技术总结
溶剂型表面改性氧化铝抛光液的制备方法，其特征在于：该制备方法首先对氧化铝颗粒进行粒径分级，再加入分散剂对氧化铝表面进行包覆改性，接着加入有机溶剂和氧化剂搅拌均匀，再经超声振动使其充分分散，后用pH调节剂将抛光液的pH调到2.5-12.5，该发明制备的抛光液具有良好的悬浮分散性，可应用于无水环境下，铝合金、铜、不锈钢和蓝宝石衬底抛光，具有抛光效率高，表面粗糙度小，对基片表面损伤小等优点。
技术研发人员：高如山
受保护的技术使用者：天津西美半导体材料有限公司
文档号码：201510223481
技术研发日：2015.04.28
技术公布日：2016.11.23