稀土抛光粉及其制备方法
【专利摘要】一种稀土抛光粉，稀土抛光粉是由晶型为氟氧化物稀土与立方相稀土氧化物组成的均一固溶体。还公开了其制备方法，包括氯化稀土水溶液的制备、沉淀液的制备、沉淀、脱水、焙烧、粉碎等。本发明制备的稀土抛光粉是由晶型为氟氧化物稀土与立方相稀土氧化物组成的均一固溶体。本发明通过在沉淀过程中引入F，减少了后氟化的步骤，具有工艺简单，成本低，废水少的优点；通过沉淀过程中添加硫酸铵，在高温焙烧时，一方面确保抛光粉中主要活性组分氧化铈晶格点阵错乱，形成活化的氧化铈，使活化的氧化铈与玻璃表面具有亲和力，提高抛光粉的化学活性，进而提升稀土抛光粉的抛蚀量；另一方面，确保稀土氧化物为立方晶型，促进稀土抛蚀量的提升。
【专利说明】稀土抛光粉及其制备方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种稀土抛光粉及其制备方法，特别涉及一种适用于集成电路、平面显示和光学玻璃等电子信息产业精密器件的表面抛光的铈基混合稀土抛光粉及其制备方法。
【背景技术】
[0002]目前，各种玻璃材料被广泛使用，而这些材料被应用前都需经过必要的表面抛光。早期主要使用氧化锆、氧化铁或二氧化硅等材料对各种玻璃表面进行抛光，近年来，从抛光效率及精度方面来考虑，稀土氧化物(特别是氧化铈)为主要成分的抛光材料被认为更适合于玻璃材料的表面抛光。
[0003]随着电子信息技术的迅猛发展，透镜、平板玻璃、液晶显示器(IXD)、眼镜、光学元件及陶瓷材料等玻璃基材的需求大大增加，对于抛光材料的精度和抛光速率也提出了更高的要求，这就促使生产厂家不断提高产品档次，以适应新技术新产品的要求，稀土抛光粉已成为当今适用范围广、用量大、技术含量高的稀土应用产品。
[0004]早期的稀土抛光粉采用氟碳铈矿为原料，如中国专利专利
【发明者】赵月昌, 高玮, 陈曦, 蒙素玲, 郝祥, 杨筱琼 申请人:上海华明高纳稀土新材料有限公司