一种晶棒转移设备的制作方法

本实用新型涉及一种晶棒转移设备，属于硅晶片加工设备技术领域。

背景技术：

专利文献CN201980271U中公开了一种已开方硅棒运输车，包括推车、车体和设置在车体底部的车轮，所述车体的车斗由可翻转的挡板配合而成，车斗底部设置有独立槽位，所述的车轮为万向轮，车轮与车体配合连接。采用该专利文献中的结构，车体四周的高度高于独立槽位的高度，增加了安全性，独立槽位的设置确保各个硅棒的准确放置，由于各个独立槽位的周边相互分开，放置在运输过程中由于车体晃动而相互碰撞，24个独立槽位的设置有效的增加了运输的数量，提高了工作效率，节省了劳力，然而上述专利文献中的硅棒运输车还存在不足：独立槽位虽然能够对放入其中的硅棒进行定位，但由于硅棒重量较重，将硅棒从运输车上取出时独立槽位会对操作产生干扰影响。

技术实现要素：

对此，本实用新型旨在提供一种结构更为合理的晶棒转移设备，该设备既能对各晶棒形成定位防止晶棒在转移过程中发生位移，也便于晶棒取放，并且支撑板的竖向移动也相对灵活顺畅。

实现本实用新型目的的技术方案是：

一种晶棒转移设备，包括转移车体和设置在所述转移车体底部的车轮，所述转移车体上水平固定有定位板，在所述定位板上设置有多个与晶棒形状相匹配的定位孔，所述定位板的下方水平设置有可竖向移动的支撑板，所述支撑板上表面与各定位孔正对的位置设置有与所述定位孔相匹配的支撑块，所述支撑块的上表面为适于放置晶棒的支撑平面，在所述支撑板的下方设置有适于带动所述支撑板上下移动的驱动机构，所述支撑板移动到最高处时所述支撑平面与所述定位板的上表面相平，所述支撑板移动到最低处时所述支撑平面低于所述定位板的上表面；所述定位板或/和所述支撑板上固定有竖向设置的导向套筒，所述支撑板或/和所述定位板上固定有竖向设置的导向柱，所述导向柱与所述导向套筒活动套接，并在两者之间设置减小摩擦力的滚珠。

上述技术方案中，所述驱动机构包括可横向移动的移动架和带动所述移动架横向移动的传动丝杆，所述传动丝杆与所述转移车体上的丝杆孔配合，其一端与所述移动架可转动连接，另一端设置有操作手柄，所述支撑板的下表面设置有若干受力凸块，所述受力凸块上设置有受力斜面，所述移动架上与各受力凸块对应的位置设置有施力凸块，所述施力凸块上设置有适于与受力斜面配合的施力斜面。

上述技术方案中，所述转移车体上设置有适于对所述移动架横向移动范围进行限定的限位槽。

上述技术方案中，在所述移动架远离所述传动丝杆一端与限位槽相应槽壁之间设置有作用弹簧。

上述技术方案中，所述限位槽的槽壁上设置有用于安装所述作用弹簧的安装孔。

本实用新型具有积极的效果：

采用本实用新型中的结构，在取放晶棒时，通过驱动机构带动支撑板移动至最高处，此时支撑平面与定位板的上表面相平，这时晶棒摆脱了定位孔的限制，从而利于晶棒取放，在转移晶棒时，通过驱动机构带动支撑板向下移动至最低处，此时支撑平面低于定位板上表面，这样定位孔的周壁能够对放在支撑平面上的晶棒进行定位限制，从而防止晶棒在转移过程中发生位移，进一步，所述定位板或/和所述支撑板上固定有竖向设置的导向套筒，所述支撑板或/和所述定位板上固定有竖向设置的导向柱，所述导向柱与所述导向套筒活动套接，并在两者之间设置滚珠，采用这种结构能够在为支撑板竖向移动提供有效导向的同时，有效降低了摩擦阻力，从而使得支撑板竖向移动更加灵活顺畅，采用本实用新型中的结构具有很好的实用性。

附图说明

图1为本实用新型中晶棒转移设备的结构视图(支撑板处于最低处)；

图2为本实用新型中晶棒转移设备的结构视图(支撑板处于最高处)。

图中所示附图标记为：1-转移车体；2-车轮；3-定位板；31-定位孔；4-支撑板；41-支撑块；42-支撑平面；43-受力凸块；44-受力斜面；5-移动架；51-施力凸块；52-施力斜面；6-传动丝杆；7-操作手柄；8-复位弹簧；9-滚珠；10-限位槽。

具体实施方式

下面结合说明书附图对本实用新型中的具体结构做以说明：

一种晶棒转移设备，如图1和图2所示，其包括转移车体1和设置在所述转移车体1底部的车轮2，所述转移车体1上水平固定有定位板3，在所述定位板3上设置有多个与晶棒形状相匹配的定位孔31，所述定位板3的下方水平设置有可竖向移动的支撑板4，所述支撑板4上表面与各定位孔31正对的位置设置有与所述定位孔31相匹配的支撑块41，所述支撑块41的上表面为适于放置晶棒的支撑平面42，在所述支撑板4的下方设置有适于带动所述支撑板4上下移动的驱动机构，所述支撑板4移动到最高处时所述支撑平面42与所述定位板3的上表面相平，所述支撑板4移动到最低处时所述支撑平面42低于所述定位板3的上表面；所述定位板3或/和所述支撑板4上固定有竖向设置的导向套筒32，所述支撑板4或/和所述定位板3上固定有竖向设置的导向柱45，所述导向柱45与所述导向套筒32活动套接，并在两者之间设置减小摩擦力的滚珠9。采用上述结构，在取放晶棒时，通过驱动机构带动支撑板4移动至最高处，此时支撑平面42与定位板3的上表面相平，这时晶棒摆脱了定位孔的限制，从而利于晶棒取放，在转移晶棒时，通过驱动机构带动支撑板4向下移动至最低处，此时支撑平面42低于定位板3上表面，这样定位孔31的周壁能够对放在支撑平面42上的晶棒进行定位限制，从而防止晶棒在转移过程中发生位移，进一步，通过如上设置相互活动套接的导向套筒32和导向柱45，并在两者之间设置滚珠9，这样设置能够在为支撑板4竖向移动提供有效导向的同时，有效降低了摩擦阻力，从而使得支撑板4竖向移动更加灵活顺畅，采用本实施例的结构具有很好的实用性。

本实施例中，所述驱动机构包括可横向移动的移动架5和带动所述移动架5横向移动的传动丝杆6，所述传动丝杆6与所述转移车体1上的丝杆孔配合，其一端与所述移动架5可转动连接，另一端设置有操作手柄7，所述支撑板4的下表面设置有若干受力凸块43，所述受力凸块43上设置有受力斜面44，所述移动架5上与各受力凸块43对应的位置设置有施力凸块51，所述施力凸块51上设置有适于与受力斜面44配合的施力斜面52。采用这种结构，在通过操作手柄7使传动丝杆6移动时，带动移动架5移动，进而通过受力斜面44与施力斜面52相配合带动支撑板4沿竖向移动，从而带动支撑块41竖向移动。

进一步，所述转移车体1上设置有适于对所述移动架5横向移动范围进行限定的限位槽10，当移动架5移动到与限位槽10一端相抵时，支撑板4移动至最高处，使支撑平面与定位板的上表面相平，当移动架5移动到与限位槽10另一端相抵时，支撑板4移动至最低处，使支撑平面低于定位板的上表面。

再进一步，在所述移动架5远离所述传动丝杆6一端与限位槽10相应槽壁之间设置有作用弹簧，作用弹簧能够为移动架5提供一定的弹性作用力辅助移动架5移动。

在所述限位槽10的槽壁上设置有用于安装所述作用弹簧的安装孔，从而利于作用弹簧安装，在移动架5与限位槽10相应侧壁相抵时，作用弹簧完全被压缩至安装孔内。

为了使支撑板4能够在失去驱动机构束缚后快速下移，因此在所述支撑板4与所述定位板3之间安装了复位弹簧8，复位弹簧8作用有助于支撑板4尽快复位。

为了减小移动架5与转移车体1之间的摩擦力，因此在所述所述移动架5上安装有滚轮(图中未示出)，所述转移车体1上设置有沿所述移动架5移动方向设置的轨槽(图中未示出)，所述滚轮被限位在所述轨槽内移动。

显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为清楚地说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而这些属于本实用新型的实质精神所引伸出的显而易见的变化或变动仍属于本实用新型的保护范围。