，该方法是使权利要求1的涂布装置内部的循 环液体移动的分散液移动方法，在上述第一、第二循环罐中，以其中任意一方作为供给源，在使上 述供给阀为打开状态，并与上述緩冲罐连接时，使上述作为供给源的循环罐内的压力为大气压或以下，同时使上述 分散液从上述作为供给源的循环罐向上述緩冲罐内移动。
10. 分散液移动方法，该方法是使权利要求1的涂布装置内部的循 环液体移动的分散液移动方法，在上述第一、第二循环罐中，以其中任意一方作为回收目的地，在 使上述返回阀为打开状态，并与上述喷出室连接时，使上述作为回收目的地的循环罐内的压力比大气压低，使上述喷出 室内的上述分散液移动至上述作为回收目的地的循环罐中。
11. 分散液移动方法，该方法是使权利要求1的涂布装置内部的循 环液体移动的分散液移动方法，在上述第一、第二循环罐中，以其中任意一方作为供给源，使上述 供给阀为打开状态，并与上述緩冲罐连接，以另一方作为回收目的地，使上述返回阀为打开状态，并与上述喷 出室连接，使上述作为供给源的循环罐内的上述分散液流过上述緩冲罐和上 述喷出室移动至上述作为回收目的地的循环罐中。
全文摘要
本发明提供气泡发生较少的涂布装置。使供给侧的循环罐(31L)的内部空间压力为比大气压低但比缓冲罐(41a-41c)内部空间压力高的压力，供给分散液，使作为回收目的地的循环罐(31R)的内部压力比大气压低，回收喷出室(42a-42c)内部的分散液。分散液不与比大气压高的高压气体接触，因此气体的溶解少，不使用泵，因此没有气体卷入或固体微粒的变形。
文档编号B05D1/26GK101267894SQ200680034370
公开日2008年9月17日 申请日期2006年10月26日 优先权日2005年11月10日
发明者R·D·塔夫, R·D·福克斯, R·R·麦卡, 井上祐也, 村田真朗, 滑川巧, 羽根功二, 马场惠 申请人:株式会社爱发科