缺陷修复装置、缺陷修复方法、程序及计算机可读记录介质的制作方法

专利名称：缺陷修复装置、缺陷修复方法、程序及计算机可读记录介质的制作方法
技术领域：
本发明涉及根据基板上散在的缺陷的位置数据对缺陷进行修复的缺陷修 复装置、缺陷修复方法、程序以及计算机可读记录介质。
背景技术：
近年来，喷墨技术并不仅仅用作为在纸质介质上形成图像的打印机装置， 还期待其作为制造装置的用途。例如，专利文献1中，揭示了安装利用喷墨方
式的液滴喷射元件的制造装置的结构，作为液晶显示器、有机 EL(Electroluminescence:电致发光)显示器、等离子体显示器、电子发射元件、 电泳显示装置等的制造装置。在该专利文献l中，为了提高对基板上的命中位 置的精度，将装置底座作为石平台，在石平台上分别直连设置沿同一方向传送 基板的平台、和使喷墨头在与平台的行进方向正交的方向上移动的滑架机构。
在利用喷墨方式的常用打印机中，通常是使用一个喷墨头单元形成图像， 该喷墨头单元对每种颜色各安装有数个喷墨头元件作为喷射液滴的元件，其喷 嘴孔以150 300喷嘴/英寸的间隔规则排列，且宽度为l/2 2英寸。作为图像 形成方法，是一边用送纸轮传送记录纸， 一边在与记录纸的传送方向正交的方 向上多次将喷墨头单元进行扫描，从而在记录纸上形成图像。
现状是，即使是在将该喷墨方式用作为制造装置的情况下，喷墨头元件也 与常用打印机用的等同，喷嘴列方向的尺寸最大也只有1 2英寸左右。
另一方面，关于液晶显示器、有机EL显示器、等离子体显示器、电子发射 元件、电泳显示装置等的制造工艺，通过使用大面积基板并增加数量，有力图 降低成本及縮短生产节拍的趋势，而为了用喷墨方式制造上述产品，必须是可 对应于一边为达到数米长的大面积基板的制造装置。
作为可对大面积基板进行高速处理的使用喷墨方式的制造装置，有并排多 个喷墨头元件并使其长度为基板尺寸以上的长度的线型喷头(Line head)方式。 该方式使最大为1 2英寸的宽度的喷墨元件交错排列直到基板尺寸的长度，若基板尺寸为数米，则必须至少排列100 200个喷头。采用该线型喷头方式的制
造装置，可以说对于例如滤色片基板那样的、必须对基板的整个面进行喷射且 喷射位置有规则的基板，是非常有效的。
另外，作为滤色片基板的制造方法的一部分，已知有以下结构，即，在滤 色片基板上存在着色不良部分的情况下，仅对不良位置喷射滤色片材料(专利
文献2)。
还揭示了这样一种结构，目卩，设置线型固定喷墨头和修复用喷头，从线型 固定喷墨头中检测不进行喷射的喷嘴，将修复用喷头移动到与不进行喷射的喷 嘴对应的位置，利用修复用喷头代替不迸行喷射的喷嘴来喷射液滴(专利文献3)。
此外，还揭示了以下结构，即，设置第1喷射部和第2喷射部、以及检测第 l喷射部所描绘图案的缺陷的绘图检査部，根据来自绘图检査部的信息，将第2 喷射部相对移动到与缺陷对应的位置并喷射液滴(专利文献4)。
专利文献l:日本专利特开2003-191462号公报(平成15年7月8日(2003. 7.8)
公开)
专利文献2:日本专利特开2003-66218号公报(平成15年3月5日(2003.3.5)
公开)
专利文献3:日本专利特开2005-185978号公报(平成17年7月14日 (2005. 7. 14)公开)
专利文献4:日本专利特开2004-337707号公报(平成16年12月2日 (2004. 12. 2)公开)

发明内容
然而，若用专利文献1中记载的线型喷头方式来实施专利文献2中所示的滤 色片基板的修复，会产生以下问题。
若使用线型喷头方式作为对滤色片基板上散在的缺陷(不良位置)进行修 正的方法，则要求有和在基板整个面上喷射液滴相同的处理时间，还有，喷嘴 成为几乎不进行喷射的非工作喷嘴，容易产生喷嘴堵塞。而且，必须对所有的 喷嘴进行维护工作，从而会增加不需要的废液。另外，在要使喷射量均匀化的 情况下，在线型喷头方式中，尽管只向散在的期望位置喷射液滴，但必须对总 计达到数千个的喷嘴进行逐一的喷射量修正，因此效率极低。另外，常用打印机中经常采用的将多个喷墨头单元在同一台架上并排往返 移动的方式中，喷墨头单元的扫描距离增加，而且在稳定工作方面对扫描速度 也有限度，从而无法縮短处理时间。
另外今后，要求不仅仅是对大面积基板上的整个面，还希望对期望位置有 效地喷射液滴，这不限于滤色片的修复，在多个制造领域中也有要求。
在专利文献3中记载的线型固定喷墨头和修复用喷头的组合结构、和专利
文献4中记载的第1喷射部和第2喷射部的组合结构中，若向基板喷射液滴，则 与另外设置专门修复的装置进行修复的结构相比，存在生产节拍时间变长的问题。
本发明是鉴于上述问题而完成的，其目的在于实现一种可有效地修复基板 上散在的缺陷的缺陷修复装置、缺陷修复方法、程序以及计算机可读记录介质。为了解决上述问题，本发明有关的缺陷修复装置，具备固定所传送的基 板的固定单元；从垂直于由前述固定单元所固定的基板的方向来看、沿与前述 基板的传送方向不同的方向配置并对前述基板上散在的缺陷喷射液滴的多个 液滴喷射单元；安装前述多个液滴喷射单元的一列以上的台架；以及使前述台 架沿着前述基板的传送方向相对等速移动的移动单元，其中，各液滴喷射单元 根据表示前述基板上散在的多个缺陷的位置的数据，在前述台架沿前述基板的 传送方向相对移动期间，在与前述传送方向不同的方向上相互独立移动。
根据上述特征，各个液滴喷射单元根据表示基板上散在的多个缺陷的位置 的数据，在台架沿基板的传送方向相对移动期间，在垂直于传送方向的方向上 相互独立移动。因此，通过一边搬入表面散在缺陷的基板，并使台架沿基板的 传送方向相对移动， 一边沿垂直于前述传送方向的方向使各液滴喷射单元相互 独立移动，从而可以有效地修复基板上散在的缺陷。另外，即使对应于表面散 在缺陷的大型基板而台架大型化，重量增大，但由于使台架等速移动，因此从 液滴喷射单元喷射出的液滴向基板的命中精度不会发生恶化。
较好的是，在本发明有关的缺陷修复装置中，前述移动单元使前述台架从 前述基板的一端到另一端往返移动。
根据上述结构，由于台架相对于基板移动，所以与大型基板相对于台架移 动的结构相比，也可以实现节省空间。
较好的是，在本发明有关的缺陷修复装置中，前述台架沿前述基板的传送 方向隔开规定间隔设置多列。根据上述结构，由于可以降低修复多个缺陷用的台架每一列的总移动量， 所以可以縮短基板的处理时间(生产节拍时间)。
较好的是，在本发明有关的缺陷修复装置中，在前述台架上，设置有使各 液滴喷射单元沿着与前述传送方向不同的方向滑动的多个滑动机构，特别好的 是，为了节省装置的空间而使其在垂直于前述传送方向的方向上排列。
根据上述结构，利用简单的结构就可以使液滴喷射单元沿着与前述传送方 向不同的方向彼此独立移动。
较好的是，在本发明有关的缺陷修复装置中，从前述传送方向来看，利用 各滑动机构滑动的液滴喷射单元的滑动范围的端部互相重合。
根据上述结构，可以对基板的整个区域进行缺陷修复。
较好的是，在本发明有关的缺陷修复装置中，从垂直于前述基板的方向上 来看，前述多个滑动机构配置为交错状。
根据上述结构，由于可以将液滴喷射单元有效地配置在台架上，可以使台 架小型化，因此可以使移动速度高速化，能够缩短基板的处理时间(生产节拍
时间)。
较好的是，在本发明有关的缺陷修复装置中，对每一个液滴喷射单元分配 前述基板的修复区域。
根据上述结构，可以抑制各个液滴喷射单元的移动量，能够降低装置成本。 还可以有效地进行修复工作。
较好的是，在本发明有关的缺陷修复装置中，各液滴喷射单元在沿着与前 述传送方向不同的方向移动后停止的状态下，向前述缺陷喷射前述液滴。
根据上述结构，可以提高对缺陷的液滴命中精度。
较好的是，在本发明有关的缺陷修复装置中，各液滴喷射单元沿着与前述 传送方向不同的方向移动，以使其液滴喷射位置和前述基板上的缺陷位置一致。
根据上述结构，可以根据表示在基板上散在的多个缺陷的位置的数据，利 用各液滴喷射单元向缺陷喷射液滴，从而修复该缺陷。
较好的是，在本发明有关的缺陷修复装置中，安装前述多个液滴喷射单元
的台架的重量为O. 5吨以上、4吨以下。
根据上述结构，即使对应于液晶显示装置用画面的大型化而台架大型化， 且重量增大到0.5吨以上、4吨以下，但由于使台架等速移动，所以从液滴喷射
7单元喷射出的液滴向基板的命中精度不会发生恶化。
为了解决上述问题，本发明有关的缺陷修复方法固定传送的基板，从垂直 于前述固定的基板的方向来看，使安装有沿与前述基板的传送方向不同的方向 配置的多个液滴喷射单元的一列以上的台架，沿前述基板的传送方向相对移 动，在前述台架沿前述基板的传送方向移动期间，根据表示前述基板上散在的 多个缺陷的位置的数据，使各液滴喷射单元沿着与前述传送方向不同的方向彼 此独立移动，并向前述基板上散在的缺陷喷射液滴。
根据上述特征，各个液滴喷射单元根据表示基板上散在的多个缺陷的位置 的数据，在台架沿基板的传送方向相对地等速移动的期间，沿与传送方向不同 的方向相互独立移动。因此，通过一边搬入表面散在缺陷的基板，并使台架沿 基板的传送方向移动， 一边沿与前述传送方向不同的方向使各液滴喷射单元相 互独立移动，从而可以有效地修复基板上散在的缺陷。另外，即使对应于表面 散在缺陷的大型基板而台架大型化，重量增大，但由于使台架等速移动，因此 从液滴喷射单元喷射出的液滴向基板的命中精度不会发生恶化。
为了解决上述问题，本发明有关的程序使计算机实施以下步骤固定传送 的基板的步骤；从垂直于前述固定的基板的方向来看、使安装有沿与前述基板 的传送方向不同的方向配置的多个液滴喷射单元的一列以上的台架沿前述基 板的传送方向相对地等速移动的步骤；以及在前述台架沿前述基板的传送方向 移动期间、根据表示前述基板上散在的多个缺陷的位置的数据使各液滴喷射单 元沿着与前述传送方向不同的方向彼此独立移动、并向前述基板上散在的缺陷
喷射液滴的步骤。
为了解决上述问题，本发明有关的计算机可读记录介质记录了使计算机实 施以下步骤的程序，前述步骤包括固定传送的基板的步骤；从垂直于前述固 定的基板的方向来看、使安装有沿与前述基板的传送方向不同的方向配置的多 个液滴喷射单元的一列以上的台架沿前述基板的传送方向相对地等速移动的 步骤；以及在前述台架沿前述基板的传送方向移动期间、根据表示前述基板上 散在的多个缺陷的位置的数据使各液滴喷射单元沿着与前述传送方向不同的 方向彼此独立移动、并向前述基板上散在的缺陷喷射液滴的步骤。
本发明有关的缺陷修复装置如上所述，由于具备使前述台架沿前述基板的 传送方向相对地等速移动的移动单元，各液滴喷射单元根据表示前述基板上散 在的多个缺陷的位置的数据，在前述台架沿前述基板的传送方向移动期间，沿着与前述传送方向不同的方向彼此独立移动，因此具有可有效地修复基板上散 在的缺陷的效果。
本发明有关的缺陷修复方法如上所述，由于使前述台架沿前述基板的传送 方向相对地等速移动，使各液滴喷射单元根据表示前述基板上散在的多个缺陷 的位置的数据，在前述台架沿前述基板的传送方向移动期间，沿着与前述传送 方向不同的方向彼此独立移动，因此具有可有效地修复基板上散在的缺陷的效果。


图l是表示实施方式l有关的缺陷修复装置的外观的立体图。
图2是上述缺陷修复装置的示意剖视图。
图3是用来说明设置于上述缺陷修复装置中的喷头架单元以及基板载置台 的动作的示意剖视图。
图4(a)是用来说明设置于上述缺陷修复装置中的喷头架单元的结构的主 要部分平面图，(b)是主要部分主视图。
图5是用来说明设置于上述喷头架单元中的液滴喷射单元的结构的主要部 分侧视图。
图6是用来说明设置于上述喷头架单元中的喷射单元滑动机构的结构的主
要部分主视图。
图7(a)是用来说明上述液滴喷射单元的结构的主要部分仰视图，(b)是用
来说明上述液滴喷射单元的另一结构的主要部分仰视图。
图8(a) (c)是用来说明上述喷头架单元以及上述基板载置台的动作的示
意剖视图。
图9(a)是用来说明设置于上述缺陷修复装置中的维护机构的不喷射检测 器的结构的主视图，(b)是其仰视图。
图10(a) (b)是用来说明上述缺陷修复装置的对准动作的平面图。
图ll(a) (b)是用来说明设置于上述喷头架单元中的对准摄像机的结构的
主要部分平面图。
图12(a) (b)是用来说明上述缺陷修复装置的对准动作的主要部分平面图。 图13(a) (b)是用来说明上述缺陷修复装置的对准动作的主要部分放大平面图。图14是表示上述缺陷修复装置的对准动作的流程图。
图15(a) (b)是用来说明利用设置于上述缺陷修复装置中的观察摄像机单
元对液滴命中位置的测量动作的平面图。
图16(a) (b)是用来说明设置于上述缺陷修复装置中的喷头架单元的往返 动作的平面图。
图17(a) (b)是用来说明上述喷头架单元相对于对象基板的动作的平面图。 图18(a) (d)是用来说明上述液滴喷射单元对缺陷部的喷射动作的示意
平面图。
图19(a) (c)是表示滴下三种液滴材料的液滴喷射单元的移动方向与像 素的长边方向正交的情况下的液滴喷射单元的喷射动作的示意平面图。
图20(a) (c)是表示滴下三种液滴材料的液滴喷射单元的移动方向与像
素的长边方向平行的情况下的液滴喷射单元的喷射动作的示意平面图。
图21(a)是表示实施方式2有关的缺陷修复装置的喷头架单元的结构的平
面图，(b)是用来说明其动作的平面图。
图22是表示实施方式2有关的缺陷修复装置的喷头架单元的另一结构的平面图。
图23(a) (b)是表示实施方式2有关的缺陷修复装置的喷头架单元的又一个 结构的平面图。 标号说明 1缺陷修复装置 2底座 2a主台 2b、 2c辅助台 3基板载置台(固定单元) 4台架滑动机构(移动单元) 5a、 5b、 5c台架导轨 6线性标尺 7喷头架单元(台架) 8悬浮滑动机构 9台架
10喷射单元滑动机构(滑动机构)11液滴喷射单元 11a lli液滴喷射单元 12对准摄像机
13摄像机滑动机构
14观察摄像机单元
15维护机构
16壳体
17喷射元件
18驱动控制电路
19电缆
20墨水槽
21墨水管
22喷嘴板
23喷嘴孔
24线性驱动机构
25 LM导轨
26台架线性标尺
27线性驱动机构
28摄像机滑动机构
29 LM导轨
30摄像机用线性标尺
31盖构件
32不喷射检测器
33激光发光元件
34激光受光元件
35对象基板
36对准标记
37a外侧圆环部
37b内侧圆部
38空基板
39液滴命中位置40缺陷部(缺陷) 41区域(修复区域)
具体实施例方式
根据图1 图23对本发明的一个实施方式进行说明，如下所述。
(实施方式l)
〈装置整体的结构说明〉
图l是表示实施方式l有关的缺陷修复装置l的外观的立体图。图2是缺陷修 复装置l的示意剖视图。
缺陷修复装置1具备底座2。在缺陷修复装置l中设置有安装于底座2上的、
在基板搬入及搬出时移动的基板载置台3;以及横跨在基板载置台3的上方、且
不与该台接触的喷头架单元7。喷头架单元7为以下结构，即，利用连接于底座 2的台架滑动机构4，可以在一个方向(图1中与Y方向平行的方向)上反复移动。
在喷头架单元7的侧面安装有喷射单元滑动机构10，该喷射单元滑动机构 10可以使液滴喷射单元11在与喷头架单元7的移动方向(图1中与Y方向平行的 方向)不同的方向(图1中与X方向平行的方向)上移动，安装于喷射单元滑动机 构10上的液滴喷射单元11，在喷射单元滑动机构10上的可移动区域范围内，能 够在与喷头架单元7的移动方向不同的方向(图1中与X方向平行的方向)上移 动。
液滴喷射单元11在喷头架单元7的侧面安装有多个(图1中为9个)，分别具 有一个个的喷射单元滑动机构IO。而且，多个液滴喷射单元ll在各自的喷射单 元移动机构10上，根据来自缺陷修复装置l的控制指令，分别独立地沿与图l的 X方向平行的方向移动。
另外，液滴喷射单元ll具有喷头喷射面。喷头喷射面与基板载置台3大致 平行，且形成有用于喷射液滴的孔。液滴喷射单元ll根据来自液滴喷射装置l 的控制指令，从喷头喷射面向放置在基板载置台3上的对象基板滴下液滴。
在装置底座2上，除基板载置台3之外，对于液滴喷射单元ll设置有维护机 构15，维护机构15具有在不使用时盖上喷射面的机构、检测不良喷射口的机构、 恢复不良喷射口的机构等。在维护时，利用台架滑动机构4，将喷头架单元7移 动到维护机构15的正上方，从而对液滴喷射单元ll进行各种维护动作。
<装置底座2的说明>用图2对装置底座2的结构进行说明。
装置底座2具有位于中央位置的主台2a，在其两侧机械连接具有维护机构 15的辅助台2c和辅助台2b。
主台2a是花岗岩制的高精度平台，是在从液滴喷射单元11向基板载置台3 上的对象基板喷射液滴的期间，正确固定基板载置台3的平台。
辅助台2c是安装维护机构15的平台，与主台2a相比，不需要高精度制造。
辅助台2b是在基板载置台3上搬入基板、或从基板载置台3上搬出基板时， 使基板载置台3移动到装置端部时使用的平台。
各个平台都安装有主台用台架导轨5a、以及辅助台用台架导轨5b 5c，台 架导轨5a ，5b ，5c彼此之间有连接点并进行连接，以使喷头架单元7可跨越不同 台架导轨5a 5b 5c之间而自由滑动。
图1中，喷头架单元7在悬浮滑动机构8和台架滑动机构4之间通常为气浮， 通过台架滑动机构4上的磁体式线性标尺6和悬浮滑动机构8之间的线性电动机 控制，可以实现喷头架单元7的移动。
而且，台架滑动机构4及线性标尺6是连续构成的，以使喷头架单元7能够 跨越各个平台2a'2b'2c而自由移动。另外，在装置底座2的地面侧设置有未图
示的已有技术的防振机构。 〈基板载置台3的说明〉
基板载置台3的上表面形成有未图示的多个微孔，所有这些孔都与未图示 的吸弓l/送风机构连接，通过进行吸引/送风控制，可对配置于基板载置台3上 的对象基板进行吸附固定，或从基板载置台3放开基板。
图3是用来说明设置于缺陷修复装置1中的喷头架单元7以及基板载置台3 的动作的示意剖视图。基板载置台3可通过线性电动机控制，在设置于装置底 座2上的未图示的滑轨上移动，在基板搬入或搬出时，如图3所示基板载置台3 沿着箭头rl的方向，向与维护机构15反向的装置端部移动。
此外，基板载置台3中内置有未图示的e旋转机构，可在滑轨上通过线性电
动机控制而向一个方向移动，并可以使放置的基板在面内方向上自由旋转。
再有，基板载置台3具有在与滑轨正交的方向也能够微调移动的机构。另 外，基板载置台3的上表面由上表面平坦性好的石平台形成，与液滴喷射单元
ll的喷射面平行。
<喷头架单元7的说明>图4(a)是用来说明喷头架单元7的结构的、从Z方向来看的主要部分平面 图，图4(b)是从X方向来看的主要部分主视图。参照图4(a) (b)对喷头架单元7 的结构进行说明。
喷头架单元7由一对台架9通过悬浮滑动机构8连接而构成。在台架9的其中 一个向着外侧的侧面上，设置有多个液滴喷射单元ll以及喷射单元滑动机构 10(图1中为4个单元)。
在其反面，且是位于两个台架9之间的部分上，固定设置有两台用于控制 基板的面内旋转的对准摄像机12。图4(a)(b)中虽然只图示了一台，但是同样 的摄像机12在图4(a)的上方还设置有一台。
在台架9的另一个向着装置外侧的侧面上，与台架9的一个侧面相同，也设 置有多个液滴喷射单元11以及喷射单元滑动机构10(图1中为5个单元)。在其反 面，且是被两个台架9所夹住的部分上，安装有可通过摄像机滑动机构13移动 的观察用摄像机单元14，该摄像机滑动机构13可使观察用摄像机单元14在台架 9的长边方向移动。
〈台架滑动机构4的说明〉
台架滑动机构4在与悬浮滑动机构8之间形成气浮，并且通过与悬浮滑动机 构8之间的线性驱动控制，根据来自缺陷修复装置l主体的控制信号，可以使喷 头架单元7沿着与图1的Y方向平行的方向移动到任意位置。
〈液滴喷射单元11的说明〉
图5是用来说明液滴喷射单元11的结构的、从图1的Y方向来看的主要部分 侧视图。液滴喷射单元11安装于设置在喷头架单元7上的喷射单元滑动机构10， 可以沿着箭头r3的方向分别独立移动。
液滴喷射单元ll具有喷射元件17;驱动控制电路18;电连接缆线19;墨
水槽20;墨水管21;以及收纳上述这些的壳体16。壳体16在喷射单元滑动机构
IO上移动。
在喷射元件17的与基板载置台3的上表面平行的面上，粘接有喷嘴板22， 喷嘴板22上形成有多个喷嘴孔23。另外，喷嘴孔23的直径为10 20pm。
喷射元件17采用以下公知的技术，即，在压电体基板上形成多个成为墨室 的槽后，在隔壁侧面的一部分上形成电极，在隔壁的两个侧面之间施加电场， 使得隔壁本身剪切变形，从而产生喷射能量。驱动控制电路18通过未图示的电 缆与未图示的驱动控制系统连接并进行喷射控制。在基板载置台3上安装了对象基板的情况下，预先调整喷嘴板22的最下表面即液滴喷射面与对象基板的上
表面之间的间隔，使其为O. 5 lmm。〈喷射单元滑动机构10的说明〉
图6是用来说明喷射单元滑动机构10的结构的、从图1的X方向来看的主要部分主视图。用图6说明喷射单元滑动机构10的结构。
喷射单元滑动机构10由两列LM导轨25(T服株式会社制)、和设置于两列LM导轨25之间的台架线性标尺26构成，通过对安装于液滴喷射单元ll的线性驱动机构24进行驱动控制，可以使液滴喷射单元11移动到与图1的X方向平行的方向(图6中垂直于纸面的方向)上的规定位置。线性标尺26是由小型N极和S极的永
磁体交替规则排列而构成的。
线性驱动机构24通过交流控制可自由产生N极和S极，利用线性标尺26和线性驱动机构24的磁力，可以实现喷射单元滑动机构10上的液滴喷射单元11的位置控制。另外，LM导轨25的有效移动行程为250mm，以该有效行程以上的范围设置线性标尺26。对于利用喷射单元滑动机构10的液滴喷射单元11的移动预先进行调整，使得基板载置台3的上表面、与作为液滴喷射单元ll的液滴喷射面的喷嘴板22之间的间隙始终为一定。该间隙调整为例如0.2匪以上、0. 8mm以下。一般若将该间隙设定为0.2mm以下，则很有可能使喷头与基板表面接触，从而导致装置发生故障的可能性很高，而且，在液滴落到基板上时所产生的微小的反弹液滴有可能到达喷嘴面，在喷嘴面上聚集，结果导致形成大液滴。另一方面，若是0.8mm以上，则液滴在飞行过程中会受风的影响，从而使得命中精度恶化。此外，设置于另一台架9的侧面的喷射单元滑动机构10也是相同的结构，
因此省略其说明。
〈摄像机滑动机构28的说明〉
用图6来说明摄像机滑动机构28的结构。观察摄像机单元14利用设置于台架滑动机构4而取得与Y方向平行的方向的信息的功能、和设置于摄像机滑动机构28而取得与X方向平行的方向的信息的功能，可以输出对象基板的相对于对准标记的地址信息。观察摄像机单元14主要观察液滴喷射单元11在基板上命中的命中图像，可以输出各自的液滴喷射单元ll的喷射状态、或对准标记基准的命中位置的地址。
利用观察摄像机单元14所获得的命中位置坐标，对各自的液滴喷射单元11，在Y方向进行喷射时序的修正，在X方向进行喷射单元滑动机构10的移动量
15的修正，从而可以使液滴命中于对象基板上的期望位置。
摄像机滑动机构28与前述的喷射单元滑动机构10相同，由两列LM导轨29(T服株式会社制)、和设置于两列LM导轨29之间的摄像机用线性标尺30构成，通过对安装于观察摄像机单元14的线性驱动机构27进行驱动控制，可以使观察摄像机单元14移动到与图1的X方向平行的方向(图6中垂直于纸面的方向)上的规定位置。此外，LM导轨29的有效移动行程为2500mm，以该有效行程以上的范围设置线性标尺30。
〈喷嘴列的排列〉
图7(a)是用来说明液滴喷射单元ll的结构的主要部分仰视图，图7(b)是用来说明另一液滴喷射单元lla的结构的主要部分仰视图。用图7(a) (b)说明液滴喷射单元内的喷嘴孔的排列。图7(a)表示安装有喷射一种液滴的多个液滴喷射单元ll的装置。在喷头架单元7上，通过喷射单元滑动机构10安装有液滴喷射单元ll，并且可沿箭头X的方向(图1)移动。形成于作为液滴喷射面的喷嘴板22上的喷嘴孔23排列成一列，并从垂直于箭头B的方向倾斜几度。排列的喷嘴孔23全部喷射同一液滴材料。
图7(b)表示具有安装了喷射三种液滴的多个喷嘴板的液滴喷射单元lla的装置。液滴喷射单元lla中具有喷射第一液滴材料的喷嘴孔23R的一列；喷射第二液滴材料的喷嘴孔23G的一列；以及喷射第三液滴材料的喷嘴孔23B的一列，各个喷嘴孔列采用以下结构，即，从垂直于方向B的方向倾斜几度，并使各个列在B方向上的投影区域近似一致。另外，各个喷嘴孔列也可以在液滴喷射单元lla内向B方向有微小的移动。
若设定喷嘴孔列从A方向的倾斜角为e，喷嘴间距为p，则B方向上投影的喷嘴间距Q为，
Q二pXsin0，
因此，存在与实际的喷嘴间距相比、使B方向的间距Q可以实现高密度化的优点。通过使间距Q高密度化，在对多个喷头进行组合而制造一个单元时，不必精密地进行各个喷头的位置对齐，至少可以在间距Q的精度以内进行排列。
此外，较好的是，以100 200DPI(—英寸的宽度内100 200个孔等间距排列)的喷嘴孔间距，对每一个喷射元件使用20 80个孔，并且使喷射元件倾斜0=3 10° ,这是因为，每个喷射元件的孔数越少，则由多个元件排列而构成的液滴喷射单元的整体宽度就越小，就可以使无效区域变小。另外，通过使制造成本低廉的100 200DPI的喷射元件以e二3 10。的范围倾斜，即使不精密地进行多个喷射元件之间的位置对齐，若进行一次试验喷射并控制喷射时序，就也可以使B方向投影的喷嘴间距高密度化，达到5 35网，从而能够实现滤色片或有机EL显示装置等的比像素尺寸更高密度的排列。〈基板搬入动作的说明〉
图8(a) (c)是用来说明喷头架单元7和基板载置台3的动作的、从图1的X方向来看的示意剖视图。
图8(a)表示处理对象基板35后的状态。基板处理后如图8(b)所示，缺陷修复装置的基板载置台3沿箭头rl的方向滑动到纸面左侧(辅助台2b侧)，同时喷头架单元7沿箭头r2的方向移动到维护机构15的正上方。然后，基板载置台3对完成了处理的对象基板35放开吸附后，再将其交给未图示的自动传送设备。之后，自动传送设备将下一个对象基板35a放置到基板载置台3上。接着，被放置的对象基板35a立即被基板载置台3气吸，基板载置台3回到原来的位置(图8(a)所示的位置)。
在对象基板35从基板载置台3搬出、下一个对象基板35a搬入、基板载置台3回到原来位置的期间，对于液滴喷射单元ll同时进行通常的维护动作。在维护动作中，喷头架单元7移动到维护机构15上，移动结束后进行维护操作。具体地说，液滴喷射单元ll的喷嘴板表面如图8(b)所示，用橡胶制造的盖部件31盖上。另外，在盖上之后，由盖部件31的底部的通气口进行负压吸引，通过从喷嘴板的喷嘴孔强制排出液滴来除去喷嘴孔的灰尘等。然后，用未图示的刮片擦拭喷嘴板表面。再之后，利用后述的不喷射检测器，检査从喷嘴孔的喷射状态。这一系列的维护动作的顺序也可以与前述的顺序不同。
安装有新的对象基板35a的基板载置台3、和结束了液滴喷射单元ll的维护动作的喷头架单元7，儿乎同时分别沿着图8(c)所示的箭头r4 r5的方向移动，到达图8(a)所示的位置。
〈维护动作的说明〉
在实施基板的搬出和搬入期间，或是长时间没有实施向基板的液滴喷射动作时，对液滴喷射单元ll实施维护动作。该维护动作包括不喷射检测动作、加盖动作、盖内吸引清洁动作、以及擦拭动作。在处理了前一个对象基板后，立即对下一个对象基板进行处理的情况下，提供前一个对象基板的搬出动作指令，同时提供使安装了液滴喷射单元11的喷头架单元7移动到维护机构15的正上方的指令。
图9(a)是用来说明不喷射检测器32的、从图1的X方向来看的主视图，图9(b)是从图1的Z方向来看的仰视图。维护机构15具有不喷射检测器32，该不喷射检测器32具有激光发光元件33和激光受光元件34，对每一个液滴喷射单元ll都设置有不喷射检测器32。
激光发光元件33与未图示的激光发光电路一旦接收不喷射检测的指令，就向激光受光元件34连续照射激光。与激光受光元件34连接的受光量测量电路存储通常的受光量。激光照射方向如图9(a)(b)所示，与基板面以及喷嘴板22的面大致平行，而且与喷嘴孔23R'23G.23B的排列大致平行。激光直径为lmm，配置为使得从一个液滴喷射单元lla的所有喷嘴孔23R 23G 23B喷射出来的液滴通过该激光的光轴内。
激光发光元件33和激光受光元件34有微动机构，在万一液滴未通过激光的光轴内时调整位置。首先，从最开始的第一号喷嘴孔23R以一定时间喷出液滴，读取来自受光量测量装置的光量，与通常的受光量进行比较，测量遮光量并判断该值是否在预先设定的设定值范围内，若在设定值范围内则认为是正常喷射，在以外的情况则认为是喷射不良。
接着，依次同样地进行第二号、第三号的喷射控制以及遮光量测量，对液滴喷射单元11的所有喷嘴孔23R，23G'23B，确认有无喷射不良。若没有喷射不良，则将液滴喷射单元ll移动到盖子的位置，在基板搬入动作即将结束之前进行加盖。
在有喷射不良的情况下，实施由已有技术进行的恢复动作。例如，将液滴喷射单元ll移动到盖子的位置，然后加盖，接着，用负压吸引盖子并从喷嘴孔强制排出，之后，解除盖子，进行擦拭，再次进行不喷射检测。
多次有限度地实施该不喷射检测和恢复动作，直到没有喷射不良的情况为止。而且，在喷射不良没有恢复的情况下，向装置输出该情况。另外，将即将处理前一个对象基板之前的最后的不喷射检测结果、和搬出前一个对象基板过程中进行的最初的不喷射结果进行比较，认为喷射状态有变化的情况下，可放弃前一个基板对象的处理，认为其不合适，或者回到修复工序。
〈液滴喷射单元11的排列〉
图10(a) (b)是用来说明缺陷修复装置l的对准动作的平面图。图10(a) (b)是从上方来看缺陷修复装置l的图，在喷头架单元7上安装有共计9个液滴喷射单元ll。
每一个液滴喷射单元11所设置的喷射单元滑动机构10，分别设置于一对喷
头架单元7的向着两个外侧的两个侧面。在喷头架单元7的纸面左侧面，隔开一 定的间隔安装有4对液滴喷射单元11和喷射单元滑动机构10。在喷头架单元7的 纸面右侧面，隔开一定的间隔安装有5对液滴喷射单元11和喷射单元滑动机构 10。而且，对于基板载置台3的上表面，各个喷射单元滑动机构10呈交错排列。 也就是说，在台架移动方向、即与箭头r3正交的方向上相邻的两个喷射单元滑 动机构10采用以下结构，即，沿着喷射单元滑动机构10的可滑动方向、即箭头 r3的方向，各自可滑动区域的端部有一部分重叠。此外，重叠的可移动区域越 大越好，较好的是，重叠喷射单元滑动机构10的长边方向长度的三分之一以上。 〈基板对准动作的说明〉
利用图10(a) (b)和图ll(a) (b)说明对象基板的对准动作。图ll(a) (b)是用 来说明设置于喷头架单元7上的对准摄像机12的结构的主要部分平面图。在基 板载置台3上被吸附固定的对象基板35的基板端附近，在两个位置上设置有用 于校正对象基板35的面内旋转方向的对准标记36。
喷头架单元7上固定的两个对准摄像机12从图10(a)所示的位置，和喷头架 单元7—起移动到图10(b)所示的位置。然后，根据对准摄像机12的图像信息， 计算出对象基板35的面内旋转方向的偏差，利用前述基板载置台3的e旋转机构 和箭头r3方向的微动机构，沿图10(b)所示的旋转箭头r6的方向校正对象基板 35的姿势。
对象基板35上预先设置有高精度的两个对准标记36，对象基板35的液滴涂 布位置是以该对准标记36为基准预先决定的。该对准标记36为同心圆状的标 记，对象基板35上的两个对准标记36的间距偏差为2^以内。两个对准摄像机 12以与两个对准标记36的间距相同的间距，设置于喷头架单元7上。另外，对 准摄像机12具有多个宽视野模式部43a和窄视野模式部43b，以宽视野模式部 43a利用e旋转机构和微动机构进行对准，然后以窄视野模式部43b再度进行同 样的对准动作。
图12(a) (b)是用来说明缺陷修复装置l的对准动作的主要部分平面图。图 13(a) (b)是其主要部分的放大平面图。图12(a) (b)是表示用宽视野模式的对准 摄像机12所摄图像的示意图，图12(a)是一对对准摄像机12中的一个对准摄像 机所拍得的图像，图12(b)是一对对准摄像机12中的另一个对准摄像机所拍得的图像。
对准摄像机12的宽视野模式设计为具有自动传送设备向基板载置台3传送 基板的配置精度以上的视野。该宽视野模式中，首先，使用同心圆的对准标记 36的外侧圆环部37a，测量对准标记36与基准位置的偏差，利用e旋转机构和微 动机构调整基板载置台3，控制对象基板35的姿势，以使对准标记36和基准位 置一致。外侧圆环部37a的外径为例如2mm，内侧圆部37b的外径为例如0. 2mra。
接着，如图13(a)(b)所示，将对准摄像机12切换到窄视野模式，利用对准 标记36的同心圆的内侧圆部37b，测量对准标记36和基准位置的偏差，利用e旋 转机构和微动机构调整基板载置台3，控制对象基板35的姿势，以使对准标记 36和基准位置一致。另外， 一对对准摄像机12的观察位置和液滴喷射单元11的 液滴喷射位置，是在安装了液滴喷射单元ll之后的调整工序中预先测量的。
图14是表示缺陷修复装置1的对准动作的流程图。首先，从设置于缺陷修 复装置1中的控制单元发出对准开始指令(步骤S1)，对象基板35搬入至移动到 辅助台2b侧的基板载置台3上(步骤S2)。然后，放置了对象基板35的基板载置 台3移动到主台上的固定位置(步骤S3)。
接着，如图10(a)所示位于维护机构15上方的喷头架单元7移动到图10(b) 中所示的对准位置(步骤S4)。然后，将对准摄像机12的宽视野模式部43a移动 到对准标记36上的标准位置(步骤S5)。
接着，对准摄像机12的宽视野模式部43a对对准标记36的外侧圆环部37a进 行摄像(步骤S6),计算出对准量(步骤7)。之后，根据计算出的对准量，实施粗 调基板载置台3的位置的粗对准动作(步骤S9)。
接着，将对准摄像机12的窄视野模式部43b移动到对准标记36上的标准位 置(步骤S8)。之后，对准摄像机12的窄视野模式部43b对对准标记36的内侧圆 部37b进行摄像(步骤S10)，计算出对准量(步骤11)。然后，根据计算出的对准 量，实施细调基板载置台3的位置的精对准动作(步骤S12)。
接着，对准摄像机12的窄视野模式部43b再次对对准标记36的内侧圆部37b 进行摄像(步骤S13)，确认基板载置台3的位置精度(步骤S14)。从而完成对准 动作(步骤S15)。
〈观察摄像机14对液滴命中位置的测量〉
图15(a) (b)是用来说明设置于缺陷修复装置l中的观察摄像机单元14对液 滴命中位置的测量动作的平面图。观察摄像机单元14在更换液滴喷射单元11的液滴喷射元件17(图5)并获得进行命中位置校正用的信息的情况下使用，或者 是在再度确认使用中的命中位置时使用。观察摄像机单元14利用台架滑动机构
4和摄像机滑动机构28，可以对缺陷修复装置l的上表面的任意位置进行摄像， 还可以算出缺陷修复装置l的上表面的任意位置。观察摄像机单元14的摄像位 置可通过内置于台架滑动机构4和摄像机滑动机构28的标尺而输出其位置信息。
在观察液滴命中位置时，将具有和通常的对象基板35相同的规定对准标记 36的空基板38搬入到缺陷修复装置1中，实施通常的基板姿势控制。然后，观 察摄像机14分别对空基板38上的两个对准标记36进行摄像，获得其位置信息。
如图15(a)所示，喷头架单元7移动到空基板38上方的任意位置。然后，从 各个液滴喷射单元11的喷嘴孔向空基板38喷射液滴。此时，也可以从所有的喷 嘴喷出液滴。还有，各个液滴喷射单元11根据内置于台架滑动机构4和各个 喷射单元滑动机构10的标尺，分别识别假设的命中位置(理想的命中位置)。
接着，如图15(b)所示，观察摄像机单元14一边借助于台架滑动机构4和摄 像机滑动机构28而移动， 一边依次对液滴命中位置进行摄像，算出相对于对准 标记36的实际命中位置。然后，将假设的命中位置与实际的命中位置之间的差 作为各个液滴喷射单元ll的修正数据进行保管。将偏差(差)沿X方向和Y方向分 解。由于喷头架单元7 —边沿Y方向移动一边进行液滴喷射，所以Y方向的偏差 可以通过调整喷射时序来校正。对于X方向的偏差，通过偏置补偿喷射单元滑 动机构10的移动量来校正。通过该观察摄像机单元14的动作，可以检测每个喷 嘴的不喷射情况，也可以检测每个喷嘴的命中偏差。
〈喷头架单元7的往返动作/液滴喷射单元ll的移动动作〉
图16(a) (b)是用来说明喷头架单元7的往返动作的平面图。对于完成了姿 势控制的对象基板35，下面示出在以对准标记36为基准的期望位置上滴下液滴 的方法。
图16(a)表示在对对象基板35滴下液滴的操作中、喷头架单元7移动到图 16(a)中最右端的状态。另一方面，图16(b)表示移动到最左端的状态。喷头架 单元7在由箭头r7所示的范围内作一次 多次的往返。安装于喷头架单元7上的 多个液滴喷射单元ll可以分别在图16(a)的箭头r3所示的方向上独立移动。喷 头架单元7本身在对象基板35上方，沿纸面的左右方向(箭头r7的方向)往返动 作。各个液滴喷射单元ll在实施液滴喷射动作之前，沿箭头r3所示的方向移动200780023473.1
到期望的地址并停止。然后，在喷头架单元7沿箭头r7的方向往返动作的过程 中，在箭头r7方向以及箭头r3方向的期望位置的地址一致的时刻，喷射液滴。 多个液滴喷射单元ll的动作分别被独立控制。
图16(b)中，由箭头r7所示的喷头架单元7的移动范围，比液滴喷射单元ll 移动方向的正交方向上的基板宽度要大，并以基板宽度的中心线作为喷头架单 元7的移动范围的近似中心。
这样，液滴喷射单元ll就可以在比基板宽度更大的范围内移动，所关注的 液滴喷射单元11可以向安装有该液滴喷射单元11的喷头架单元7的移动行程范 围内的基板的期望位置(带状区域)滴下液滴。
〈喷射动作的具体例子〉
图17(a) (b)是用来说明喷头架单元7对对象基板35的动作的平面图。喷头 架单元7上安装有可沿X方向独立移动的9个液滴喷射单元 lla lib lie lid lie llf llg llh lli，对各个液滴喷射单元lla 11i设定对象基板35上的作用区域41a '41b '41c '41d '41e '41f *41g '41h '41i。
在约2. 2mX 2. 8m的对象基板35上，散在着约30个 约300个喷射位置(缺 陷)40。此外，虽然也与基板尺寸有关，但是在缺陷为30个以上的情况下，通 过采用多个液滴喷射单元在与传送方向不同的方向上分别移动的结构，与液滴 喷射单元为一个的情况相比，縮短生产节拍时间的效果增大。另一方面，在缺 陷为300个以下的情况下，由修复后的滤色片基板以及有机EL显示基板的修复
部分而引起的色差达到不会对实际使用产生问题的程度，从而可以获得高品质 的前述基板。
对于各个液滴喷射单元lla lli，分配有沿纸面横向呈带状延伸的承担区 域41a 41i。液滴喷射单元lla承担区域41a。液滴喷射单元llb承担区域41b。 各个液滴喷射单元lla lli对承担区域41a 41i上散在的喷射位置(缺陷)40
进行液滴喷射动作。
在使喷头架单元7沿纸面左右方向反复往返移动的过程中，各个液滴喷射 单元lla lli为了移动到各个承担的喷射位置40的正上方，而分别沿X方向(图 l)移动，并停止在X方向的地址一致的位置，并随着喷头架单元7的移动，进行 待机，直到Y方向(图1)的地址一致。然后，在处理基板35上的期望位置来到正 下方的时刻，驱动液滴喷射单元ll，从喷射口向处理基板35上的期望位置喷射 液滴。
22如图17(a) (b)所示，若将9个液滴喷射单元lla lli排列为两列的交错状， 则如图中虚线所示，就可以将对象基板35分割成9个区域41a 41i，并对每一 个液滴喷射单元lla lli分别决定其承担区域。
图18(a) 图18(d)是用来说明液滴喷射单元ll对缺陷部40a 40b 40c的 喷射动作的示意平面图。该图说明在喷头架单元7的往返移动过程中，液滴喷 射单元ll向多个长方形的凹部(缺陷部40a，40b MOc)喷射液滴的工序。上述工 序例如相当于用该缺陷修复装置修复部分有缺陷的滤色片基板的情况。作为一 个例子，对滤色片基板的像素的一个颜色有缺陷时的缺陷修复装置进行说明。
这里的缺陷部是指，对制造工序中灰尘混入的部分、形成了空白凹处的部 分等，用激光等将不良部分修正为一定形状凹陷的部分。液滴喷射单元ll作为 全部喷射同一种液滴材料的单元，表示其对一种像素(红、蓝、黄中的一种)的 缺陷的修复方法。因此，为了修复所有颜色的缺陷部，可以对每种颜色材料设 置三台本实施方式中的缺陷修复装置并依次处理，或者如实施方式2中的例子 所示构成液滴喷射单元，使其可以喷射多种颜色的液滴。
图18(a) 图18(d)着眼于安装在喷头架单元7上的多个液滴喷射单元ll中
的一个，将从一个液滴喷射单元ll所设置的液滴喷射面向多个喷射位置进行喷 射的动作按照时间顺序表示。
参照图18(a)，处理基板上的缺陷部(缺陷)40a 40b 40c为深2pm左右的 凹部，其开口部为以喷头架单元7的移动方向为长边的200^X70iim左右的长方 形。图18(a) 图18(d)中描绘了缺陷部(缺陷)40a '40b '40c的长边与喷头架单 元7的移动方向A平行，但实际上是如图7(a) (b)所示的倾斜几度。液滴喷射单 元ll的喷嘴喷射面与对置的传送台面平行，在喷嘴板22上形成有多个喷嘴孔 23。该多个喷嘴孔23沿喷头架单元7的移动方向、即纸面左右方向排列，每个 喷嘴孔23分别在其背面侧具有可进行液滴喷射控制的未图示的墨水加压室和 加压控制单元。另外，排列成一列的喷嘴孔23可以喷射出同一液滴材料。
喷头架单元7与液滴喷射单元11的移动或喷射动作无关，始终是沿纸面左 右方向以近似相等的速度(100mm/秒 500mm/秒)往返移动。为了向缺陷部40a 喷射液滴进行修复，液滴喷射单元11利用喷射单元滑动机构10而高速移动，使 喷嘴孔23对准缺陷部40a的中心线上方停止。此外，液滴喷射单元ll的移动时
间除实际移动的时间之外，还必须考虑包括了静态稳定时间的时间，该静态稳 定时间是指停止后由喷射单元滑动机构10产生的残留振动降低到不会对液滴喷射施加不良影响的程度的时间。
在基板载置台3的相对行进方向一侧，预先移动到缺陷部40a的中心线上方 的液滴喷射单元ll，通过喷头架单元7的等速移动而相对地沿箭头D的方向移 动，从缺陷部40a上方的喷嘴孔23喷射液滴。此时使用的喷嘴孔23,由于可以 使用缺陷部40a正上方的多个喷嘴孔23，因此与使用一个喷嘴孔的情况相比， 可以提高喷头架单元7的等速移动速度，并且能够提高基板整体的处理速度。
然后，在缺陷部40a上方喷射液滴的液滴喷射单元ll如图18(b)所示，为了 修复缺陷部40c，驱动喷射单元滑动机构10向箭头E的方向移动，在缺陷部40c 的中心线和喷嘴孔23 —致的位置停止。此时，由于喷头架单元7以一定的速度 向纸面左方移动，因此液滴喷射单元ll沿图18(c)的箭头F的方向相对移动并停 止。然后，通过喷头架单元7的移动，液滴喷射单元11一边相对地向箭头G方向 移动， 一边从缺陷部40c正上方的喷嘴孔23喷射液滴，进行缺陷部40c的修复。
然后，喷头架单元7在结束了一个方向的移动后，开始向反方向移动。如 图18(d)所示，液滴喷射单元ll为了修复缺陷部40b，利用喷射单元滑动机构IO 向箭头K方向移动，使喷嘴孔23对准缺陷部40b的中心线上方停止。然后，通过 喷头架单元7的移动，使液滴喷射单元11相对地向箭头L的方向移动，由缺陷部 40b正上方的喷嘴孔23喷射液滴。
由此，通过利用喷头架单元7的往返动作，以缺陷部40a、缺陷部40b、缺 陷部40c的顺序进行三个缺陷部40a 40b 40c的修复，可最大限度地发挥本缺 陷修复装置结构上的优点。也就是说，如图18(c)所示，在用多个喷嘴孔23向 缺陷部40a进行喷射时，实际上直到进行喷射的纸面右端的喷嘴孔23离开缺陷 部40a的正上方为止都不能移动，至少在相当于所使用的喷嘴孔23的两端间距 离的区域内，不能使液滴喷射单元ll沿纸面上下方向移动，无法进行下一个缺 陷部的修复。
该不能范围H除了从刚完成处理后的缺陷部一端开始相当于所使用的喷嘴 孔23的两端之间距离的带状范围外，还包括传送平台的移动速度、乘以箭头E 方向(图18(b))的移动所需的时间以及移动后的残留振动的静态稳定所需时间 之和的区域。
如图18(c)所示，由于缺陷部40b位于缺陷部40a的不能范围H内的位置，所 以在缺陷部40a的修复刚完成之后不进行缺陷部40b的处理，而是进行不属于不 能范围H的缺陷部40c的修复。然后，随着喷头架单元7的返回移动，在缺陷部40c修复后，进行不属于其不能范围H的缺陷部40b的修复。
以上，对一个液滴喷射单元ll的移动动作进行了说明，但是缺陷修复装置 具有多个液滴喷射单元ll，分别独立动作。此外，本实施方式中的缺陷修复装 置并不限于滤色片基板的缺陷修复装置，也可以对基板上散在的期望位置喷射液滴。
图19(a) 图19(c)是表示滴下三种液滴材料的液滴喷射单元lla的移动方 向与像素42R *42G ，42B的长边方向正交时、液滴喷射单元的喷射动作的示意平 面图。图20(a) 图20(c)是表示滴下三种液滴材料的液滴喷射单元lla的移动 方向与像素42R *42G ，42B的长边方向平行时、液滴喷射单元的喷射动作的示意 平面图。在灰尘等原因导致制造过程中R和G的像素之间发生混色、而出现没有 显示所期望的颜色的像素时，用激光去除该部分，成为矩形形状，并利用本实 施方式的缺陷修复装置对矩形部滴下液滴。
图19(a) 图19(c)和图20(a) 图20(c)中，表示液滴喷射单元lla以及该 液滴喷射单元lla要修复的像素42R 42G 42B，由于像素42R和像素42G发生了
混色漏墨，所以预先用激光去除混色位置并形成凹处。
图19(a)表示修复前的状态，液滴喷射单元lla沿图中的箭头方向朝像素 42R 42G 42B移动。图19 (b)表示用喷嘴孔23R向像素42R刚滴下液滴后的图， 然后，如图19(c)所示，用喷嘴孔23G向像素42G滴下液滴。
像素42R 42G 42B的长边方向与喷头架单元(液滴喷射单元lla)的移动方 向平行时也一样，图20(a)表示修复前的状态，按照图20(b)、图20(c)的顺序， 修复像素42R、像素42G。
(实施方式2)
图21(a)是表示实施方式2有关的缺陷修复装置的喷头架单元的结构的平 面图，图21(b)是用来说明其动作的平面图。
实施方式2有关的缺陷修复装置具有隔开规定的间隔而相互并排设置的2 个喷头架单元7。各个喷头架单元7上设置有4个液滴喷射单元11。因此，液滴 涂布装置上安装有共计8个液滴喷射单元11。 .
使安装于第一个喷头架单元7上的4个液滴喷射单元11滑动的喷射单元滑 动机构ll的可移动区域相互重叠。因此，4个液滴喷射单元11中的某一个可以 移动到基板的任意位置。第二个喷头架单元7也同样地安装有4个液滴喷射单元 11。一个液滴喷射单元11仅可在喷射单元滑动机构10的移动范围P内移动，而 呈交错状相邻的喷射单元滑动机构10的移动范围沿着液滴喷射单元11的移动 方向，有一部分重叠。因此， 一个台架上的4个液滴喷射单元11中的某一个必 定可以移动到沿喷头架单元7的长边方向的位置。若将可一边互补、 一边包括 沿与喷头架单元7的移动方向正交方向朝所有位置移动的液滴喷射单元11的集
合作为单元列，则在本实施方式中，存在两个单元列。而且， 一个单元列由4
个液滴喷射单元ll构成。
对象基板35上散在有图中黑点所示的多个缺陷部40。以单元列数为列数、 每个单元列的液滴喷射单元数为行数，将对象基板35的区域平均分割，具体地 说是分割成4行X2列的区域，成为各个液滴喷射单元ll的承担区域。例如，设 置于左侧喷头架单元7的左上方的液滴喷射单元11，仅修复图中阴影所示的承 担区域41中散在的缺陷部40。此外，图17中前述的单元排列，由于其单元列数 为l，所以如图17所示分割成9行X1列。
图21(b)是表示喷头架单元7移动到对象基板35上其往返动作的前进路径 一半的状态的图，喷头架单元7移动到图中的白色箭头方向并结束前进路径。 然后，喷头架单元7转换到返回路径，回到图21(a)所示的位置。将该往返动作 为一个往返，根据散在的缺陷部40的数量，重复1个 数个往返，从而修复整 个对象基板35上散在的缺陷部40。这里， 一共有8个区域，而由于每一个液滴 喷射单元的承担区域中存在缺陷部40的数量的差异，所以每一个液滴喷射单元 ll会产生完成和未完成的差别，因此，喷头架单元7重复多次往返，直到所有 液滴喷射单元11都修复缺陷部40为止。
这里，如图21(b)所示，前述单元列是安装于一个喷头架单元7上的4个液 滴喷射单元ll，该单元列的中心线为Y2-Y2以及Y3-Y3。本实施方式中，这两个 单元列(喷头架单元7)的中心线Y2-Y2和中心线Y3-Y3之间的距离为对象基板35 沿传送方向的长度的约二分之一。因此，如图21(b)所示，两个喷头架单元7的 中心线Y2-Y2和中心线Y3-Y3之间的间隔设置为对象基板35的宽度的约一半，将 该设置位置为中心，以基板宽度的约一半的移动量移动双振幅。
由此，对每一个单元列分割基板宽度，各个单元列在其分割区域内扫描， 从而可以有效地进行修复操作。此外，如图17所示当单元列数为1时，以基板 中间线为单元列的中心，双振幅为基板宽度。
图22是表示实施方式2有关的缺陷修复装置的喷头架单元的另一结构的平面图。图22中表示了具有三列单元列(喷头架单元7)的结构例子。在此情况下，
每一列安装有4个液滴喷射单元11，共计形成三列单元列。从而，对象基板35分割成4行X3列。
在具有n个(n为整数)单元列的缺陷修复装置中，将对象基板分割成n份，以这n个分割区域的中间线为中心，使各个单元列以基板宽度的n分之一的双振幅进行多次扫描即可。由此，通过往返动作可以使喷头架单元7的移动总距离为最小，并且可以最大程度地縮短基板的处理时间。即使不是严格采用该比率，只要在±20%左右的误差以内，就可获得很大的时间縮短效果。
这里，将对象基板35的喷头架单元移动方向的宽度设为D，单元列的扫描宽度为d，单元列数为n，此时，若在以下范围内就能够縮短基板的处理时间，即
0. 8d《D/n《1. 2d。
将结束修复的处理基板用未图示的自动传送设备取出。在滤色片基板的情况下，将基板放入烧成炉，固化液滴材料，完成处理。实施方式2中说明了有两个单元列以及三个单元列的缺陷修复装置，在有n个单元列的情况下，可知对于基板送入方向的基板尺寸D，将基板分割成n份，以分割的各个区域的中心线为中心，以基板的D/2n的振幅使单元列进行往返扫描即可。另外，虽然通过使d和D/n近似一致，可以实现装置尺寸的最小化，但只要在±10%左右差异范围内，装置尺寸就不会大幅增加，可以縮小装置的占有面积。此外，虽然最好是d和D/n —致，但只要在±20%的差异范围内，每一块基板所需的处理时间就不会大幅增加，可以实现縮短生产节拍时间。
图23(a) (b)是表示实施方式2有关的缺陷修复装置的喷头架单元的又一个结构的平面图。在台架9的一个侧面设置有安装了液滴喷射单元11的喷射单元滑动机构IO，在台架9的另一个侧面也设置有安装了液滴喷射单元11的喷射单元滑动机构IO。台架9的一个侧面垂直于基板载置台3，台架9的另一个侧面相对于基板载置台3倾斜。
台架9的一个侧面的液滴喷射单元11的滑动方向与垂直于喷头架单元的滑动方向(图1中与Y方向平行的方向)的方向有所倾斜，台架9的另一个侧面的液滴喷射单元11的滑动方向也与垂直于喷头架单元的滑动方向(图1中与Y方向平行的方向)的方向有所倾斜。由此，即使液滴喷射单元的滑动方向不与基板传送方向垂直，也可以采用本发明。另外，在多个滑动机构中，即使各个滑动方向与传送方向不同，也可以预先掌握其移动轨迹，根据滑动位置的坐标来校正液滴喷射单元的喷射时序。
前述实施方式1和2中，说明了CF(Color filter:滤色片)面板中产生的缺陷像素的例子，但本发明并不限于此。也可以将本发明适用于具有矩阵状或条状排列的多个被喷射部的电致发光(EL)显示装置的制造。另外，也可以对等离子体显示装置的背面基板的制造采用本发明，还可以将本发明适用于具备电子发射元件的图像显示装置的制造、以及布线的制造。
另外，在本实施例中，表示了台架在基板上方，从基板的一端到另一端反复进行往返扫描的结构，但并不一定要在全部往返动作中扫描基板的全部区域。
特别是，可分别沿着与基板传送方向不同的方向移动的液滴喷射单元，在与基板近似等速地在传送方向上相对移动的过程中，在依次巡回基板上散在的多个修复位置并修复的情况下，可以使相对移动的移动方向进行反复反转动作，从而在基板上进行多次扫描。
随着在基板上扫描，要修复的位置逐渐减少，而在多个扫描的最终阶段，不需要扫描基板的整个区域，只要扫描基板的一部分区域即可。
因此，在预先已知基板上要修复的位置的情况下，由于可以预先设定液滴喷射单元各自依次巡回的修复位置，所以不需要扫描基板上的所有区域，对于每一次各自的扫描可以只扫描必要的部分，从而可以减少修复所需的生产节拍。
还有，本发明中，传送方向的近似等速移动也包括缓慢加速、减速的状态。本发明并不限于上述各实施形态，在权利要求所示范围内可以作种种变更，对于将不同实施形态所分别揭示的技术方法进行适当组合所得的实施方式，也包括在本发明的技术范围内。
此外，上述实施方式的缺陷修复装置的各个部分和各个处理步骤，可通过由CPU等运算单元执行存储在ROM(Read Only Memory:只读存储器)或R認等的存储单元中的程序、控制接口电路等通信单元来实现。因此，具有这些单元的计算机只要通过读取记录了上述程序的记录介质，并执行该程序，就可以实现本实施方式中的缺陷修复装置的各种功能以及各种处理。另外，通过将上述程序记录在可移动记录介质中，可以在任意计算机上实现上述各种功能以及各种处理。作为该记录介质，为了用微机进行处理，可以是未图示的存储器、例如R0M之类的程序介质，此外，虽然未图示，但是也可以设置程序读取装置作为外部存储装置，是通过在其中插入记录介质而能够读取的程序介质。
此外，较好的是，不管在什么情况下，所存储的程序都是由微处理器访问并执行的结构。而且，较好的是釆用读出程序、将读出的程序下载到微机的程序存储区并执行该程序的方式。还有，将该加载用的程序预先存储在主体装置中。
此外，作为上述程序介质，是构成为可与主体分离的记录介质，有磁带和
盒式磁带等的磁带类、软盘和硬盘等磁盘和CD/MO/MD/DVD等盘片的盘片类、或者是采用掩模只读存储器(Mask Read Only Memory) 、 EPROM(ErasableProgrammable Read Only Memory :可擦可编程只读存储器)、EEP翻(Electrically Erasable Programmable Read Only Memory: 电可擦可编程只读存储器)、闪速只读存储器(Flash Read Only Memory)等的包括半导
体存储器并作为固定的程序载体的记录介质等。
此外，若是可与包括互联网在内的通信网络连接的系统结构，较好的是采用作为动态的程序载体的记录介质，以从通信网络下载程序。
而且，在如上所述从通信网络下载程序时，较好的是将该下载用的程序预先存储在主体装置中，或者从别的记录介质进行安装。
工业上的实用性
本发明可适用于根据基板上散在的缺陷的位置数据来修复缺陷的缺陷修复装置、缺陷修复方法、程序以及计算机可读记录介质。
权利要求
1. 一种缺陷修复装置，其特征在于，具备固定所传送的基板的固定单元；从垂直于由所述固定单元所固定的基板的方向来看、沿与所述基板的传送方向不同的方向配置并对所述基板上散在的缺陷喷射液滴的多个液滴喷射单元；安装有所述多个液滴喷射单元的一列以上的台架；以及使所述台架沿着所述基板的传送方向相对等速移动的移动单元，各液滴喷射单元根据表示所述基板上散在的多个缺陷的位置的数据，在所述台架沿所述基板的传送方向相对移动期间，沿与所述传送方向不同的方向相互独立地移动。
2. 如权利要求1所述的缺陷修复装置，其特征在于， 所述移动单元使所述台架从所述基板的一端到另一端往返移动。
3. 如权利要求1所述的缺陷修复装置，其特征在于， 所述台架沿所述基板的传送方向隔开规定间隔设置多列。
4. 如权利要求1所述的缺陷修复装置，其特征在于，在所述台架上，设置有使各液滴喷射单元沿着垂直于所述传送方向的方向 滑动的多个滑动机构。
5. 如权利要求4所述的缺陷修复装置，其特征在于，从所述传送方向来看，利用各滑动机构滑动的液滴喷射单元的滑动范围的 端部互相重合。
6. 如权利要求4所述的缺陷修复装置，其特征在于， 从垂直于所述基板的方向上来看，所述多个滑动机构配置为交错状。
7. 如权利要求1所述的缺陷修复装置，其特征在于， 对每一个液滴喷射单元分配所述基板的修复区域。
8. 如权利要求1所述的缺陷修复装置，其特征在于，各液滴喷射单元在沿着与所述传送方向不同的方向移动后停止的状态下， 向所述缺陷喷射所述液滴。
9. 如权利要求1所述的缺陷修复装置，其特征在于，各液滴喷射单元沿着与所述传送方向不同的方向移动，以使其液滴喷射位 置和所述基板上的缺陷位置一致。
10. 如权利要求1所述的缺陷修复装置，其特征在于，安装有所述多个液滴喷射单元的台架的重量为0.5吨以上、4吨以下。
11. 一种缺陷修复方法，其特征在于， 固定所传送的基板，从垂直于所述固定的基板的方向来看，使安装有沿着与所述基板的传送方 向不同的方向配置的多个液滴喷射单元的一列以上的台架，沿所述基板的传送 方向相对地等速移动，在所述台架沿所述基板的传送方向移动期间，根据表示所述基板上散在的 多个缺陷的位置的数据，使各液滴喷射单元沿着与所述传送方向不同的方向彼 此独立并移动，并向所述基板上散在的缺陷喷射液滴。
12. —种程序，其特征在于，使计算机执行以下步骤 固定所传送的基板的步骤；从垂直于所述固定的基板的方向来看、使安装有沿与所述基板的传送方向 不同的方向配置的多个液滴喷射单元的一列以上的台架沿所述基板的传送方 向相对地等速移动的步骤；以及在所述台架沿所述基板的传送方向移动期间、根据表示所述基板上散在的 多个缺陷的位置的数据使各液滴喷射单元沿着与所述传送方向不同的方向彼 此独立并移动、并向所述基板上散在的缺陷喷射液滴的步骤。
13. —种计算机可读记录介质，其特征在于，记录了使计算机执行以下步骤 的程序，包括固定所传送的基板的步骤；从垂直于所述固定的基板的方向来看、使安装有沿与所述基板的传送方向 不同的方向配置的多个液滴喷射单元的一列以上的台架沿所述基板的传送方向相对地等速移动的步骤；以及在所述台架沿所述基板的传送方向移动期间、根据表示所述基板上散在的 多个缺陷的位置的数据使各液滴喷射单元沿着与所述传送方向不同的方向彼 此独立并移动、并向所述基板上散在的缺陷喷射液滴的步骤。
全文摘要
本发明提供一种可有效地修复缺陷的缺陷修复装置(1)，该缺陷修复装置(1)具备固定所传送基板的基板载置台(3)；从垂直于由基板载置台(3)固定的基板的方向来看、沿与基板的传送方向不同的方向配置并对基板上散在的缺陷喷射液滴的多个液滴喷射单元(11)；安装多个液滴喷射单元(11)的喷头架单元(7)；以及使喷头架单元(7)沿着基板的传送方向相对等速移动的台架滑动机构(4)，各个液滴喷射单元(11)根据表示基板上散在的多个缺陷的位置的数据，在喷头架单元(7)沿基板的传送方向移动期间，沿与传送方向不同的方向相互独立移动。
文档编号B05C5/00GK101484248SQ20078002347
公开日2009年7月15日 申请日期2007年4月18日 优先权日2006年4月21日
发明者中岛吉纪, 田村寿宏, 的场宏次 申请人:夏普株式会社