专利名称：成膜装置和成膜方法
技术领域：
本发明涉及成膜装置和成膜方法，特别涉及用喷墨方式对基板涂敷溶液的成膜装置和成膜方法。而且，本发明涉及用喷墨方式形成液晶面板的取向膜等的成膜装置和成膜方法。此外，本申请主张以2010年3月26日提出申请的日本专利申请2010-73423号为基础的优先权，该申请的全部内容作为参照被编入本说明书中。
背景技术：
作为液晶显示装置的构成部件的液晶面板具有使一对基板在确保规定间隔的状态下相对的结构。在该基板之间的间隔中封入包括液晶分子的液晶层。另外，在两基板的液晶层侧的表面形成有使液晶分子取向的取向膜。
该取向膜通过向基板表面涂敷包括聚酰亚胺的溶液来形成。作为向基板涂敷聚酰亚胺溶液的方法，除了旋涂法和喷雾法以外，提出了喷墨法(例如，专利文献I等)。图I的(a)和(b)示出在用喷墨法形成取向膜时所使用的喷墨涂敷装置(成膜装置)1000。在图I的(a)和(b)中示出的成膜装置1000是在专利文献I中公开的装置。在此，图I的(a)示出成膜装置1000的侧面，另一方面，图I的(b)示出成膜装置1000的正面。在图I的(a)和(b)中示出的成膜装置1000包括具有脚102的基座101 ;和设置在基座101的上面的装配板103。在装配板103上设有引导构件104，并且，在引导构件104的上面，大致矩形板状的搬运带105经由倒U字状的滑动构件106被保持为能滑动。搬运带105与未图示的驱动装置连接。可以通过使该驱动装置工作来沿着引导构件104驱动搬运带105。在搬运带105的上面，玻璃基板等基板W被保持为能装卸。并且，基板W被保持于搬运带105的上面，沿着基座101的长边方向被搬运。在基座101的长边方向的中途部，以跨越一对引导构件104的方式立设门型支撑体107。在该支撑体107的两侧上部，水平地架设有装配构件108。装配构件108设有沿着与搬运带105正交的方向驱动的头工作台131。此外，头工作台131被驱动源132驱动。在头工作台131的一个侧面，喷墨方式的多个头109相对于基板W的搬运方向配置为一列。此外，头109具有图2的(a)和(b)所示的结构。图2的(a)是头109的截面图，图2的(b)是头109的仰视图。各头109具备头主体111。头主体111具有从上面侧连通到下面侧的开口部112，其下面开口被可挠板113封闭。此外，可挠板113被喷嘴板114覆盖，由此，在头主体111的下面侧，在可挠板113和喷嘴板114之间形成有液室115。在头主体111的长边方向的一端部形成有连通到液室115的供给孔117。例如，形成取向膜或抗蚀剂等功能性薄膜的溶液从该供给孔117经过供给管117a向液室115供给。由此，液室115内被溶液充满。在喷嘴板114中，如图2的(b)所示，沿着与头主体111的长边方向正交的宽度方向的大致中心部以规定间隔排列有多个喷嘴116。另外，在可挠板113的上面，与喷嘴116相对地设有压电元件118。并且，多个头109以喷嘴116沿着与基板W的搬运方向正交的宽度方向成为恒定间隔的方式配置。由此，在与基板W的搬运方向正交的宽度方向的整个长度上相邻的头119的喷嘴板114上形成的喷嘴116的间隔被设定为恒定。形成于头109的相邻的喷嘴116的间隔D比喷嘴116的直径!■大(在此，D = 4r)，因此，为了对基板W的整个面涂敷溶液，一边在宽度方向上改变从喷嘴116喷射的位置，一边执行多次(在此是4次)溶液的喷射。现有技术文献专利文献专利文献I :特开2009-148765号公报
发明内容
发明要解决的问题在专利文献I中公开的成膜装置1000可以通过一边使基板W移动多次(例如，4次或2个往返)，一边喷射涂敷来自喷嘴116的溶液来在基板W的表面形成薄膜。但是，有时成膜装置1000的全部喷嘴116不是每次都确实地喷射溶液。具体地说，如图3所示，在用成膜装置1000形成薄膜(例如取向膜)210的情况下，有时在基板200的表面产生未良好地进行涂敷的区域220。其原因是，在来自喷嘴116的喷射中存在缺陷，产生未良好地形成薄膜210的区域220。为了不发生该缺陷，头109的全部喷嘴116每次确实地喷射溶液是理想的。另一方面，随着液晶面板的大型化、量产化，液晶面板用的玻璃基板(母玻璃)逐年大型化，I个边超过lm(例如,从IlOCtamX 1300mm(第5代基板)到2880_X 3130mm(第10代基板))。并且，在该大型基板的整个面中，实现没有一个喷嘴116的喷射错误在技术上是极困难的。因此，在用喷墨法形成取向膜的液晶面板的制造工序中，实际情况是产生如图3所示的、在基板200的表面未进行涂敷的区域220。本发明是鉴于该点而完成的，其主要目的在于提供在用喷墨方式进行涂敷的方法中能缓和或抑制未涂敷区域的产生的成膜装置或成膜方法。用于解决问题的方案本发明的成膜装置的特征在于，用喷墨方式对基板涂敷溶液，具备头部，其包括对上述基板排出上述溶液的喷嘴；载置台，其保持上述基板；移动装置，其使上述头部和上述载置台相对地移动；以及控制装置，其控制上述移动装置的移动，上述头部具有横贯载置在上述载置台上的上述基板的长度，上述控制装置构成为执行以下步骤第I步骤(a)，将上述头部配置在上述基板的中央区域的上方；第2步骤(b)，由上述移动装置使上述头部在上述基板的上方按照第I方向移动到上述基板的第I端部；第3步骤(c)，在上述第2步骤(b)后，使上述头部按照与上述第I方向相反的第2方向从上述基板的第I端部移动到与该第I端部相反的一侧的第2端部；以及第4步骤(d)，在上述第3步骤(c)后，使上述头部按照上述第I方向从上述第2端部移动到上述基板的上述中央区域。在某优选的实施方式中，上述基板是液晶面板用的母玻璃基板，上述溶液包括构成取向膜的材料。
在某优选的实施方式中，上述基板的形状是具有长边和短边的长方形，上述第I方向是沿着上述长边所延伸的方向的方向。在某优选的实施方式中，在上述第2步骤(b)和上述第3步骤(C)中，在上述基板中的上述头部的移动所重叠的区域中，一边以与在上述第2步骤(b)中排出的上述溶液的至少一部分重叠的方式在上述第3步骤(c)中排出上述溶液，一边使上述头部移动。在某优选的实施方式中，在上述第3步骤(C)和上述第4步骤(d)中，在上述基板中的上述头部的移动所重叠的区域中，一边以与在上述第3步骤(C)中排出的上述溶液的至少一部分重叠的方式在上述第4步骤(d)中排出上述溶液，一边使上述头部移动。本发明的成膜方法用喷墨方式对基板涂敷溶液，包括 第I工序(a)，将包括对上述基板排出上述溶液的喷嘴的头部配置在基板的中央区域的上方；第2工序(b)，使上述头部在上述基板的上方按照第I方向移动到上述基板的第I端部；第3工序(c)，在上述第2 工序(b)后，使上述头部按照与上述第I方向相反的第2方向从上述基板的第I端部移动到与该第I端部相反的一侧的第2端部；以及第4工序(d)，在上述第3工序(c)后，使上述头部按照上述第I方向从上述第2端部移动到上述基板的上述中央区域。在某优选的实施方式中，上述基板是液晶面板用的母玻璃基板，上述溶液包括构成取向膜的材料，上述基板的形状是具有长边和短边的长方形，上述第I方向是沿着上述长边所延伸的方向的方向。在某优选的实施方式中，一边以与在上述第2工序(b)中排出的上述溶液的至少一部分重叠的方式在上述第3工序(C)中排出上述溶液，一边使上述头部移动，且一边以与在上述第3工序(c)中排出的上述溶液的至少一部分重叠的方式在上述第4工序(d)中排出上述溶液，一边使上述头部移动。发明效果根据本发明，在将头部配置在基板的中央区域的上方后，按照第I方向使头部移动到基板的第I端部，接着，按照第2方向使头部移动到基板的第2端部，之后，按照第I方向使头部移动到基板的上述中央区域。因此，在使头部从基板端移动的情况下，即使在易于产生溶液的平滑化(拉平)的第I端部附近或第2端部附近，在进行第一次排出的溶液的平滑化(拉平)前，可以执行第二次排出。其结果是，即使存在未执行第二次排出的部位，也可以抑制或缓和薄膜的形成不均区域的产生。
图I的(a)和(b)分别是喷墨涂敷装置1000的侧视图和主视图。图2的(a)和(b)分别是示出头109的构成的截面图和仰视图。图3是示出产生了未涂敷区域220的基板200的图。图4是用于说明2次扫描涂敷方法的图。图5的(a)至(C)是示出用2次扫描涂敷方法排出的液滴的图。图6的(a)至(d)是用于说明本发明的实施方式的成膜方法的工序俯视图。图7是用于说明本发明的实施方式的成膜方法的俯视图。图8的(a)和(b)是示出液滴状态的图。图9的(a)至(d)是用于说明本发明的实施方式的成膜方法的工序截面图。
图10的(a)至(d)是用于说明作为比较例的成膜方法的工序截面图。图11是示意地示出本发明的实施方式的头部50的底面的图。图12是用于说明本发明的实施方式的基板20的移动的一个例子的俯视图。图13是示意地示出本发明的实施方式的成膜装置100的图。
具体实施例方式本申请的发明者针对图3所示的基板200的薄膜210中的、产生未形成有薄膜210的区域220的原因进行了研究。一边参照图4和图5—边说明该原因。图4示出使包括排出溶液(液滴)的喷嘴的头部250移动，在基板200的表面形成薄膜的工序。另外，图5的
(a)至(c)示出从头部250的喷嘴排出的液滴被涂敷到基板200上的状态。
如图4所不,包括喷嘴的头部250 —边从喷嘴排出液滴,一边从基板200的一端(未图示)移动到基板200的另一端205b (I次扫描201)。接着，头部250折返而一边从喷嘴排出液滴一边从基板200的另一端205b向一端(未图不)移动(2次扫描202)。首先，在I次扫描201中，如图5的(a)所示，在基板200的表面排列从喷嘴排出的液滴211。下面，在2次扫描202中，如图5的(b)所示，对位于液滴211之间的区域排出液滴212。在此，当因为确定的原因(例如，压力不良、存在异物等喷嘴缺陷)而存在未排出液滴212的部位(215)时，在该部位(215)的表面未涂敷溶液。之后，如图5的(C)所示，在基板200的表面，液滴212位于液滴211之间，基板200的表面的大致整体被涂敷。但是，在2次扫描202中，未排出液滴212的部位(215)成为未适当地进行涂敷的区域(薄膜的形成不均)221，其结果是，成为图3的薄膜210的形成不均的区域(或未形成薄膜210的区域)220。此外，对I次扫描201、2次扫描202的2次移动进行了说明，但3次以上的移动(例如，在专利文献I中是4次移动)也是相同的。本申请的发明者为了不产生上述薄膜210的形成不均区域220而对不从喷嘴排出液滴的原因(例如，喷嘴周边存在异物等)进行研究且每天寻求其对策。但是，液晶面板用的母玻璃的尺寸是I个边就有I米以上，特别是在第10代母玻璃中，其尺寸是I个边就有约3米(例如，2880mmX3130mm)，因此，喷嘴的排出孔(小孔)的数量庞大(例如，数千个)，使该全部孔每次排出液滴(即，不发生一次未排出)在技术上是极困难的。其中，本申请的发明者专心研究即使产生了液滴的未排出，液滴也在基板200的表面良好地扩散，能抑制或缓和薄膜的形成不均的发生的方法而达到了本发明。下面，一边参照附图，一边说明本发明的实施方式。在下面的附图中，为了简化说明，用同一附图标记示出实质上具有同一功能的构成要素。此外，本发明不限于下面的实施方式。图6的(a)至⑷示意地示出本实施方式的成膜装置100的构成及其动作。本实施方式的成膜装置100是用喷墨方式对基板涂敷溶液的装置(喷墨涂敷装置)。如图6的(a)所示，本实施方式的成膜装置100具备包括对基板20排出溶液的喷嘴(未图示)的头部50 ;和保持基板20的载置台10。在本实施方式的构成中，多个喷墨头被头盖收纳而排列于头部50。另外，一个喷墨头中形成有多个喷嘴。另外，从喷嘴排出溶液的面(排出面)与基板20的表面相对配置。另外，在本实施方式中，通过从头部50排出溶液(涂敷液)来在基板20的表面形成取向膜。
在本实施方式的成膜装置100中，设有使头部50与载置台10相对地移动的移动装置30。在本实施方式的构成中，采用头部50是固定型，载置台10是可动型的构成，但是也可以将载置台10设为固定型，将头部50设为可动型。但是，头部50连结有供给喷墨涂敷用溶液的配管(未图示)，因此，将头部50设为固定型的构成存在技术上的优点。而且，涂敷前的基板20被从搬运来自前工序的基板20的搬运装置(未图示)载置到载置台10上，并且使涂敷后的基板20向后工序移动，因此，将载置台10设为可动型的构成也存在技术上的优点。另外，本实施方式的移动装置30连接有控制该移动装置30的移动的控制装置35。控制装置35例如是个人计算机(PC)，例如，包括保存有能控制移动装置30的移动的程序(载置台控制程序)的存储装置(例如，硬盘、半导体存储器、光盘等)、中央处理器(CPU)、输入输出装置(显示器、键盘、鼠标等)。在本实施方式的构成中，可以通过控制装置35的控制来使保持基板20的载置台10在X-Y方向上移动。另外，本实施方式的控制装置35还能控制来自头部50的溶液的排出。而且,还能进行头部50的高度控制(Z方向的控制)。 本实施方式的基板20例如是玻璃基板，本实施方式的基板20是液晶面板用的玻璃基板。在图示的例子中，基板20是按照液晶面板的尺寸进行切割前的母玻璃。在作为基板20的母玻璃的尺寸中，I个边有I米以上，具体地说，在基板20是第10代母玻璃的情况下，其尺寸是2880mm(W) X 3130mm(L)。此外，基板20不限于按照液晶面板的尺寸进行切割前的母玻璃，也可以是进行切割后的液晶面板的尺寸的玻璃。而且，基板20可以是制作了薄膜晶体管(TFT)的阵列基板(或该制作中途的基板)，也可以是形成有彩色滤光片(CF)的CF基板(或该制作中途的基板)。此外，基板20除了玻璃基板以外，也可以是树脂基板、晶片那样的其它薄板。而且，不限于液晶面板用的基板20，可以是制作TOP、有机EL面板、其它平板显示器时的薄型基板。本实施方式的头部50具有横贯载置在载置台10上的基板20的长度。在该例子中，头部50的长边方向在Y方向上延伸。此外，在本实施方式的基板20是第10代母玻璃的情况下，头部50的长边方向长度(在Y方向上延伸的长度)约为3米或3米以上。在此，本实施方式的成膜装置100进行如下动作。首先，如图6的(a)所示，将头部50配置在基板20的中央区域21的上方。具体地说，由控制装置35控制的移动装置30在载置台10上移动，使基板20的中央区域21位于头部50的下方。此外，基板20的中央区域21是位于基板20的一端(左端)25a和另一端(右端)25b之间的部位。具体地说，是以位于基板20的一端25a和另一端25b之间的中心线25c(L/2位置的假设线)为中心，向一端25a侧和另一端25b侧分别扩大L/4的区域。具体的动作是将基板20的中央区域21设为中心线25c，即，头部50配置在基板20的中心线25c的上方即可。接着，使头部50按照第I方向移动到基板20的第I端部(左端)25a。具体地说，由移动装置30使载置台10向箭头11的方向(右向)移动。即，使基板20向右侧移动。或者按照相对的关系来说的话，以基板20为基准使头部50向左向(-X方向)移动。这样,如图6的(b)所不,在移动中位于头部50的下方的基板20的表面,产生被赋予了第一次液滴的区域22 (在该例子中是左半边区域)。下面，使头部50按照第2方向移动到基板20的第2端部(右端)25b。具体地说，由移动装置30使载置台10向箭头12的方向(左向)移动。即，使基板20向左侧移动。或者按照相对的关系来说的话，以基板20为基准使头部50向右侧(+X方向)移动。这样，如图6的(C)所示，在移动中位于头部50的下方的基板20的表面，区域22 (左半边区域)成为被赋予了第二次液滴的区域(24A)，与此相伴地，产生被赋予了第一次液滴的区域23 (在该例子中是右半边区域)。之后，使头部50再次按照第I方向移动到基板20的中央区域21 (在此是中心线25c)。具体地说，由移动装置30使载置台10向箭头13的方向(右向)移动。S卩，使基板20向右侧移动。或者按照相对的关系来说的话，以基板20为基准使头部50向左侧(-X方向)移动。当执行该动作时，如图6的⑷所示，在基板20的表面，区域22 (左半边的区域)和区域23 (右半边的区域)均成为被赋予了第二次液滴的区域(24A、24B)。通过该涂敷工序(箭头11、12、13)，8卩，通过使用了本实施方式的成膜装置100的一系列涂敷工序(成膜 工序)来执行由溶液的排出导致的薄膜的形成。下面，根据使用了本实施方式的成膜装置100的涂敷工序(成膜工序)，说明能抑制薄膜的形成不均区域(或未形成有薄膜的区域)的发生。图7是用于说明使具有排出溶液的喷嘴的头部50移动，在基板20的表面形成薄膜的工序的图。如上所述，头部50如箭头11那样相对于基板20相对地移动(I次扫描)，到达基板20的一端25a，之后，折返并如箭头12那样移动(2次扫描)。在此，与本实施方式的涂敷工序不同，S卩，对不是最初从基板20的中央区域21使头部50移动，而是最初从基板20的一端使头部50移动而到达另一端的情况(比较例)进行研究。在比较例的情况下，当图7所示的区域160位于最初开始涂敷的基板20的端的周围时，此时的基板20的表面状态如图8的(a)所示。即，第I次排出的液滴211的形状因为在头部50返回期间经过了相当的时间(头部50沿着母玻璃20进行一个往返)，因此，与刚排出时相比会发生变形。进一步说明的话，液滴211随着时间而濡湿扩展，换言之，因为由液滴211的表面张力造成的拉平(平滑化)而从大致球形形状变为大致圆锥形(山形)形状。并且，在比较例中，第2次排出的液滴212朝向该大致为圆锥形状的液滴211上。而且，在此，存在未排出液滴215的部位，在该部位第2次液滴不到达基板20。另一方面，在本实施方式的涂敷工序的情况下，最初从基板20的中央区域21使头部50移动，因此，基板20的一端25a的周围60的基板20的表面状态如图8的(b)所示。即，第I次排出的液滴51在头部50返回的期间内几乎未经过多长时间，因此，与刚排出时的形状相比没怎么变化。其原因是即使母玻璃20的尺寸较大(例如，3米)，头部50仅在一端25a的周围往返。进一步说明的话，与图8的(a)的液滴211比较，不怎么产生由液滴51的表面张力造成的拉平(平滑化)。因此，第I次排出的液滴51成为大致球形形状。并且，在本实施方式的情况下，第2次排出的液滴52朝向该大致球形形状的液滴51上。而且，在此存在未排出液滴55的部位，在该部位第2次液滴不到达基板20。此外，从中央区域21开始头部50的移动，因此，在图8的(b)所示的状态下，基板20的相反的一侧的端25b也是相同的。一边参照图9的(a)至(d)，一边进一步说明图8的(b)所示的涂敷工序。图9的(a)至(d)是用于说明本实施方式的涂敷工序的工序截面图。首先，如图9的(a)所示，通过第I次排出而在基板20的表面形成液滴51 (51a等)。下面，如图9的(b)所示，趁着液滴51是大致球形时，进行第2次排出，使液滴52 (52a等)落到液滴51上。在此，液滴52b本应排出到但是实际上未排出到位于液滴51b上方的部位55。下面，如图9的(C)所示，液滴52碰到液滴51，液滴52如箭头53那样向液滴51的周围裂开扩展。液滴52b没有来到液滴51b的上方，但是在此，液滴52a的裂开部位53a和液滴52c的裂开部位53c向液滴51b的周围导入。其结果是，如图9的(d)所示，液滴52所裂开的部位53成为掩盖液滴51之间的区域的部位54。特别是部位54a和54c位于液滴51b的周围，由此能抑制或缓和未排出液滴52b的影响(薄膜的形成不均)。之后，液滴51随着时间而与从液滴52产生的部位54融合，由此液滴51与部位54成为一体。因此，更进一步缓和了薄膜的形成不均缺陷。 下面，一边参照图10的(a)至(d)，一边说明图8的(a)所示的比较例的涂敷工序。图10的(a)至(d)是用于说明比较例的涂敷工序的工序截面图。首先，如图10的(a)所示，通过第I次排出而在基板20的表面形成液滴211 (211a等)。液滴211随着时间的经过因为拉平而成为大致圆锥形(山状)。下面，如图10的(b)所示，进行第2次排出，使液滴212(212a等)落到山状液滴211上。在此，应对位于液滴211b的上方的部位215排出液滴212b，但是实际上不排出。下面，如图10的(C)所示，当液滴212碰到液滴211时，液滴212如箭头213那样向液滴211的周围裂开扩展。在此，液滴211的形状不是大致球形，是进行了拉平的形状(山状)，因此，液滴211裂开扩展的势头(箭头213)比图9的(c)所示的势头(箭头53)弱。由此，液滴212a所裂开的部位213a和液滴212c所裂开的部位213c向液滴211b的周围导入的量不多。其结果是，如图10的(d)所示，液滴212所裂开的部位213成为埋住液滴211之间的区域的部位214，但在液滴211b的周围产生薄膜的形成不均区域225。之后，即使液滴211随着时间而与从液滴212产生的部位214融合，也在液滴211b的周围持续残存薄膜的形成不均区域225。并且，其成为图3所示的残膜210的形成不均的区域220。这样，根据本实施方式的成膜装置100，在基板20的中央区域21 (例如，中心线25c)的上方配置头部50后(参照图6的(a))，使头部50移动到第I端部25a(参照图6的
(b))，下面，使头部50移动到第2端部25b(图6的(c))，接着，使头部50移动到中央区域21 (参照图6的(d))。因此，当进行第一次从头部50排出的液滴51的拉平前，可以使第二次液滴52碰到液滴51 (参照图9)。其结果是，即使发生液滴52的不排出(52b)，也能抑制或缓和薄膜的形成不均区域的产生。即，根据本实施方式的方法，与从基板20的一端25a开始排出的一个往返的涂敷方法(2次扫描法)相比，可以用约一半的时间进行第2次排出。换言之，从基板20的中央区域21 (或中心线25c)开始排出，半面半面地(22、23)进行第2次排出，因此，与一个往返的涂敷方法(2次扫描方法)相比，可以缩短第I次排出与第2次排出的时间差。由此，可以降低排出遗漏部位的薄膜形成不均的影响。此外，在上述实施方式(例如，图9)中，说明了将第I次排出和第2次排出的位置设为大致相同的情况。但是，如果第I次排出的液滴51与第2次排出的液滴52以至少一部分(例如，一半)重叠，则产生液滴52的裂开部位53，可以抑制排出遗漏部位的薄膜形成不均。而且，从本实施方式的基板20的中央区域21开始排出的方法与从基板20的一端25a开始排出的一个往返的涂敷方法(2次扫描法)相比，涂敷时间变得稍长。但是，如果与执行两个往返(或其以上)的排出来涂敷的方法相比，涂敷时间较短。涂敷时间较短能提高液晶面板生产线的产量，因此，是优选的。当然根据本实施方式的方法，能抑制或缓和薄膜形成不均区域的产生，这样就可以抑制不良液晶面板的产生(即，提高成品率)，或者可以降低与薄膜的修正工序相伴的制造工序损失(时间损失、成本损失)。另外，在本实施方式中，通过从头部50排出溶液(涂敷液)而在基板20的表面形成取向膜，在这种情况下的溶液(涂敷液)例如是聚酰亚胺液，或者包括聚酰胺酸或其衍生物的溶液。但是，可以根据形成在基板20上的膜(功能膜)来改变由头部50供给的溶液。作为形成在基板20上的膜(功能膜)，可以举出例如抗蚀剂膜、导电膜、绝缘膜等，对该膜使用需要的溶液。从头部50排出的溶液的排出量只要与各种生产条件等配合地选择最佳的 排出量即可。另外，可以通过例如改变压电元件的电压来进行排出量的调整。图11示出本实施方式的成膜装置100的头部50的底面的构成。在头部50排列有多个喷墨头70。喷墨头70被头部50收纳例如数十个。另外，在各喷墨头70上形成有排出溶液的多个喷嘴72。在一个喷墨头70上形成例如数百个喷嘴72。此外，图11所示的喷嘴72的排列成交错形，但是也可以使喷嘴72排列为一列。或者还可以不将喷嘴72的排列设为两段交错形，而设为其它排列(例如，三段斜向排列)。另外，在上述实施方式中，使基板20沿着长方形基板20的长边(L)或短边(W)所延伸的方向移动，但如图12所示，也可以使长方形基板20倾斜并移动基板20(箭头11、12、13)。这是因为，使基板20倾斜并移动基板20，由此依赖于基板20 (例如，阵列基板)的图案，来自头部50的溶液(涂敷液)示出规定的濡湿扩展，其结果是，有时可以缓和基板20的特定部位难以浸湿的现象。此外，在使基板20倾斜并移动基板20的情况下，只要以离基板20的中心最远的顶点27a、27b为基准来规定中央区域21或中心线25c即可。图13示出本实施方式的成膜装置100的构成的一个例子。在图13中，示出位于头部50的底面的喷墨头70和喷嘴72。此外，在图13所示的例子中，喷墨头70不排列为一列，而以每隔一个斜着放置的方式排列，但是不限于此，也可以采用其它排列。头部50的喷墨头70与溶液供给部(例如，聚酰亚胺供给罐)80和废液部(例如，废液罐)82连接。具体地说，各喷墨头70经由分支配管87、经由供给配管85和分支配管89而与废液配管86连接。供给配管85与溶液供给部80连接，另一方面，废液配管86与废液部82连接。并且，溶液供给部80中的溶液如箭头81所示，流过供给配管85并经过分支配管87而向喷墨头70供给。并且，喷墨头70内的废液经过分支配管89而如箭头83所示，流经废液配管86而向废液部82移动。在此，还可以通过调整阀门88(88a、88b)来进行将配管85和喷墨头70的溶液压力设为恒定的处理。可以基于图6所示的控制装置35的控制来执行该处理。上面用最佳的实施方式说明了本发明，但该记述不是限定事项，当然可以进行各种改变。工业h的可利用件根据本发明，可以提供在用喷墨方式进行涂敷的方法中能缓和或抑制未涂敷区域的产生的成膜装置或成膜方法。附图标记说明10载置台20 基板21中央区域25a基板的一端 25b基板的另一端25c中心线27a、27b基板的顶点30移动装置35控制装置50 头部51 液滴52 液滴70喷墨头72 喷嘴80溶液供给部81 箭头82废液部85供给配管86废液配管87分支配管88 阀门89分支配管100成膜装置(喷墨涂敷装置)200 基板1000成膜装置(喷墨涂敷装置)
权利要求
1.一种成膜装置，其特征在于， 用喷墨方式对基板涂敷溶液， 具备 头部，其包括对上述基板排出上述溶液的喷嘴； 载置台，其保持上述基板； 移动装置，其使上述头部和上述载置台相对地移动；以及 控制装置，其控制上述移动装置的移动， 上述头部具有横贯载置在上述载置台上的上述基板的长度， 上述控制装置构成为执行以下步骤 第I步骤(a)，将上述头部配置在上述基板的中央区域的上方； 第2步骤(b)，由上述移动装置使上述头部在上述基板的上方按照第I方向移动到上述基板的第I端部； 第3步骤(C)，在上述第2步骤(b)后，使上述头部按照与上述第I方向相反的第2方向从上述基板的第I端部移动到与该第I端部相反的一侧的第2端部；以及 第4步骤(d)，在上述第3步骤(c)后，使上述头部按照上述第I方向从上述第2端部移动到上述基板的上述中央区域。
2.根据权利要求I所述的成膜装置， 上述基板是液晶面板用的母玻璃基板， 上述溶液包括构成取向膜的材料。
3.根据权利要求I或2所述的成膜装置， 上述基板的形状是具有长边和短边的长方形， 上述第I方向是沿着上述长边所延伸的方向的方向。
4.根据权利要求I至3中的任一项所述的成膜装置，其特征在于， 在上述第2步骤(b)和上述第3步骤(c)中，在上述基板中的上述头部的移动所重叠的区域中， 一边以与在上述第2步骤(b)中排出的上述溶液的至少一部分重叠的方式在上述第3步骤(c)中排出上述溶液，一边使上述头部移动。
5.根据权利要求4所述的成膜装置，其特征在于， 在上述第3步骤(c)和上述第4步骤(d)中，在上述基板中的上述头部的移动所重叠的区域中， 一边以与在上述第3步骤(c)中排出的上述溶液的至少一部分重叠的方式在上述第4步骤(d)中排出上述溶液，一边使上述头部移动。
6.—种成膜方法， 用喷墨方式对基板涂敷溶液， 包括 第I工序(a)，将包括对上述基板排出上述溶液的喷嘴的头部配置在基板的中央区域的上方； 第2工序(b)，使上述头部在上述基板的上方按照第I方向移动到上述基板的第I端部;第3工序(c)，在上述第2工序(b)后，使上述头部按照与上述第I方向相反的第2方向从上述基板的第I端部移动到与该第I端部相反的一侧的第2端部；以及 第4工序(d)，在上述第3工序(c)后，使上述头部按照上述第I方向从上述第2端部移动到上述基板的上述中央区域。
7.根据权利要求6所述的成膜方法， 上述基板是液晶面板用的母玻璃基板， 上述溶液包括构成取向膜的材料， 上述基板的形状是具有长边和短边的长方形， 上述第I方向是沿着上述长边所延伸的方向的方向。
8.根据权利要求6或7所述的成膜方法，其特征在于， 一边以与在上述第2工序(b)中排出的上述溶液的至少一部分重叠的方式在上述第3工序(c)中排出上述溶液，一边使上述头部移动，且 一边以与在上述第3工序(c)中排出的上述溶液的至少一部分重叠的方式在上述第4工序(d)中排出上述溶液，一边使上述头部移动。
全文摘要
在喷墨方式成膜装置(100)中，具备头部(50)，其具有横穿基板(20)的长度并包括对基板(20)排出溶液的喷嘴(72)；载置台(10)，其保持基板(20)；移动装置(30)，其使头部(50)和载置台(10)相对地移动；以及控制装置(35)，其控制移动装置(30)的移动，控制装置(35)执行以下步骤第1步骤(a)，将头部(50)配置在基板(20)的中央区域(21)的上方；第2步骤(b)，使头部(50)按照第1方向移动到基板(20)的第1端部(25a)；第3步骤(c)，使头部(50)按照第2方向移动到第2端部(25b)；以及第4步骤(d)，使头部(50)按照第1方向移动到基板(20)的中央区域(21)。根据该构成，能缓和在喷墨方式的涂敷中未涂敷区域的发生。
文档编号B05C9/06GK102821869SQ20118001541
公开日2012年12月12日 申请日期2011年3月23日 优先权日2010年3月26日
发明者宫浦博彰, 盐崎唯史, 新畑宏晃 申请人:夏普株式会社