专利名称：光罩盒的制作方法
技术领域：
本实用新型是有关于一种光罩盒，特别是有关于一种具有定位件的光
品o
背景技术：
近代半导体科技发展迅速，其中光学微影技术(Optical Lithography)扮 演重要的角色，只要是关于图形(pattem)定义，皆需仰赖光学微影技术。 光学微影技术在半导体的应用上，是将设计好的线路制作成具有特定形状 可透光的光罩，利用曝光原理，则光源通过光罩投影至硅圆片(silicon wafer) 可曝光显示特定图案。由于任何在光罩上的微小损伤都会造成投影成像的 质量劣化，所以用于产生图形的光罩必须保持绝对完好及洁净，因此光罩 盒的坚固及平稳程度，和是否能确实的提供一个安全的环境以放置光罩就 显得十分重要。
一般光罩盒在机台操作的时，为了使机械手臂能精准的顺利操作，因 此光罩有指定的高度置放于光罩盒体内，而公知光罩盒定位件固定于基座 时，由于基座上具一金属片，因此当定位件固定的时，会因其与金属片压 挤的关系而造成高度产生误差，而可能影响到机械手臂的操作，使光罩在 机台上尚无法顺利取出，还可能因不当取出而损伤光罩。
同时，公知光罩盒因高度产生的误差，可能使光罩放置于盒内无法处 于稳定平衡的状态，若光罩在运送或操作过程中没有质量良好的光罩盒确 实保护，则损伤机会必然会提高，降低的光罩的使用寿命，导致影响产品 良率，甚至无法继续使用，而产生浪费并导致使用成本提高。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种光罩盒，以期能克服公知技术中存在 的缺陷。为实现上述目的，本实用新型提供的光罩盒，包括-
一顶盖；
一基座，用以与该顶盖组合，形成一内部空间可容纳光罩，该基座包
括；
至少一定位件，设置于该基座面对该顶盖的上表面，其中该定位件与 该基座接合端具有一第一中央区域以及至少两第一侧边区域，其中该第一 中央区域与该些第一侧边区域之间具有一段差。
所述的光罩盒，其中该定位件可以是以至少一锁固件固设于该基座。 所述的光罩盒，其中该锁固件可为一插销、铆钉或螺丝。 所述的光罩盒，其中该锁固件可为不锈钢材质。 所述的光罩盒，其中该锁固件可为PEEK材质。 所述的光罩盒，其中该定位件的该段差可为约0.1 约0.5mm。 所述的光罩盒，其中该定位件可为一高分子材料所形成。 所述的光罩盒，其中该定位件的该高分子材料可为聚醚醚酮类化合物 或聚酰亚胺类化合物。
所述的光罩盒，其中该定位件可为一静电消散材质所形成。 所述的光罩盒，其中该定位件的静电消散材质电阻值可为约104~约
所述的光罩盒，其中该定位件可为限制件。 所述的光罩盒，其中该定位件可为固定件。 所述的光罩盒，其中该光罩盒可为光罩传送盒。
所述的光罩盒，其中该基座具有至少一第一锁固孔，该定位件具有一 第二锁固孔对应该第一锁固孔，且该锁固件会贯穿该第一锁固孔以及第二 锁固孔，并将该定位件固定于该基座。
所述的光罩盒，其中该基座包含至少一锁固座具有该第一锁固孔，该 锁固座以第一材质形成，该基座以第二材质形成。
所述的光罩盒，其中该第一材质及第二材质可为不同材质。
所述的光罩盒，其中该第一材质可为金属，该第二材质可为高分子材料。
所述的光罩盒，其中该锁固座可嵌设于该基座。本实用新型还提供一种光罩盒，包括-
一顶盖；
一基座，用以与该顶盖组合，形成一内部空间可容纳光罩，该基座包
括；
至少一定位件，设置于该基座面对该顶盖的上表面，其中该定位件与
该顶盖相对应端具有一第二中央区域以及至少两第二侧边区域，其中该第
二中央区域具有一强化结构。
所述的光罩盒，其中该定位件可为一高分子材料所形成。 所述的光罩盒，其中该定位件的高分子材料可为聚醚醚酮类化合物或
聚酰亚胺类化合物。
所述的光罩盒，其中该定位件可为一静电消散材质所形成。 所述的光罩盒，其中该定位件的静电消散材质电阻值可为约104 约
IO"Q。
所述的光罩盒，其中该定位件可为限制件。 所述的光罩盒，其中该定位件可为固定件。 所述的光罩盒，其中该光罩盒可为光罩传送盒。
本实用新型还提供一种光罩盒，包括 一顶盖；
一基座，用以与该顶盖组合，形成一内部空间可容纳光罩，该基座包
括；
至少一定位件，设置于该基座面对该顶盖的上表面，其中该定位件上 设至少一支撑件，该支撑件上端具一点状凸块，用以顶持该光罩。
所述的光罩盒，其中该支撑件可为聚醚醚酮类化合物或聚酰亚胺类化 合物。
所述的光罩盒，其中该支撑件可为静电消散材质。
所述的光罩盒，其中该支撑件的静电消散材质电阻值可为约104~约
所述的光罩盒，其中该定位件可为一体成形。 所述的光罩盒，其中该定位件与该支撑件可为不同材质。
本实用新型的效果是本实用新型的光罩盒，其具有一段差，该段差使定位件与基座结合时 减少高度的误差，且该段差使光罩盒在机台操作的时降低光罩损坏的风险。
本实用新型的光罩盒，其具有一强化结构。该些强化结构可使定位件 更为坚固，进一步妥善的提供光罩完整的支撑保护。
本实用新型的光罩盒；其点状凸块可使光罩与基座保持最少及必需的 支撑面积，避免因不必要的摩擦而损伤光罩，使得光罩寿命得以提高。
本实用新型的光罩盒，其定位件的组装方式将便于拆解与更换损坏的 限制件。
本实用新型的光罩盒，其定位件的组装方式可避免因部分损坏或磨 损，而产生浪费并导致使用成本提高。
本实用新型的光罩盒，其具强化结构，而该些强化结构的造型设计可 节省材料，使成本降低。
图i是光罩盒的示意图。
图2A是本实用新型定位件的一实施例示意图。
图2B是本实用新型定位件的一实施例段差示意图。
图3是本实用新型光罩盒基座与定位件的一实施例示意图。
图4是本实用新型定位件另一实施例示意图。
图5是本实用新型定位件另一实施例的侧视图。
图6是本实用新型定位件再一实施例示意图。 附图中主要组件符号说明
1光罩盒
10顶盖
12基座
14定位件
16第一中央区域
18第一侧边区域
20段差'
722锁固件
24第一锁固孔
26第二锁固孔
28锁固座
30定位件
32第二中央区域
34第二侧边区域
36强化结构
38定位件
40支撑件
42点状凸块
说明书第5/7页
具体实施方式
本实用新型的具有定位件的光罩盒，是由顶盖与基座组合而成，形成 一内部空间可容纳光罩，该基座包括至少一定位件，设置于该基座面对该 顶盖的上表面，其中该定位件与该基座接合端具有一第一中央区域以及至 少两第一侧边区域，其中该第一中央区域与该些第一侧边区域之间具有一 段差，该段差使定位件与基座结合时减少高度的误差。
此外，该光罩盒另包括一定位件，设置于该基座面对该顶盖的上表面， 其中该定位件与该顶盖相对应端具有一第二中央区域以及至少两第二侧 边区域，其中该第二中央区域具有一强化结构。该些强化结构可使定位件 更为坚固，进一步妥善的提供光罩完整的支撑保护。
同时，其中该定位件上设至少一支撑件，该支撑件上端具一点状凸块， 用以顶持该光罩。该点状凸块可使光罩与基座保持最少及必需的支撑面 积，避免因不必要的摩擦而损伤光罩。
由于本实用新型公开的具有定位件的光罩盒，其中所利用到的一些光 罩或光罩盒的详细制造或处理过程，是利用现有技术来达成，故在下述说 明中，并不作完整描述。而且下述中的附图，亦并未依据实际的相关尺寸 完整绘制，其作用仅在表达与本实用新型特征有关的示意图。
请参考图1，是光罩盒的示意图，光罩盒1由一顶盖IO及一基座12组合而成，形成一内部空间可容纳光罩(图未示出)，而该基座包括；至少 一定位件14，设置于该基座12面对该顶盖10的上表面。
请参考图2A，是本实用新型光罩盒的一较佳实施例示意图，其中该
定位件14与该基座12接合端具有一第一中央区域16以及至少两第一侧 边区域18，其中该第一中央区域16与该些第一侧边区域18之间具有一段 差20。请进一步参考图2B，是本实用新型光罩盒的一较佳实施例段差示 意图，该段差20约0.1 约0.5mm，一般为便于基台操作，自基座12的最 低点至定位件14的最高点前高度为32mm，公差不得超过正负0.2mm， 而其功能即是使定位件14与基座12结合时减少高度的误差。
接着看图3，是本实用新型光罩盒基座与定位件的一实施例示意图， 上述的定位件14可为限制件或固定件，是以至少一锁固件22固设于该基 座12，其中该定位件14以嵌入方式固设于该基座12，此锁固件22可为 一插销、铆钉或螺丝，可为不锈钢材质或PEEK(polyetheretherketone，聚醚 醚酮)材质，该些锁固件22用以妥善固定定位件14于基座12之上；而上 述定位件14可为一高分子材料所形成，该高分子材料为聚醚醚酮类化合 物或聚酰亚胺类化合物；该定位件14亦可为一静电消散材质，该静电消 散材质电阻值为约104~约IO"Q，以上材质皆可视组合时所需自由调整。
上述光罩盒1可为光罩传送盒，其中该基座具有至少一第一锁固孔 24，该定位件14具有一第二锁固孔26对应该第一锁固孔24，且该锁固件 会贯穿该第一锁固孔24以及第二锁固孔26，并将该定位件14固定于该基 座12，该基座12包含至少一锁固座28，该锁固座28嵌设于该基座12， 其具有第一锁固孔24，此锁固座28以第一材质形成，而基座12是以第二 材质形成，其中该第一材质及第二材质可以为不同材质，第一材质可以是 金属，该第二材质可以是高分子材料，以上材质皆可视组合时所需自由调 整。
图4是本实用新型定位件另一实施例示意图，图5是该实施例的侧视 图，其包括一种光罩盒l， 一顶盖10与基座12组合，形成一内部空间可 容纳光罩，该基座12包括至少一定位件30，该定位件30可为限制件或固 定件，设置于该基座12面对该顶盖10的上表面，基座12包括至少包含 至少一定位件30,设置于该基座12面对该顶盖10的上表面，其中该定位件30与该顶盖10相对应端具有一第二中央区域32以及至少两第二侧边 区域34，其中该第二中央区域32具有一强化结构36，该些强化结构可使 定位件更为坚固，进一步妥善的提供光罩完整的支撑保护。
本实用新型另一实施例示意图为图6， 一种光罩盒l，其包括 一顶 盖10与基座12组合，形成一内部空间可容纳光罩，该基座包括至少一定 位件38，设置于该基座12面对该顶盖10的上表面，其中该定位件38上 设至少一支撑件40，该支撑件40上端具一点状凸块42，用以顶持该光罩。 其点状凸块42可使光罩与基座12保持最少及必需的支撑面积，避免因不 必要的摩擦而损伤光罩，'使得光罩寿命得以提高。
其中该支撑件40材质可为聚醚醚酮类化合物、聚酰亚胺类化合物或 静电消散材厘，该静电消散材质电阻值为约104~约IO"Q，同时，该定位 件38可为一体成形，定位件38与该支撑件40亦可为不同材质。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并非用以限定本实用新 型的权利要求范围；同时以上的描述，对于本领域技术人员来说应可明了 及实施，因此其它未脱离本实用新型所揭示的精神下所完成的等效改变或 修饰，均应包含在申请的权利要求范围中。
权利要求1、一种光罩盒，包括一顶盖；一基座，与该顶盖组合，形成一内部空间可容纳光罩，该基座包括；至少一定位件，设置于该基座面对该顶盖的上表面，其特征在于，该定位件与该基座接合端具有一第一中央区域以及至少两第一侧边区域，其中该第一中央区域与该些第一侧边区域之间具有一段差。
2、 如权利要求1所述的光罩盒，其特征在于，其中该定位件以至少 一锁固件固设于该基座。
3、 如权利要求2所述的光罩盒，其特征在于，其中该锁固件为一插 销、铆钉或螺丝。
4、 如权利要求2所述的光罩盒，其特征在于，其中该锁固件为不锈 钢材质或PEEK材质。
5、 如权利要求1所述的光罩盒，其特征在于，其中该定位件的该段 差为0.1 0.5mm。
6、 如权利要求1所述的光罩盒，其特征在于，其中该定位件为一高 .分子材料。
7、 如权利要求6所述的光罩盒，其特征在于，其中该高分子材料为 聚醚醚酮类化合物或聚酰亚胺类化合物。
8、 如权利要求1所述的光罩盒，其特征在于，其中该定位件为一静 电消散材质。
9、 如权利要求8所述的光罩盒，其特征在于，其中该静电消散材质 电阻值为1()4 10"Q。
10、 如权利要求1所述的光罩盒，其特征在于，其中该定位件为限制 件或固定件。
11、 如权利要求1所述的光罩盒，其特征在于，其中该光罩盒为光罩 传送盒。
12、 如权利要求1所述的光罩盒，其特征在于，其中该基座具有至少 一第一锁固孔，该定位件具有一第二锁固孔对应该第一锁固孔，且该锁固件会贯穿该第一锁固孔以及第二锁固孔，并将该定位件固定于该基座。
13、 如权利要求12所述的光罩盒，其特征在于，该基座包含至少一 锁固座具有该第一锁固孔，该锁固座为第一材质，该基座为第二材质。
14、 如权利要求13所述的光罩盒，其特征在于，其中该第一材质及第二材质为不同材质。
15、 如权利要求14所述的光罩盒，其特征在于，其中该第一材质为 金属，该第二材质为高分子材料。
16、 如权利要求13所述的光罩盒，其特征在于，其中该锁固座嵌设 于该基座。
17、 一种光罩盒，包括 一顶盖；一基座，与该顶盖组合，形成一内部空间可容纳光罩，该基座包括； 至少一定位件，设置于该基座面对该顶盖的上表面，其特征在于，其中该定位件与该顶盖相对应端具有一第二中央区域以及至少两第二侧边区域，其中该第二中央区域具有一强化结构。
18、 一种光罩盒，包括 一顶盖；一基座，与该顶盖组合，形成一内部空间可容纳光罩，该基座包括； 至少一定位件，设置于该基座面对该顶盖的上表面，其特征在于，该定位件上设至少一支撑件，该支撑件上端具一用以顶持该光罩的点状凸块。
19、 如权利要求18所述的光罩盒，其特征在于，其中该支撑件为聚 醚醚酮类化合物或聚酰亚胺类化合物。
20、 如权利要求18所述的光罩盒，其特征在于，其中该支撑件为静 电消散材质。
21、 如权利要求18所述的光罩盒，其特征在于，其中该定位件为一 体成形。
22、 如权利要求18所述的光罩盒，其特征在于，其中该定位件与该 支撑件为不同材质。
专利摘要一种光罩盒结构，特别是有关于一种具有定位件的光罩盒。此光罩盒由顶盖与基座组合而成，形成一内部空间可容纳光罩，该基座包括至少一定位件，设置于该基座面对该顶盖的上表面，其中该定位件与该基座接合端具有一第一中央区域以及至少两第一侧边区域，其中该第一中央区域与该些第一侧边区域之间具有一段差。
文档编号B65D85/38GK201245277SQ200820112518
公开日2009年5月27日 申请日期2008年4月25日 优先权日2008年4月25日
发明者林志铭 申请人:家登精密工业股份有限公司