液晶滴下装置和液晶滴下的监视方法

专利名称：液晶滴下装置和液晶滴下的监视方法
技术领域：
本发明涉及液晶滴下装置和液晶滴下的监视方法，特别涉及具有对滴下到基板的液晶进行拍摄的功能的液晶滴下装置和液晶滴下的监视方法。
背景技术：
在液晶显示面板的制造方法中，存在分别进行使2个基板相互贴合的工序和封入液晶的工序的方法，以及能同时进行这2个工序的方法。作为后一方法提出了液晶滴下法。在液晶滴下法中，对相互贴合的2个基板中的任一方基板配置密封材料。在任一方基板的密封材料的内侧所对应的区域滴下液晶。在真空中使这2个基板相互贴合。然后，在大气压下调整2个基板彼此的间隔之后，使密封材料固化。在使2个基板贴合而得到的贴合基板上形成有多个液晶显示单元。然后，将贴合基板分断为包括多个液晶显示单元的多个面板来制造液晶显示面板。在液晶滴下法中，液晶是在使基板彼此贴合之前从液晶滴下注射器的喷嘴使规定量的液晶滴下到基板上，然后一边使基板贴合一边封入液晶。因此，当液晶的滴下量较少时，会产生液晶显示单元含有气泡、单元厚度变薄等缺陷。另外，反之液晶的滴下量较多时， 会产生液晶从液晶显示单元泄漏、单元厚度变厚等缺陷。因此，在滴下液晶的装置中，为了不制造液晶封入量不合格的液晶显示单元，以往采用如下对策定期更换喷嘴，或者操作人员通过视觉识别来检测滴下到基板上的液晶的状态来进行喷嘴的更换等。然而，在定期更换的方法中，存在即使是正常的喷嘴也要更换的情况，成本会变高。在操作人员视觉识别的方法中，无法避免看漏等失误。为了消除这种问题，申请人提出了专利文献1(国际公开W02006/075462号公报) 所示的液晶显示面板的制造装置。在专利文献1中，为了早期发现液晶滴下注射器的异常， 对滴下的基板的表面上的液晶进行拍摄，解析通过拍摄得到的图像，由此检测液晶滴下注射器的异常。具体地说，将拍摄到的液晶的滴下面积与基准值面积进行比较，根据比较结果来检测液晶滴下注射器有无异常。现有技术文献专利文献专利文献1 国际公开W02006/075462号公报

发明内容
发明要解决的问题在专利文献1中，从液晶滴下注射器定期地滴下液晶，每当滴下液晶时都进行拍摄，将拍摄图像所指出的基板上的“滴下的1个液晶所占的面积”与滴下了适量的液晶的情况下的基准值面积进行比较。然后，根据比较结果检测是否滴下了适量的液晶，根据检测结果检测液晶滴下注射器的异常。这样，在专利文献1的方法中，能根据每一次滴下从喷嘴喷出的液晶的滴(以下也称为液滴)的量来检测液晶滴下注射器的异常，但是难以根据从喷嘴喷出液晶的状况来进行异常检测。例如当喷嘴的喷出口部分地堵塞时，在从喷嘴喷出的时刻，本来应该是1个的液滴发生破裂，其结果是，在所滴下的基板表面存在多个液滴。在这种情况下，在基板表面的液滴的拍摄图像中会含有2个以上的液滴的图像，用专利文献1的方法难以进行正确的异常判断。另外，例如当喷嘴的喷出口完全堵塞时，有时液晶不会滴下(以下称为未喷出)。 在这种情况下，在拍摄图像中不含有液滴的图像，因此在专利文献1的方法中，难以检测液滴破裂或者喷出空白的异常。用于解决问题的方案本发明的目的在于提供能正确地检测用于液晶滴下的喷出部的异常的液晶滴下装置和液晶滴下的监视方法。为了实现上述目的，根据发明的某个方面的液晶滴下装置具备液晶喷出部，其用于将液晶喷出并滴下到基板上；移动机构，其用于按照指示移动的信号使液晶喷出部移动； 以及液晶拍摄部，其追随液晶喷出部的移动而移动，输出拍摄到的图像数据，液晶拍摄部设于能与液晶喷出部的液晶喷出动作并行地拍摄从液晶喷出部喷出的液晶的位置，上述液晶滴下装置具备拍摄切换部，其相对于液晶喷出部切换液晶拍摄部的拍摄位置，以便拍摄随着移动机构的移动而从液晶喷出部喷出并滴下到基板上的液晶；图像处理部，其解析液晶拍摄部输出的图像数据；以及解析输出部，其输出按照图像处理部的解析结果的信息。优选拍摄切换部根据指示移动的信号来检测液晶喷出部的移动方向，根据检测出的移动方向切换液晶拍摄部的拍摄位置。优选液晶拍摄部包括多个拍摄装置，所述多个拍摄装置分别设于沿着液晶喷出部能够移动的方向的多个位置，拍摄切换部通过选择多个拍摄装置中的液晶喷出部的移动的后续位置的拍摄装置来切换拍摄位置。优选图像处理部根据图像数据来检测滴下到基板上的位置的液晶的状态。优选解析输出部包括比率检测部，所述比率检测部检测液晶的状态被检测为异常的次数相对于液晶滴下的次数的比率。优选图像处理部具有形状检测部，所述形状检测部根据图像数据来检测基板上的滴下位置的液晶的形状。优选形状检测部具有异形检测部，所述异形检测部根据图像数据来检测滴下位置的液晶是否为大致圆形形状。优选形状检测部具有分割检测部，所述分割检测部根据图像数据来检测滴下位置的液晶是否被分割为多个滴。优选图像处理部根据图像数据来检测滴下位置的液晶的有无。为了实现上述目的，按照该发明的其它方面，适用于从液晶喷出部将液晶喷出并滴下到基板时的液晶滴下的监视方法具备以下的步骤。监视方法具备如下步骤使液晶喷出部一边按照规定的轨道移动，一边将液晶喷出并滴下到基板上；使液晶拍摄部追随液晶喷出部的移动而移动，与液晶喷出部的液晶喷出动作并行地拍摄从液晶喷出部喷出的液晶，输出拍摄的图像数据；相对于液晶喷出部切换液晶拍摄部的拍摄位置，以便拍摄从移动的液晶喷出部喷出并滴下到基板上的液晶；以及解析图像数据，输出按照解析结果的信息。优选上述液晶喷出部具有液晶的喷出口，喷出口可自由装卸地设于液晶喷出部。发明效果根据本发明，相对于液晶喷出部切换液晶拍摄部的拍摄位置，以便拍摄从移动的液晶喷出部喷出并滴下到基板上的液晶，并且拍摄滴下的液晶，输出按照通过拍摄得到的图像数据的解析结果的信息，由此能迅速地提示用于正确地检测液晶滴下用的液晶喷出部的异常的信息。与液晶的滴下并行进行拍摄，输出其图像数据的解析结果，由此，操作人员基于解析结果能随液晶的滴下大致实时地确定液晶的滴下动作是否存在缺陷。


图1是实施方式的液晶滴下装置的概观图。图2是从上方向观察图1的液晶滴下装置的图。图3是说明实施方式的液晶滴下时的分注器的移动方向的图。图4A是说明实施方式的液晶的喷出动作的图。图4B是说明实施方式的液晶的喷出动作的图。图5是示出实施方式的分注器的概略侧面和相关电路的图。图6是说明实施方式的液晶滴下时的拍摄的图。图7是实施方式的液晶滴下装置的主要部分的功能构成图。图8是实施方式的液晶显示面板的制造工序的概略流程图。图9是说明实施方式的液晶显示面板的分断的图。图10是实施方式的液晶滴下时的流程图。
具体实施例方式下面参照

本发明的液晶滴下装置的实施方式。此外，在各图中对相同的构成要素附加相同的附图标记，不重复详细的说明。如图1和图2所示，本实施方式的液晶滴下装置10具备架台110 ；设置在架台 110上的基板工作台9;分注器Di (i = 1,2,3,…)，其具备作为与基板工作台9的表面相对的液晶的喷出口的喷嘴70;安装有分注器Di (i = 1，2，3，…)的引导棒11;以及安装有引导棒11的柱状物41。在此，引导棒11上安装有例如4个分注器D1、D2、D3和D4，但是分注器的个数不限于此。基板工作台9形成为平板状，彩色滤光片(Color Filter)的玻璃基板(以下称为 CF基板)8被搬入而载置于基板工作台9。在CF基板8上，设有用于使CF基板8与后来贴合的TFT(Thin Film Transistor 薄膜晶体管)基板保持间隔的隔离物。基板工作台9固定并保持所载置的CF基板8。在CF基板8的表面上，从与该表面相对设置的分注器Dl D4的喷嘴70滴下必要量的液晶(液状物质)。基板工作台9假定为由正交的2个的X轴和Y轴规定的XY 二维的坐标平面。在此，将X轴延伸的方向称为X方向，将Y轴延伸的方向称为Y方向。
柱状物41以门型在X方向上跨基板工作台9安装在架台110上。柱状物41由架台110的内部所具备的马达等柱状物驱动部111驱动，能沿着在Y方向上延伸的轴自由移动。分注器Dl D4通过与移动机构对应的移动部43分别独立地安装于引导棒11，所述引导棒11在X方向上延伸地安装于柱状物41的侧面。移动部43能利用内置于引导棒 11的马达机构沿着滑动棒11自由移动。其结果是，安装于移动部43的分注器Dl D4能在滑动棒11上在X方向上滑动移动。因此，柱状物41在Y方向上移动，并且移动部43在 X方向上移动，由此分注器Dl D4能在CF基板8上在X方向和Y方向上自由移动。在此，如图3所示，在保持于基板工作台9的CF基板8上，假定行进的分注器Di 为10列。在图3中，通过将上述柱状物41在Y方向上的移动和分注器Dl D4在X方向上的移动组合来使分注器Dl D4移动，并且在CF基板8上的例如4个滴下区域N中以等间隔滴下液晶P。在CF基板8上决定的滴下区域N的个数不限于图3的4个，一般为多个即可。在图3中，对于各分注器Dl D4，使该分注器在滑动棒11中向X方向移动，由此均等分配CF基板8的滴下区域N的各2列。对分注器Dl分配第1列和第2列，对分注器 D2分配第3列和第4列，对分注器D3分配第5列和第6列，对分注器D4分配第7列和第8 列。作为最后的2列的第9列和第10列成为没有被均等分配的剩下的列。在分配后使柱状物41在Y方向上往返移动。由此，分注器D4—边按图3的箭头的轨道移动一边滴下液晶。其它分注器Dl D3也一边按同样的轨道移动一边对分配的列滴下液晶。当往返移动完成时，对通过滑动棒11移动的分注器D3和D4分别分配作为剩下的滴下区域第9列和第10列。分配之后，柱状物41在Y方向上移动，由此利用分注器D3和 D4将液晶滴下到剩下的第9列和第10列。在向该第9列和第10列滴下时，其它分注器Dl 和D2中止液晶的滴下，或者被分配未图示的其它滴下区域N(尚未滴下液晶的区域或者上述喷出空白存在的区域)来进行液晶的滴下。如上所述，一边使分注器Dl D4在X方向和Y方向上移动，一边在位于各滴下区域N的时刻从分注器Di的喷嘴70喷出规定量的液晶，由此对CF基板8上的区域N滴下液
曰
曰曰°在此，参照图4说明从分注器Di的喷嘴70喷出规定量的液晶的机构。分注器Di的喷嘴70利用中空的液晶供给管23与存储液晶的液晶供给装置22连接。在液晶供给管23的一端可自由装卸地安装有喷嘴70，另一端连通到液晶供给装置22 的液晶罐内。对液晶供给管23的液晶的供给基本通过利用气体对液晶供给装置22的液晶罐内加压来实现。利用气体加压的液晶罐内的液晶面上升，用液晶充满液晶供给管23的内部。在未滴下液晶的状态下，液晶到达喷嘴70的喷出口附近，但是利用表面张力处于不从喷出口滴下的状态。为了从喷嘴70的未图示的喷出口进行规定量的液晶的滴下，在液晶供给管23的中途连接有气缸24和在气缸24内移动的活塞25。活塞25连接着控制器26。控制器26是步进电机。步进电机的轴连接着活塞25。当控制器26的步进电机被提供指示信号39时，
7相应地在规定方向上转动规定角度，然后，在相反方向上转动规定角度。与该转动连动，活塞25从图4B的位置移动到在气缸24内液晶蓄积的后退的位置(图4A)。然后，活塞25从图4A的位置移动到将蓄积在气缸24内的液晶经过液晶供给管23向喷嘴70侧挤出的位置 (图4B)。由此，蓄积在气缸24中的规定量的液晶从液晶供给管23被挤出，从喷嘴70的喷出口滴下。这样，按指示信号39用控制器26控制活塞25的移动量，由此能对液晶滴下区域 N滴下规定量的要滴下的液晶。图5示出分注器Di的外围电路。图6示出分注器Di的构成。图5示意性地示出从箭头VI方向观察图6的分注器Di的状态。参照图5和图6，本实施方式的分注器Di — 体地具备与用于通过喷出来滴下液晶的液晶喷出部对应的液晶滴下注射器2(以下单称为注射器2)、与拍摄装置对应的CCD (Charge Coupled Device 电荷耦合器件)照相机4A和 4B以及照明装置3A和3B。作为液晶拍摄部的CXD照相机4A和4B安装于注射器2，配置在能与来自注射器2的液晶的喷出动作并行进行拍摄的位置。在注射器2的下方(CF基板8的表面方向)的端部形成有喷嘴70。喷嘴70与要配置的CF基板8相对配置。在注射器2的下方形成有用于配置CF基板8的基板工作台9。在注射器2的侧方隔着注射器2相对配置有CXD照相机4A和照明装置3A的组与 CXD照相机4B和照明装置3B的组。CXD照相机4A和4B垂直向下拍摄，由此拍摄在CF基板8的表面滴下的液晶的图像。照明装置3A和3B形成为照亮拍摄的区域的光源，包括例如 LED (Light Emitting Diode 发光二极管)。在本实施方式中，CXD照相机4A和4B以及照明装置3A和3B安装于液晶滴下注射器2。CXD照相机4A和照明装置3A形成为能调整与注射器2的间隔。CXD照相机4B和照明装置3B也同样。CXD照相机4A和4B以及照明装置3A和3B形成为与注射器2 —体地移动。CXD照相机4A和4B —边追随注射器2移动的轨道一边拍摄紧前液晶滴下的位置。在本实施方式中，照明装置3A和3B以及CXD照相机4A和4B安装为配置在紧前滴下液晶而成的液晶6b的正上方，使得能在从喷嘴70滴下液晶6a时，并行即实时地拍摄作为紧前滴下的液滴的液晶6b。照明装置3A和3B配置于照亮液晶6b的位置，使得用于拍摄的足够的反射光射入CXD照相机4A和4B。按分注器Di的移动方向，在CXD照相机4A和照明装置3A的组以及CXD照相机4B 和照明装置3B的组中，选择性地对一方提供指示信号35。由此，按分注器Di的移动方向， 一个组被能动化，另一个组停止动作(非能动化)。CCD照相机4B和照明装置3B的组在向与图6的Y方向对应的箭头32朝向的方向移动时被能动化。CCD照相机4A和照明装置3A 的组在向与图6的Y轴延伸的方向对应的箭头32朝向的方向相反方向移动时被能动化。这样，CXD照相机4A和照明装置3A的组以及CXD照相机4B和照明装置3B的组相对于分注器Di的注射器2前进的方向配置在后侧，形成为能拍摄在滴下的液晶6a的相邻的液晶滴下区域N的内侧滴下的液晶6b。参照图5，CXD照相机4A和4B电连接到具有图像处理功能的计算机5。计算机5 具备CPU (Central Processing Unit 中央处理器)51 ；用于保存程序、数据的存储器53 ； 用于输入操作人员的指示等从外部提供的信息的输入部54 ；用于输入由CCD照相机4A或者4B拍摄的图像数据37的输入I/F (Interface 接口)52 ；以及输出部55。输出部55包括通过向外部输出图像数据的解析结果等信息来进行报告的LED、显示器等显示部、声音输出部或者打印部等。计算机5与异常检测部和报告部对应。计算机5将输入的图像数据37暂时保存于存储器53，按存储器5的规定程序对保存的图像数据37进行图像处理。按图像处理的结果检测滴下的液晶的形状的异常，通过输出部阳报告基于检测结果的信息。与注射器2对应的分注器Di电连接到与计算机相当的定位控制器1。定位控制器 1具有移动信号生成部10A、照相机切换部IOB和喷出信号生成部10C。这些部分用程序或者电路实现。移动信号生成部IOA根据用如图3的箭头所示的XY坐标面的坐标位置指示的规定的移动图案的数据，生成用于使分注器Di移动的指示信号。生成的指示信号包括为了使分注器Di沿着引导棒11移动而提供给移动部43的指示信号36 (指出移动方向和移动量)和对与用于使引导棒11自身移动的移动机构对应的柱状物驱动部111提供的指示信号38 (指出移动方向和移动量)。通过输出指示信号36和38，能使与注射器2对应的分注器Di移动到按规定的移动图案的要滴下的位置。照相机切换部IOB与切换拍摄部的拍摄切换部对应。具体地说，输入移动信号生成部IOA生成的信号，对输入的信号进行解析，根据解析结果检测分注器Di的移动方向，按检测出的移动方向，对于分注器Di，为了使CCD照相机4A和照明装置3A的组和CCD照相机4B和照明装置:3B的组中的任一个能动化，仅对要能动化的组输出指示拍摄和照明的点亮的指示信号35。指示信号35的输出定时与定位控制器1从柱状物驱动部111和移动部 43输入已完成按指示信号38和36的移动的意思的检测信号的定时(即检测出注射器2被配置在要滴下的位置的定时)同步。由此能相对于注射器2切换液晶拍摄部(CCD照相机 4A、4B)的拍摄位置，以随着移动机构的移动来拍摄滴下到CF基板8上的液晶。喷出信号生成部IOC将指示信号39输出到控制器沈。指示信号39的输出定时与定位控制器1从柱状物驱动部111和移动部43输入已完成按指示信号38和36的移动的意思的检测信号的定时(即检测出注射器2被配置在要滴下的位置的定时)同步。图7示出了本实施方式的计算机5的功能构成。参照图7，计算机5具备与输入 I/F52对应的图像输入部100、与CPU51对应的图像处理部101、发生率检测部105、发生率判断部106、与输出部55对应的报告部107以及与存储器53对应的存储部108。图7的各部中的一部分或者全部利用存储器53的程序、数据或者电路实现。图像处理部101根据图像输入部100所输入的图像数据37进行图像处理，由此检测滴下的液滴的异常。具体地说，包括检测液滴的破裂的分割检测部102、检测喷出空白的空喷检测部103和异形检测部104。分割检测部102检测液滴是否破裂(例如参照图6的液晶6c)。具体地说，根据拍摄了紧前滴下的液滴的图像数据37所指出的灰度级水平，在图像内将灰度级水平的变化较大的部分检测为轮廓。根据轮廓检测的结果，在检测出2个以上封闭的单独分离的轮廓区域的情况下，判断为液滴破裂了。或者，将大致圆形的正常液滴(例如参照图6的液晶6b)的图像数据作为标准的图案数据预先保存到存储部108。将拍摄的图像数据37与从存储部108读出的标准图案数据核对(图案匹配)，根据比较结果在图像数据37中检测出2个以上标准图案(大致圆形状)的情况下，判断为液滴破裂了。空喷检测部103对拍摄的图像数据37进行基于上述灰度级水平的轮廓检测，在未检测出轮廓的情况下检测为从喷嘴70的喷出空白。异形检测部104检测虽然液滴未破裂但是否是上述大致圆形状(例如参照图6的液晶6d)。具体地说，根据拍摄了紧前滴下的液滴的图像数据37所指出的灰度级水平，在图像内将灰度级水平的变化较大的部分检测为轮廓。根据轮廓检测的结果，在判断为凸凹的轮廓的情况下，判断为液滴不是大致圆形状，即为异形。此外，液滴的异常不限于上述分割、喷出空白、异形等，也可以根据其它形状的检测来辨别异常。另外，用于识别形状的图像数据的处理方法不限于上述处理过程。当利用分割检测部102、空喷检测部103和异形检测部104中的任一个检测出液滴形状的异常时，图像处理部101输出异常检测信号。发生率检测部105对应于比率检测部，比率检测部对液晶的状态被检测为异常的次数相对于液晶的滴下的总次数的比率进行检测。具体地说，对在规定期间内输入异常检测信号的次数进行计数，根据计数值检测异常的发生率。例如，在每次滴下时进行1次拍摄即每次滴下时输入1个图像数据的情况下，能通过异常发生率=(在规定期间内输入异常检测信号的次数)/(在规定期间内输入图像数据37的次数)来算出。此外，该规定期间也可以是操作人员操作输入部M来可变地指定的期间，或者也可以是从对1个CF基板8的液晶滴下开始起到结束为止的期间。在此，假定在规定期间内输入图像数据37的次数按CF 基板8的尺寸预先决定。也可以通过异常发生率=(在规定尺寸的区域内的液晶滴下中输入了异常检测信号的次数)/(在规定尺寸的区域内的液晶滴下中输入图像数据37的次数)来算出。该规定尺寸也可以按CF基板8的尺寸预先决定，或者也可以是操作人员能操作输入部讨来
变更
发生率判断部106读出预先保存于存储部108的、与上述规定期间对应的基准发生率的数据109，将读出的数据109所指出的基准发生率和发生率检测部105检测出的异常发生率进行比较，对报告部107输出基于比较结果的信息。例如，当判断为(基准发生率> 检测出的异常发生率)时，对报告部107输出“无异常”的意思的输出信号，当判断为(基准发生率<检测出的异常发生率)时，对报告部107输出“有异常”的意思的输出信号。报告部107根据从发生率判断部106提供的信号来进行LED的点亮控制、对显示器的消息显示、声音输出、打印输出。由此，能对操作人员告知液滴的异常发生较频繁、怀疑是喷嘴70的磨耗等。在上述液滴的形状的异常检测中，只要在从分注器Di输入的图像数据37中含有该分注器Di的识别信息即可。换句话说，能针对分注器Di将液滴形状的异常检测结果附加指定分注器Di的识别信息来进行报告。由此，操作人员能迅速地确定异常的分注器Di。参照图5和图6说明液晶的滴下动作。以下的液晶滴下动作的说明能共同应用于分注器Di。首先，根据从定位控制器1提供的指示信号36和38，驱动分注器Di的移动部43 和引导棒驱动部所对应的柱状物驱动部111。引导棒11随着该驱动向与图6的Y轴延伸的
10方向对应的箭头32的方向移动。其结果是，分注器Di的注射器2移动，喷嘴70的喷出口将液晶6a配置在要滴下液晶的下一处的液晶滴下位置的正上方。然后，根据从定位控制器1提供的指示信号39，控制器沈如图4A和图4B说明的那样使活塞25的位置移动。由此，从注射器2的喷嘴70滴下液晶6a。随该滴下实时地， 按从定位控制器1提供的指示信号35利用CXD照相机4B和照明装置:3B拍摄液晶6b。也就是说，如箭头34所示利用照明装置:3B照亮在紧前的位置已经滴下到玻璃基板8的液晶 6b，并且利用在如箭头33所示的拍摄方向上安装的CCD照相机4B进行拍摄(参照图6)。然后，利用指示信号38使柱状物110移动，使连接到滑动棒11的分注器Di移动到要滴下液晶的下一处的位置，在移动后的位置，与上述同样，进行液晶6a的滴下和实时地拍摄在紧前的位置滴下的液晶6b。这样，一边使引导棒11移动一边对连接到引导棒11的分注器Di重复液晶6a的滴下和液晶6b的拍摄，由此如图3所示对分配给分注器Di的往路的列完成液晶的滴下。然后，为了对返路的列进行液晶滴下，移动信号生成部IOA生成并输出指示信号 36和38。分注器Di利用指示信号36移动，配置在分配的下一处的列。另外，柱状物110 利用指示信号38开始向与图6的箭头32方向相反的方向移动。一边在返路上移动一边进行上述液晶的滴下和拍摄。注射器2的移动方向为与往路的移动方向相反的方向，由此，拍摄用的CCD照相机和照明装置的组利用指示信号35从在往路上被能动化的CCD照相机4B 和照明装置3B的组切换为CXD照相机4A和照明装置3A的组。由此，CXD照相机4A和照明装置3A的组被能动化，进行拍摄。在上述液晶滴下的过程中，使分注器Di的在X方向上的位置固定，一边使引导棒 11在Y方向上(沿着列)移动一边滴下液晶，但是也可以如下那样，一边使分注器Di在X 方向上(沿着行)移动一边滴下。具体地说，也可以一边使分注器Di向图6的箭头31示出的(X方向)移动一边断续地重复滴下和实时的拍摄，一旦对1行完成液晶的滴下和拍摄， 使引导棒11向箭头32示出的Y方向移动1行。由此将分注器Di配置于下一行。在配置后，重复分注器Di的液晶6a的滴下和沿着箭头31示出的引导棒11的移动，由此能在下一行滴下液晶。重复这种过程，由此如图3那样完成CF基板8上的液晶的滴下和拍摄。然后，参照图8的流程图说明本实施方式的液晶滴下的装置和使用该监视方法的液晶显示面板的制造方法的概略工序。首先，在步骤S3中，将CF基板8搬入基板工作台9的表面上。此时，CF基板8的里面与基板工作台9的表面相接。然后，在步骤S5中，将隔离物配置在CF基板8的表面上，涂敷密封材料。在下一个步骤S7中，按上述过程利用液晶滴下装置10将液晶滴下到CF基板8上的密封部的内部。在下一个步骤S9中，将TFT基板搬入涂敷有密封材料的CF基板8上，在步骤Sll 中使CF基板8和TFT基板贴合，由此得到贴合基板。然后，在步骤S13中，对贴合基板以规定时间照射紫外光，由此使密封材料固化。 在步骤S15中，密封固化后的贴合基板被从基板工作台9搬出。密封固化后，贴合基板被贴附偏光板等，分断为多个面板。对分断得到的各面板进行驱动电路的连接等。由此制造液晶显示面板。例如，在本实施方式中，利用本实施方式的
11液晶滴下装置10对1个CF基板8滴下液晶，由此，CF基板8如图9那样被分断为用粗框包围的4个面板，制造4个液晶显示面板。下面参照图10详细说明本实施方式的液晶滴下处理(步骤S7)，由此说明本实施方式的液晶滴下的监视方法。假定CF基板8被搬入液晶滴下装置10内，载置于基板工作台9上。首先，在步骤S21中，定位控制器1的移动信号生成部IOA生成并输出指示信号36 和38。柱状物41按指示信号38向Y方向移动，并且分注器Di按指示信号36沿着滑动棒 11向X方向滑动移动。由此，分注器Di被配置在图2和图3示出的要进行液晶滴下的位置的正上方。然后，在步骤S23中，从喷出信号生成部IOC对与配置在要进行液晶滴下的位置的正上方的分注器Di对应的控制器沈提供指示信号39。控制器沈响应指示信号39被驱动，活塞25移动，随之，液晶从注射器2的喷嘴70的喷出口喷出，滴下到CF基板8的表面。随上述液晶的滴下实时地在步骤S 25中进行拍摄。也就是说，利用照相机切换部 IOB决定分注器Di的CXD照相机4A和照明装置3A的组与CXD照相机4B和照明装置3A的组中要能动化的组，仅对决定的组输出指示拍摄和照明的指示信号35。在此，如上所述，照相机切换部IOB按此时移动信号生成部IOA输出的指示信号36和38所指出的移动方向决定要能动化的组。在此，假定如图6所示CXD照相机4B和照明装置;3B的组被能动化。CXD 照相机4B如图6那样拍摄紧前滴下的CF基板8上的液晶6b，由此输出图像数据37。图像数据37通过输入I/F52提供给计算机5。在计算机5中，利用图像输入部100对图像数据37进行噪声除去等，提供给图像处理部101。在图像处理部101中，执行基于图像数据37的图像处理(步骤S27 ^)。图像数据37含有对应的分注器Di的识别信息，因此通过图像处理检测出的液滴的异常的有无与该分注器Di的识别信息一起通过报告部107输出。因此，操作人员能通过基于随液滴实时地拍摄的图像数据的异常检测，迅速地确定具有异常的喷嘴70的分注器Di，更换喷嘴 70。关于异常检测，具体地说，在步骤S27中，分割检测部102按前述过程处理图像数据37，检测有无液滴的破裂(参照图6的液晶6c)。另外，在步骤S28中，空喷检测部103 检测在图像数据37中有无液晶的图像。另外，在步骤S29中，异形检测部104按前述过程处理图像数据，检测液滴是否是与大致圆形形状不同的形状(参照图的液晶6d)。在此，假定液滴的形状为与大致圆形形状(图6的液晶6b)对应的正常形状和异常(喷出空白、图6的液晶6c和液晶6d中的任一种)中的任一种相应。分割检测部102、空喷检测部103和异形检测部104的检测信号被提供给发生率检测部105。发生率检测部105按每个分注器Di内置有计数器，当输入来自分割检测部102、 空喷检测部103和异形检测部104的分注器Di的异常检测信号时，对应的计数器的计数值增加1。然后，当移动信号生成部IOA检测为已经生成完要按在如图3的箭头所示的XY坐标面的坐标位置指示的规定移动图案数据生成的指示信号38和36时，即，在对1个CF基板8滴下液晶结束的情况下(在步骤S30中为是)，处理转移到后述的步骤S31和S33。在没有检测为液晶滴下结束的期间(在步骤S30中为否)，处理返回步骤S21，以后的处理同样重复。在步骤S31中，发生率检测部105用与分注器Di对应的计数器的计数值(异常检测信号的输入次数)对分注器Di算出前述异常发生率=(在规定期间内输入了异常检测信号的次数)/(在规定期间内输入图像数据37的次数)。在算出结束后，使计数的值为0。在步骤S32中，发生率判断部106读出预先保存于存储部108的与上述规定期间对应的基准发生率的数据109，判断(基准发生率>检测出的异常发生率)的条件是否成立。当判断为成立时，对报告部107输出“无异常”的意思的输出信号，当判断为(基准发生率<检测出的异常发生率)时，对报告部107输出“有异常”的意思的输出信号。由此， 用于检测从分注器Di的喷嘴70滴下的液晶的状态的一系列处理结束。在有异常的报告内容中，含有对应的分注器Di的识别信息。由此，操作人员能迅速并且正确地确定有异常要更换的喷嘴70是哪个分注器Di。并且，能将确定的分注器Di 的喷嘴70更换为正常的喷嘴。在本实施方式中，为了检测喷嘴70的异常而进行图像处理的解析的图像数据37 是通过拍摄滴下到CF基板8上的状态的液晶而取得的。因此，能不受喷出的瞬间的液晶的形状、喷出(滴下)速度的左右而可靠地取得用于解析的图像数据37。(其它实施方式)上述图像数据37也可以是运动图像，也可以是静止图像。一般在随着移动机构的液晶的滴下间隔较短的情况下，希望是运动图像，以可靠地捕捉液晶的图像。在上述实施方式中，如图5和图6所示，分注器Di在注射器2的侧壁安装有2组 CCD照相机和照明装置的组，按分注器Di的移动的方向仅使任一组能动化，由此切换拍摄液晶的照相机，但是照相机切换的方法不限于此。例如，仅在1个注射器2的侧壁安装有CCD照相机和照明装置的组，使其能沿着注射器2的侧壁滑动。并且，按分注器Di的移动的方向使CCD照相机和照明装置的组的位置沿着注射器2的侧壁滑动移动。由此，CCD照相机和照明装置的组相对于分注器Di的注射器2行进的方向配置在后侧，能拍摄在滴下的液晶6a的紧前滴下的液晶6b。发生率检测部105也可以按异常的种类，即针对液滴破裂、喷出空白和异形分别独立地对检测信号进行计数，独立地算出异常发生率，根据算出结果独立地判断并报告发生率。关于分注器Di，也可以检测喷嘴70的更换频度(在某个固定期间内更换的次数)，当更换频度超过规定值时，判断为分注器Di的喷嘴70以外的部件有存在异常的可能性，从报告部107报告该意思。在检测出异常的情况下，也可以通过报告部107将按对应的图像数据37的图像显示于画面，对操作人员视觉地报告分注器Di的识别信息以及滴下的液晶的异常(形状、空白)。如上所述，本次公开的上述实施方式在所有方面均为举例说明，而不是限定的。本发明的技术范围由权利要求划定，还包括与权利要求的记载均等的含义和范围内的全部变更。附图标记说明10液晶滴下装置，2液晶滴下注射器，3A JB照明装置，4A、4B CCD照相机，8CF基板，IOA移动信号生成部，IOB照相机切换部，IOC喷出信号生成部，11滑动棒，22液晶供给装置，24注射器，25活塞，26控制器，41柱状物，43移动部，70喷嘴，101图像处理部，102分割检测部，103空喷检测部，104异形检测部，105发生率检测部，106发生率判断部，107报告部，111柱状物驱动部，Di、Dl、D2、D3、D4分注器。
权利要求
1.一种液晶滴下装置(10)，具备液晶喷出部(2)，其用于将液晶喷出并滴下到基板(8)上； 移动机构(43，111)，其用于按照指示移动的信号使上述液晶喷出部移动；以及液晶拍摄部(4A，4B)，其追随上述液晶喷出部的移动而移动，输出拍摄的图像数据， 上述液晶拍摄部设于能与上述液晶喷出部的上述液晶喷出动作并行地拍摄从上述液晶喷出部喷出的上述液晶的位置， 上述液晶滴下装置(10)具备拍摄切换部(IOB)，其相对于上述液晶喷出部切换上述液晶拍摄部的拍摄位置，以便拍摄随着上述移动机构的移动而从上述液晶喷出部喷出并滴下到上述基板上的上述液晶； 图像处理部(101)，其解析上述液晶拍摄部输出的上述图像数据；以及解析输出部(105，106，107)，其输出按照上述图像处理部的解析结果的信息。
2.根据权利要求1所述的液晶滴下装置，上述拍摄切换部根据上述指示移动的信号来检测上述液晶喷出部的移动方向，根据检测出的上述移动方向切换上述液晶拍摄部的拍摄位置。
3.根据权利要求1所述的液晶滴下装置，上述液晶拍摄部包括多个拍摄装置，所述多个拍摄装置分别设于沿着上述液晶喷出部能够移动的方向的多个位置，上述拍摄切换部通过选择上述多个拍摄装置中的上述液晶喷出部的移动的后续位置的拍摄装置来切换上述拍摄位置。
4.根据权利要求1所述的液晶滴下装置，上述图像处理部根据上述图像数据来检测滴下到上述基板上的位置的上述液晶的状态。
5.根据权利要求4所述的液晶滴下装置，上述解析输出部包括比率检测部(105)，所述比率检测部(105)检测上述液晶的状态被检测为异常的次数相对于上述液晶滴下的次数的比率。
6.根据权利要求4所述的液晶滴下装置，上述图像处理部具有形状检测部(102，104)，所述形状检测部(102，104)根据上述图像数据来检测上述基板上的滴下位置的液晶的形状。
7.根据权利要求6所述的液晶滴下装置，上述形状检测部具有异形检测部(104)，所述异形检测部(104)根据上述图像数据来检测上述滴下位置的液晶是否为大致圆形形状。
8.根据权利要求6所述的液晶滴下装置，上述形状检测部具有分割检测部(102)，所述分割检测部(102)根据上述图像数据来检测上述滴下位置的液晶是否分割为多个滴。
9.根据权利要求4所述的液晶滴下装置，上述图像处理部根据上述图像数据来检测上述滴下位置的液晶的有无。
10.一种液晶滴下的监视方法，是从液晶喷出部(2)将液晶喷出并滴下到基板(8)时的液晶滴下的监视方法，具备如下步骤使上述液晶喷出部一边按照规定的轨道移动，一边将液晶喷出并滴下到基板(8)上；使液晶拍摄部(4A，4B)追随上述液晶喷出部的移动而移动，与上述液晶喷出部的上述液晶喷出动作并行地拍摄从上述液晶喷出部喷出的上述液晶，输出拍摄的图像数据；相对于上述液晶喷出部切换上述液晶拍摄部的拍摄位置，以便拍摄从移动的上述液晶喷出部喷出并滴下到上述基板上的上述液晶；以及解析上述图像数据，输出按照解析结果的信息。
全文摘要
具备注射器(2)，其用于将液晶滴下到CF基板(8)上；移动机构，其用于使注射器(2)移动；以及CCD照相机(4A、4B)，其一边追随注射器(2)的移动而移动，一边输出拍摄的图像数据。CCD照相机(4A、4B)设于能与喷出动作并行地拍摄从注射器(2)喷出的液晶的位置。相对于注射器(2)切换CCD照相机(4A、4B)的拍摄位置，以便能拍摄注射器(2)一边移动一边滴下到CF基板(8)上的液晶。计算机(5)解析拍摄并输出的图像数据(37)，输出解析结果。
文档编号B05C11/00GK102460289SQ20108002272
公开日2012年5月16日 申请日期2010年3月2日 优先权日2009年5月25日
发明者新原康弘 申请人:夏普株式会社