专利名称：一种压电悬臂梁驱动柔性薄膜式液体喷射结构的制作方法
技术领域：
本实用新型属于微电子机械领域，特别涉及采用微加工方法实现的一种压电 悬臂梁驱动柔性薄膜式液体喷射结构。
背景技术：
液体喷射结构是整个液体喷射装置中最核心的部分。液体喷射结构及含有液 体喷射结构的装置典型应用于喷墨打印，图文记录、印刷和平面广告制作等方面， 在微细图形实现等工业制造领域也有应用。采用压电原理制作的液体喷射结构， 容易控制液滴大小和喷射速度，实现高精度的液滴喷射，耐用性好。因此，压电 工作方式是液体喷射结构采用的重要原理之一。
一种已有的压电式液体喷射结构，采用多层的压电叉指作为驱动器，垂直的 放置于微槽道顶部的外表面。当在驱动器上施加电压时，每个叉指的长度发生伸 縮变化，垂直的挤压每个微槽道的上壁，从而改变槽道腔内容积的大小，使液体 从喷孔喷射出去。这种压电液体喷射结构中采用压电叉指长度的伸縮变化改变槽 道容积的大小。但是，压电叉指长度的变化较小，增加其长度变化需大大增加叉 指的长度，或大大的增加驱动电压。这样会带来叉指易折断、组装困难等一系列 问题。另外，这种驱动器制作难度较大，驱动器与微槽道等其它部件的组装困难， 要求精度高，制作效率低，成本高。
精工爱普生株式会社公开了一种压电式液体喷射结构，在微槽道的上壁制作 压电/弹性复合振动板，当向压电振动板上的压电元件施加电压时，振动板发生 凸、凹形变，从而改变微槽道内的容积，使液体从与微槽道相通的微喷孔中喷射
出去。采用这种方式的压电振动板硬度较大，使其形变所需驱动力很大；并且， 振动板四周与微槽道壁相连，且受到约束。这两种原因，严重限制了对微槽道中 液体驱动。而且，由于板四周边的约束作用，当振动板的面积越小时，板的形变 就越小，微槽道内的体积变化就越小，喷射的出液量就越小。为了增加喷射出液 量，需要增加微槽道的尺度。而在形成更高密度的液体喷射阵列时，微槽道的宽
度却又受到限制。因此，这种液体喷射结构的驱动方式影响了液体喷出量，妨碍 了进一步减少微槽道的尺寸和提高喷射装置的集成度。
最近提出的一种压电悬臂梁式液体喷射结构克服了上述压电液体喷射结构 存在的问题。它采用压电悬臂梁在微槽道的上部或中间直接驱动微槽道中的液体 从微喷孔中喷出。由于压电悬臂梁仅在梁的一侧固定支撑，其它部分为悬空可动， 不受衬底的制约，因此，悬臂梁的变形量远远大于前述的四周固定的压电振动板， 它能更有效的驱动更多液体从微喷孔中喷出。同时，由于压电悬臂梁在电压的激 励下产生的是偏转形变，其变形量也远大于压电叉指在叉指方向的直接伸縮形 变。此外，由于压电悬臂梁能在低电压下实现大的变形，因此，这种液体喷射结 构可以在较低的电压下工作。或者，由于压电悬臂梁能实现较大的变形，这样就 可以在保持射出液体量不变的情况下，减小驱动器的总体面积或微槽道的横向尺 寸，从而实现具有更高密度喷孔阵列的液体喷射装置。
但是，在这种压电悬臂梁式液体喷射结构中，压电悬臂梁在微槽道的上部或 中间直接驱动微槽道中的液体，压电悬臂梁直接与液体相接触。这要求压电悬臂 梁上的电极及连接线必须覆盖良好的绝缘介质层，并长期保持其绝缘性能，以防 止漏电。同时，由于压电悬臂梁周边存在缝隙，微槽道中的液体会在压电悬臂梁 动作时，通过压电悬臂梁周边的缝隙上下流动，减小了液体驱动的强度。
发明内容
本实用新型的目的是针对压电悬臂梁式液体喷射结构中压电悬臂梁直接与 液体相接触，要求压电悬臂梁上的电极及连接线必须覆盖良好的绝缘介质层，并 需长期保持其绝缘性能，以防止漏电；同时，由于压电悬臂梁周边存在缝隙，微 槽道中的液体会在压电悬臂粱动作时，通过压电悬臂梁周边的缝隙上下流动，减 小了液体驱动的强度的不足，而提供的一种压电悬臂梁驱动柔性薄膜式液体喷射 结构。其结构包括，压电悬臂梁、柔性薄膜、微槽道、微喷孔；其特征在于在 液体喷射结构外表面设置与微槽道相通的微喷孔，柔性薄膜覆盖于微槽道的顶 部，作为液体喷射驱动器的压电悬臂梁在微槽道顶部柔性薄膜的外部平行放置或 与柔性薄膜的夹角为锐角；与微槽道相通的微喷孔、微槽道、微槽道顶部的柔性
薄膜、压电悬臂梁相结合构成液体喷射结构。
所述压电悬臂梁的一端或一侧与衬底相连，压电悬臂梁的一端或一侧固定，
其它部分悬空可动。
所述压电悬臂梁在每个微槽道顶部柔性薄膜的外部至少放置一个。 所述压电悬臂梁为包含压电层和非压电层的多层复合结构，其中至少包含一
层压电层及其上、下电极层。
所述压电悬臂梁中的各层，覆盖整个悬臂梁，或部分地分布于悬臂梁上。 所述柔性薄膜为有机薄膜材料，或掺入添加剂的有机薄膜材料。 所述压电悬臂梁在微槽道顶部柔性薄膜的外部与柔性薄膜外表面直接相接
触或不接触，或通过粘接的方式与柔性薄膜外表面相接。
所述压电悬臂梁驱动柔性薄膜式液体喷射结构中，包含至少一组与微槽道相
通的微喷孔、微槽道、微槽道顶部的柔性薄膜、压电悬臂梁，构成压电悬臂梁驱
动柔性薄膜式液体喷射结构阵列。
本实用新型的有益效果是，由于压电悬臂梁在微槽道顶面的柔性薄膜上，并
不与槽道中的液体接触，这就大大降低了对悬臂梁表面绝缘介质层的性能要求。
而且，由于柔性的有机薄膜具有良好的柔性，它在压电悬臂梁的驱动下能发生较
大的形变；同时，由于柔性薄膜在微槽道顶的密封作用，防止微槽道中的液体通
过悬臂梁周边的缝隙上下流动，能更有效地驱动更多液体从微喷孔中喷出，提高
了液体喷射结构的工作效率和可靠性。
图l为液体喷射结构的第一种结构示意图。 图2为图l的组装示意图。 图3为液体喷射结构的第二种结构示意图。 图4为图3的组装示意图。 图5为压电悬臂梁剖面结构示意图。
具体实施方式
本实用新型提出的一种压电悬臂梁驱动柔性薄膜式液体喷射结构，具有多种
实现方式。图l和图3分别示例了其中两种可能的实现方式。它们的共同特征都 是在液体喷射结构外表面设置与微槽道相通的微喷孔，柔性薄膜为微槽道的封顶 材料，覆盖于微槽道的顶部，含有压电薄膜层及其上、下电极的压电悬臂梁在微 槽道顶部柔性薄膜的外部平行放置，作为微槽道中液体喷射的驱动器；与微槽道 相通的微喷孔、微槽道、微槽道顶部的柔性薄膜、压电悬臂梁相结合构成液体喷 射结构；在电压的驱动下，压电悬臂梁发生偏转形变，驱动微槽道顶部的柔性薄 膜发生形变，从而改变微槽道的体积，将微槽道中的液体从与微槽道相通的微喷 孔中喷出。
在图1所示的第一种结构示意图中，由喷孔板100、衬底200、柔性薄膜300 和上衬底400组成。在喷孔板100上设置一排与衬底200上微槽道220对应的微 喷孔110;在衬底200上的微槽道220的旁边设置储液室230;微槽道220与储 液室230之间通过微槽240相连通；柔性薄膜300覆盖于衬底200上表面，成为 衬底200上的微槽道220的封顶材料，在柔性薄膜300上与衬底200上的储液室 230相对应处设置开口 330，储液室230通过开口 330进一步与上衬底400上的 上储液室430相通，合并在一起，成为一个大的储液室；压电悬臂梁410位于上 衬底400上的释放槽420的底部，并且，上衬底400上的每个压电悬梁410在衬 底200上的每个微槽道220的上方，并相互对应。压电悬臂梁410只有一端固定 在衬底400的释放槽420壁上，其它部分为悬空可动；喷孔板100、衬底200、 柔性薄膜300和上衬底400依次粘结在一起组成压电悬臂梁驱动柔性薄膜式的液 体喷射结构(如图2所示)。
所述压电悬臂梁410包含压电层412及其上电极413、下电极层411，在悬 臂梁的表面可以覆盖绝缘介质层414。该压电悬臂梁410还可以为含有多层压电 层和多层非压电层的多层复合压电悬臂梁；或是以包含两层或两层以上极化方向 相同或相反的压电层的形式构成压电悬臂梁。
喷扎板100可以采用金属材料、有机材料、单晶硅、陶瓷等材料制作。采用 激光钻孔、超声钻孔、腐蚀等方法可形成微喷孔110及其阵列。
衬底200可以采用单晶硅材料。在其上制作微槽道阵列220、储液室230及
微槽道220与储液室230之间相连的微槽240。釆用双面抛光硅片，双面热氧化 后淀积氮化硅层，背面光刻出结构窗口，刻蚀掉窗口中氮化硅，漂去露出的热氧 化层。利用KOH、 TMAH等各向异性腐蚀技术进行体硅腐蚀，或采用ICP (电感耦 合等离子体)进行干法刻蚀，形成微槽道220和储液室230，及它们之间相连的 微槽240。然后，去除微槽道220和储液室230部分的氧化硅层和氮化硅层，构 成穿通结构。另外，衬底200的材料也可以采用金属、二氧化硅、陶瓷等材料， 采用其它刻蚀工艺技术制作出上述微结构。
柔性薄膜300为有机薄膜材料，或掺入添加剂的有机薄膜材料，如聚苯硫醚 (PPS)薄膜等。柔性薄膜300应具有较薄的厚度、良好的柔性。在柔性薄膜300 上与衬底200中储液室230相对应的部位，釆用激光刻蚀、冲压、腐蚀等方法制 作开口 330。
衬底400可以采用单晶硅材料。在其上制作压电悬臂梁410和储液室430。 采用双面抛光硅片，双面热氧化后淀积氮化硅层，背面光刻出结构窗口，刻蚀掉 窗口中氮化硅，漂去露出的热氧化层。刻蚀去除正面的全部氮化硅层，以原有的 氧化硅层或重新生长适当厚度的热氧化硅层作为压电悬臂梁的底层材料和缓冲 层415 (如图5所示)。接着，在正面进行PZT (锆钛酸铅)复合多层薄膜的制作 工艺。依次淀积下电极层、压电薄膜、上电极层，并采用物理或化学刻蚀工艺， 依次刻蚀出上电极413、压电薄膜412、下电极411，最后淀积绝缘介质膜414 (如 图5所示)，再采用物理或化学刻蚀工艺刻蚀露出上、下电极，作为电极的引出 线连接端。然后，在正面进行光刻并刻蚀出悬臂梁形状。随后，保护正面，利用 KOH、 TMAH等各向异性腐蚀技术进行体硅腐蚀，或釆用ICP (电感耦合等离子体) 进行干法刻蚀，形成释放槽420和储液室430，并释放悬臂梁结构，形成压电悬 臂梁410。在对悬臂梁背面材料进行腐蚀时可以按照图2所示，在每个悬臂梁背 面腐蚀出对应的释放槽420，也可以将各个悬臂梁背面的释放槽合并为一个大的 释放槽。压电悬臂梁驱动器制作完成后，将上衬底400翻转过来与200衬底对准 按照图2所示的方式进行组装。在本实施方式中，下电极411可由钛/铂复合层 或铂或铱构成；压电薄膜412由PZT层或掺杂后的PZT层构成，或为PbTi03等压
电种子层与上述PZT层的复合层；上电极413可由钛/铂复合层或铂或铱构成。 另外，衬底材料也可以采用金属、二氧化硅、陶瓷等材料。
最后，将喷孔板100、衬底200、柔性薄膜300和上衬底400通过键合或粘 接的方式组合到一起，形成液体喷射结构。
所述压电悬臂梁驱动柔性薄膜式液体喷射结构中，包含至少一组与微槽道相 通的微喷孔、微槽道、微槽道顶部的柔性薄膜、压电悬臂梁，构成压电悬臂梁驱 动柔性薄膜式液体喷射结构阵列。如图1和图3所示都可以视为液体喷射结构阵 列的示意图。
在图3所示的液体喷射结构的第二种结构示意图中，液体喷射结构的喷孔板 100、衬底200和柔性薄膜300部分与图1所示相同。与第一种结构不同的是， 上衬底400上无释放槽420，并将上衬底400上的上储液室430变为与柔性薄膜 300上开口 330相对应的开口 440;同时，上衬底400上的压电悬臂梁410在衬 底200上方直接与相对应的微槽道220对准，上衬底400不经过翻转就可以与喷 孔板IOO、衬底200和柔性薄膜300组合在一起，如图4所示。采用腐蚀或磨抛 减薄方法能够实现上述结构，也可采用金属材料作为上衬底400的材料，在金属 衬底上淀积下电极、压电层、上电极等各功能层，再刻蚀或冲压出压电悬臂梁410 及开口 440等结构。
上述实施例中的压电悬臂梁410的剖面结构如图5所示，它由二氧化硅层 415、下电极411、压电层412、上电极413、表面绝缘介质层414复合而成。除 此实现方式之外，压电悬臂梁中二氧化硅层的下面也可保留一定厚度的单晶硅 层，与其它层一每构成悬臂梁。
在本实用新型的其它实现方式中，也可将与每个微槽道相对应的压电悬臂梁 设计为不同的形式，对应于每个被驱动的微槽道的压电悬臂梁的个数可多于一 个，其固定支撑端也可位于不同的位置。例如，在喷射结构各层衬底部件组装好 后，压电悬臂梁的方向与被驱动的微槽道长度方向可以平行，也可以与微槽道长 度方向垂直，等等。
上述液体喷射结构进一步与驱动电路、储液盒、支撑架、外壳、连接线等相
结合可构成完整的液体喷射装置或集成化的液体喷头。
本实用新型的液体喷射结构在喷墨打印，图文记录、印刷和平面广告制作等 方面，以及具有微细图形实现的工业制造等领域有十分广泛的应用。
权利要求1. 一种压电悬臂梁驱动柔性薄膜式液体喷射结构，其结构包括，压电悬臂梁、柔性薄膜、微槽道、微喷孔；其特征在于在液体喷射结构外表面设置与微槽道相通的微喷孔，柔性薄膜覆盖于微槽道的顶部，作为液体喷射驱动器的压电悬臂梁在微槽道顶部柔性薄膜的外部平行放置或与柔性薄膜的夹角为锐角；与微槽道相通的微喷孔、微槽道、微槽道顶部的柔性薄膜、压电悬臂梁相结合构成液体喷射结构。
2. 根据权利要求1所述压电悬臂梁驱动柔性薄膜式液体喷射结构，其特征在 于，所述压电悬臂梁的一端或一侧与衬底相连，压电悬臂梁的一端或一侧固定， 其它部分悬空可动。
3. 根据权利要求1所述压电悬臂梁驱动柔性薄膜式液体喷射结构，其特征在 于，所述压电悬臂梁在每个微槽道顶部柔性薄膜的外部至少放置一个。
4. 根据权利要求1所述压电悬臂梁驱动柔性薄膜式液体喷射结构，其特征在 于，所述压电悬臂梁为包含压电层和非压电层的多层复合结构，其中至少包含一 层压电层及其上、下电极层。
5. 根据权利要求1所述压电悬臂梁驱动柔性薄膜式液体喷射结构，其特征在 于，所述压电悬臂梁中的各层，覆盖整个悬臂梁，或部分地分布于悬臂梁上。
6. 根据权利要求1所述压电悬臂梁驱动柔性薄膜式液体喷射结构，其特征在 于，所述柔性薄膜为有机薄膜材料，或掺入添加剂的有机薄膜材料。
7.根据权利要求1所述压电悬臂梁驱动柔性薄膜式液体喷射结构，其特征在 于，所述压电悬臂梁在微槽道顶部柔性薄膜的外部与柔性薄膜外表面直接相接触 或不接触，或通过粘接的方式与柔性薄膜外表面相接。
8.根据权利要求1所述压电悬臂梁驱动柔性薄膜式液体喷射结构，其特征在 于，所述压电悬臂梁驱动柔性薄膜式液体喷射结构中，包含至少一组与微槽道相 通的微喷孔、微槽道、微槽道顶部的柔性薄膜、压电悬臂梁，构成压电悬臂梁驱 动柔性薄膜式液体喷射结构阵列。
专利摘要本实用新型公开了属于微电子机械领域的一种压电悬臂梁驱动柔性薄膜式液体喷射结构。其结构包括，压电悬臂梁、柔性薄膜、微槽道、微喷孔；其特征在于在液体喷射结构外表面设置与微槽道相通的微喷孔，柔性薄膜覆盖于微槽道的顶部，作为液体喷射驱动器的压电悬臂梁在微槽道顶部柔性薄膜的外部平行放置或与柔性薄膜的夹角为锐角。降低了对悬臂梁表面绝缘介质层的性能要求。柔性的有机薄膜在压电悬臂梁的驱动下能发生较大的形变；同时，防止微槽道中的液体通过悬臂梁周边的缝隙上下流动，能更有效地驱动更多液体从微喷孔中喷出，提高了液体喷射结构的工作效率和可靠性。
文档编号B05B17/04GK201200952SQ20082010812
公开日2009年3月4日 申请日期2008年5月29日 优先权日2008年5月29日
发明者刘淑芹 申请人:刘淑芹