用于化学机械平坦化的金属氧化物-聚合物复合颗粒的制作方法

技术总结
CMP工艺、工具和浆料利用了包括金属氧化物颗粒和聚合物芯的金属氧化物‑聚合物复合颗粒。所述金属氧化物颗粒经改性试剂改性且部分或完全地埋置在所述聚合物芯内。采用这些工艺、工具和浆料能够相对于可比较的体系和基材而增强移除速率、降低缺陷率并提高清洁能力。

技术研发人员：B.G.普雷沃;M.J.汉普登-史密斯;D.福米特切夫;Y.E.库特索夫斯基
受保护的技术使用者：卡博特公司
技术研发日：2014.12.16
技术公布日：2018.10.30