专利名称：一种涂布膜面用烘箱装置的制作方法
技术领域：
一种涂布膜面用烘箱装置技术领域[0001]本实用新型涉及光阻干膜生产技术领域，尤其涉及一种对涂布膜面进行烘烤的烘 箱装置。
背景技术：
[0002]在光阻干膜生产过程中，对涂布膜面的烘烤通常使用的是具有进排气系统的烘箱 装置，烘箱内热风分布的均匀性非常重要，对产品质量有着很大的影响。[0003]目前，现有技术所采用的烘箱装置，通常由多节烘箱串联而成，整个装置设有总进 气风管和总出气风管，每节烘箱处各分有一进气风管和一出气风管，即每节烘箱采用一进 一出的排气方式。涂布膜面依次经各节烘箱传输通过，沿涂布膜面传输方向，烘箱的风量逐 渐减小、温度逐渐升高。[0004]现有技术这类结构的烘箱装置存在着以下技术缺陷由于采用的是一进一出的排 气方式，因此烘箱内热风分布不均匀，尤其是处于高温段的烘箱，其热风的不均匀性对产品 质量影响很大。此外，由于每节烘箱为长方体形，不仅热风分布不均匀，而且烘箱上部的直 角处，热风无法达到，因而会由于局部温度低而发生结露现象，露水(油滴)会沿着烘箱内壁 滴落到涂布膜面上而造成污染，从而严重影响产品质量，极大地降低了产品的合格率。实用新型内容[0005]本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供一种可改善烘箱内热风分布均 匀性、有助于提高产品质量的涂布膜面用烘箱装置。[0006]本实用新型的目的通过以下技术方案予以实现[0007]本实用新型提供的一种涂布膜面用烘箱装置，包括进气风管、出气风管以及至少 二节烘箱；所述烘箱之间呈串联设置，且均包括箱体、以及设置在箱体内的上风箱和下风 箱；所述进气风管与上风箱和下风箱连接，所述出气风管与箱体连接；所述至少处于高温 段的烘箱，每节烘箱所连接的出气风管至少为二个。本实用新型对于上述串联设置的多节 烘箱、至少是处于高温段的烘箱，均连接多个出气风管，即采用一进多出的排气方式，使得 烘箱内的气流能够到达周围各处，从而有助于提高烘箱内热风分布的均匀性。为有利于涂 布膜面的烘烤，所述烘箱上的多个出气风管沿涂布膜面传输方向排列。[0008]本实用新型还可采取如下进一步措施所述至少处于高温段的烘箱，每节烘箱的 上风箱上、对应于箱体内上部的拐角处设置有拐角吹气嘴，使得热风能够到达烘箱上部的 拐角处，避免局部温度低而造成的结露滴油现象。[0009]实际生产中，串联的烘箱通常为多节，且沿涂布膜面传输方向烘箱的温度递增，即 在中、后几节烘箱温度较高。为此，视生产情况设计烘箱的节数以及出气风管和拐角吹气嘴 的设置，并视烘箱的大小设置出气风管的个数以及拐角吹气嘴的个数。例如，所述烘箱可以 为8 10节；对于出气风管，沿涂布膜面传输方向自第5 7节烘箱起每节烘箱所连接的 出气风管为二个。对于拐角吹气嘴，沿涂布膜面传输方向自第2 4节烘箱起每节烘箱中的拐角吹气嘴为二个且对称设置。[0010]本实用新型具有以下有益效果[0011]有效改善了烘箱内热风分布以及温度分布的均匀性，避免了结露滴油而对涂布膜 面产生污染的现象，有效提高了产品的质量及合格率。同时，结构简单，方便易行，无需格外 运行成本即可实现。
[0012]下面将结合实施例和附图对本实用新型作进一步的详细描述[0013]图1是本实用新型实施例的结构示意图。[0014]图中进气风管1，出气风管2，烘箱3，箱体3a，上风箱3b，下风箱3c，膜面吹气嘴 3d，拐角吹气嘴3e具体实施方式
[0015]图1所示为本实用新型一种涂布膜面用烘箱装置的实施例，包括进气风管1、出气 风管2以及10节烘箱3。[0016]如图1所示，烘箱3之间呈串联设置，且均包括箱体3a、以及设置在箱体3a内的 上风箱3b和下风箱3c。上风箱3b和下风箱3c之间具有间隙，且在间隙处上风箱3b和下 风箱3c均设置有膜面吹气嘴3d。涂布膜面从上风箱3b和下风箱3c之间的间隙处传输通 过。[0017]如图1所示，沿涂布膜面传输方向，烘箱3的温度逐渐递增，自第4节烘箱起每节 烘箱其上风箱3b的上部对称设置有二个与烘箱3内上部的拐角处对应的拐角吹气嘴3e。[0018]如图1所示，进气风管I与上风箱3b和下风箱3c连接，出气风管2与箱体3a连 接。沿涂布膜面传输方向，自第7节烘箱起每节烘箱所连接的出气风管2为二个、且沿涂布 膜面传输方向排列。
权利要求1.一种涂布膜面用烘箱装置，包括进气风管(I)、出气风管(2)以及至少二节烘箱(3)；所述烘箱(3)之间呈串联设置，且均包括箱体(3a)、以及设置在箱体(3a)内的上风箱(3b)和下风箱(3c);所述进气风管(I)与上风箱(3b)和下风箱(3c)连接，所述出气风管(2)与箱体(3a)连接；其特征在于所述至少处于高温段的烘箱(3)，每节烘箱所连接的出气风管(2)至少为二个。
2.根据权利要求1所述的涂布膜面用烘箱装置，其特征在于所述连接有至少二个出气风管(2)的烘箱(3)，其所连接出气风管(2)沿涂布膜面传输方向排列。
3.根据权利要求1所述的涂布膜面用烘箱装置，其特征在于所述至少处于高温段的烘箱(3)，每节烘箱的上风箱(3b)上、对应于箱体(3a)内上部的拐角处设置有拐角吹气嘴(3e)。
4.根据权利要求1或2所述的涂布膜面用烘箱装置，其特征在于所述烘箱(3)为8 10节；沿涂布膜面传输方向自第5 7节烘箱起每节烘箱(3)所连接的出气风管(2)为二个。
5.根据权利要求3所述的涂布膜面用烘箱装置，其特征在于所述烘箱(3)为8 10节；沿涂布膜面传输方向自第2 4节烘箱起每节烘箱(3)中的拐角吹气嘴(3e)为二个且对称设置。
专利摘要本实用新型公开了一种涂布膜面用烘箱装置，包括进气风管、出气风管以及至少二节烘箱；所述烘箱之间呈串联设置，且均包括箱体、以及设置在箱体内的上风箱和下风箱；所述进气风管与上风箱和下风箱连接，所述出气风管与箱体连接；所述至少处于高温段的烘箱，每节烘箱所连接的出气风管至少为二个。本实用新型有效改善了烘箱内热风分布以及温度分布的均匀性，有利于提高产品质量，而且结构简单，方便易行，无需格外运行成本即可实现。
文档编号B05D3/04GK202823829SQ20122043559
公开日2013年3月27日 申请日期2012年8月29日 优先权日2012年8月29日
发明者陈沃明, 郑然 , 许伟荣 申请人:长兴(广州)光电材料有限公司