专利名称：真空同步传送系统的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种基片的传送机构，尤其涉及一种适用于在真空密封系统中传
送基片的真空同步传送系统。
背景技术：
随着科学技术的迅猛发展，对工业工艺要求日益增高，真空技术在高科技产业 化的发展中展现出广阔的应用前景，尤其体现在对真空环境要求极高的数码显示面板产 业中。玻璃基片材料等薄板广泛应用于薄膜晶体管显示屏(LCD-TFT， Liquid Crystal Display-Thin Film Transistor)、有机发光显不器件饥ED， Organic Light-Emitting Diode)面板、薄膜太阳能面板应用及其他类似者的制程中，其中化学气相沉积制程(CVD， Chemical Vapor D印osition)、物理气相沉积制程沪(PVD，Physical Vapor D印osition)、 有机物质蒸镀、磁控溅射沉积或蚀刻制程均需要在真空密封环境下进行。由于此类制程的 工艺要求比较严格，即必须在真空状态下以及完全洁净的空间环境中进行，如有机发光二 极管的蒸镀制程，其沉积物为呈蒸汽状的有机物质，如有空气、水汽等存在的话极易与有机 蒸镀材料发生反应进而改变基片上的沉积物成分，影响其发光效应；再如，磁控溅射沉积制 程过程中，等离子体辉光放电后相互撞击空间内惰性气体使离子化程度达到雪崩状态，从 而大面积、大范围的撞击金属靶材，金属原子或/和原子团脱离靶材在磁力引导下沉积到 基底上，然此过程如密封不好、真空环境不足将严重影响辉光放电的程度，同时空气中的氧 气和水汽也会将靶材侵蚀，导致磁控溅射制程中断或/和沉积薄膜受到影响；类此种种玻 璃等基片的镀膜、覆膜制程，都必须要保证整个制程的真空系统的绝对可靠性。在此类制程 中，真空基片的同步传送就凸显了重要意义，真空基片同步传送的设计往往考验着用于整 个制程的真空系统的可靠性。现有的真空同步传送系统，如在薄膜太阳能电池板的生产线 中，传送基片的真空腔室内采用大量的滚轮、滚珠顶杆和吸盘，传动机构复杂，为了保证整 个传送系统的同步运行，一般采用一个驱动机构带动腔室内部的所有传送滚轮同步转动， 利用摩擦力匀速传送玻璃等基片。其中采用的同步机构一般为在腔室内用链轮、链条或同 步带轮、同步带将所有的传送部件联系在一起。在传送和加工过程中，很容易使基片出现刮 伤、污染和变形等缺陷，此种腔室内部的同步联系方式，由于链轮与链条或/和同步带轮与 同步带间的相对运动以及直接的物理接触会使来自驱动机构的污染源增多，给真空环境带 来污染。 因此，有必要提供一种高清洁度、无污染、结构简单紧凑、能够平稳、快速有效地同 步传送基片以及具有较高可靠性的真空同步传送系统。
实用新型内容本实用新型的目的是提供一种高清洁度、无污染、结构简单同时能够平稳、快速有
效地同步传送基片以及能最大限度的确保真空系统的可靠性的真空同步传送系统。
为实现上述目的，本实用新型的技术方案为提供了一种真空同步传送系统，包括驱动机构、传动机构、形成真空环境的密闭腔室，所述腔室内设有固定座，其中，所述传动机 构包括外传动机构、多组密封传动机构以及多组内传动机构，多组所述内传动机构与所述 腔室底部平行并对称分布在所述腔室内两侧，所述驱动机构与所述外传动机构设置在所述 腔室外，所述腔室两侧壁对应所述多组内传动机构开设有密封孔，所述密封传动机构安装 在所述密封孔中，所述外传动机构与所述密封传动机构的一端相连，所述内传动机构与所 述密封传动机构的另一端相连，所述内传动机构包括传动轴和承载基片的传送轮，所述传 动轴枢接地穿过所述固定座，所述传送轮固定在所述传动轴的一端，所述传动轴的另一端 连接所述密封传动机构，所述腔室内两侧的所述传送轮之间形成基片承载区，所述驱动机 构同步驱动所述外传动机构，所述外传动机构通过所述密封传动机构传送动力给所述传动 轴，所述传动轴带动所述传送轮转动。 较佳地，所述密封传动机构包括密封传动齿轮、密封盖、外磁环套以及内磁环套，
所述密封盖密封的安装于所述密封孔中，所述密封盖具有中空结构的凸起，所述外磁环套
固定套设在所述密封盖的凸起上，所述密封传动齿轮固定在所述外磁环套上，所述内磁环
套固定套设在所述传动轴上并容置于所述密封盖的凸起的中空结构内，所述外磁环套与所
述内磁环套均设有永磁体。所述外磁环套和所述内磁环套时刻保持磁联系，能够维持相对
的同步转动，形成无接触式永磁联轴结构，在密封的同时，通过磁力传动把来自腔室外的动
力同步传送给腔室内的内传动机构，有效保证了密封性能，解决了腔室内外动力传动过程
中的密封泄露问题。 较佳地，所述真空同步传送系统还包括密封圈，所述密封圈连接于所述腔室侧壁 与所述密封传动机构之间，使所述腔室保持静密封状态，能有效防止灰尘进入真空腔室内， 提高密封性能。 较佳地，所述外传动机构包括外传动齿轮、主动链轮、从动链轮以及链条，所述外 传动齿轮与所述从动链轮同轴枢接在所述腔室外壁上，所述外传动齿轮与所述密封传动机 构相连，所述主动链轮与所述驱动机构的输出轴固定连接，所述链条缠绕于所述主动链轮 与所述从动链轮上。利用链轮、链条、齿轮的配合协作将动力平稳传送给所述密封传动机 构。更具体地，所述外传动机构还包括联动轴和多个外传动齿轮，各所述外传动齿轮与所述 密封传动机构一一对应相连，各所述外传动齿轮与所述从动链轮均固定在所述联动轴上， 所述腔室外壁设有轴承座，所述联动轴枢接在所述轴承座上。通过同轴设计，所述外传动齿 轮能同时驱动对应的多组密封传动机构，从而实现腔室内多组内传动机构的同步转动，使 得基片传送更连续平稳可靠。 较佳地，所述腔室外设有两所述外传动机构，所述驱动机构与所述两外传动机构 任一相连，所述主动链轮为双排链轮，两双排链轮之间通过同步链条相连。通过同一驱动机 构同步驱动所述外传动机构，使所述腔室内的内传动机构充分有效地实现同步转动，从而 能更有效平稳地传送基片，增强所述真空传动系统同步传送的可靠性。 较佳地，所述传送轮呈阶梯状，具有高阶面和低阶面。所述基片承载于所述传送轮 上，一方面，所述传送轮的低台阶面能有效支撑所述基片，另一方面，所述传送轮的高台阶 面与所述低台阶面之间形成的壁面能对所述基片起限位作用，能有效防止基片在传送过程 中发生偏移，使基片传送更加平稳可靠。 较佳地，所述驱动机构为伺服电机。伺服电机响应速度快、精度高，能将输入的控制电压信号平稳快速转换为电机轴上的机械输出量，使得基片在同步传送的过程中快速有 效、精确且平稳可靠。 与现有技术相比，由于本实用新型的真空同步传送系统中用于提供动力的驱动机 构和用于传递驱动机构输出动力的外传动机构均设置在所述真空腔室外，所述密封传动机 构密封容置在所述腔室侧壁的密封孔中，所述内传动机构设置在所述腔室内，所述驱动机 构驱动所述外传动机构，所述外传动机构通过所述密封传动机构传送动力给所述内传动机 构，用于同步带动密封传动机构的外传动机构设置在腔室外部，方便维修和保养；所述内传 动机构包括传动轴和传送轮，结构简单紧凑，通过传送轮来传送基片，使真空腔室内的传动 部件达到最少，最大限度地避免因传动部件的直接物理接触或传动部件的润滑而给洁净真 空腔室带来污染，解决了传动机构本身引入真空系统污染的问题，大大的提高了清洁度。由 于本实用新型真空同步传送系统高清洁度、无污染、结构简单紧凑，能够平稳、快速有效地 同步传送基片，以及最大限度的确保真空系统的可靠性。因此比较适用于对真空环境要求 高的传送线上，尤其适合于LCD-TFT显示屏、有机发光显示器件(0LED)面板、薄膜太阳能面 板等大尺寸玻璃基材的真空镀膜、覆膜制程。
图1为本实用新型真空同步传送系统的立体示意图。 图2为图1所示真空同步传送系统的截面图。 图3为图2中A部分的放大示意图。
具体实施方式为了详细说明本实用新型的技术内容、构造特征，以下结合实施方式并配合附图 作进一步说明，其中不同图中相同的标号代表相同的部件。如图l-3所示，本实用新型公开 了一种真空同步传送系统，包括用于形成真空环境的密闭腔室100、驱动机构200、外传动 机构300、密封传动机构400以及内传动机构500，所述驱动机构200与外传动机构300均 设置在真空腔室100外，所述密封传动机构400设置在所述腔室100侧壁上，通过所述密封 传动机构400把来自所述外传动机构300的动力传送给所述内传动机构500，用于传送基 片600的内传动机构500设置在腔室100内，所述内传动机构500包括传动轴502和传送 轮504，通过传送轮504来传送基片600，使真空腔室100内的传动部件达到最少，解决了传 动机构本身引入真空系统污染的问题，大大的提高了清洁度。本实用新型真空同步传送系 统高清洁度、无污染、结构简单紧凑，能够平稳、快速有效地同步传送基片600，以及最大限 度的确保真空系统的可靠性，因此比较适用于对真空环境要求高的传送线上，尤其适合于 LCD-TFT显示屏、有机发光显示器件(OLED)面板、薄膜太阳能面板等大尺寸玻璃基片的真 空镀膜、覆膜制程。 参考图l-2，所述真空同步传送系统的密闭腔室100为任何直线型生产设备的传 送腔室100或任何包括线型传送装置的覆膜、镀膜腔室，腔室100形状和大小不固定，所述 腔室100由主体102和腔盖104配合形成，所述腔室100内两侧设置有固定座106，所述腔 室IOO外对应固定座106的两侧设置有轴承座108，所述腔室100的位于所述固定座106与 所述轴承座108之间的两侧壁开设有两排分别一一对应的密封孔110。所述真空同步传送
5系统的传动机构包括外传动机构300、多组密封传动机构400以及多组内传动机构500，多 组所述内传动机构500与所述腔室100底部平行并对称分布在所述腔室100内两侧，所述 腔室100两侧壁对应多组所述内传动机构500开设有密封孔110，所述密封传动机构400安 装在所述密封孔110中，所述外传动机构300与所述密封传动机构400的一端相连，所述内 传动机构500与所述密封传动机构400的另一端相连，所述内传动机构500包括传动轴502 和承载基片600的传送轮504，所述传动轴502枢接地穿过所述固定座106，所述传送轮504 固定在传动轴502的一端，传动轴502另一端连接所述密封传动机构400，所述腔室100内 两侧的所述传送轮504之间形成基片承载区，驱动机构200同步驱动外传动机构300，外传 动机构300通过密封传动机构400传送动力给传动轴502，传动轴502带动传送轮504转 动，从而实现对承载于所述传送轮504上的基片600的传送。 较佳地，所述传送轮504呈阶梯状，具有高阶面和低阶面。基片600承载于所述传 送轮504上，一方面，所述传送轮504的低台阶面能有效支撑所述基片600，另一方面，传送 轮504的高台阶面与所述低台阶面之间形成的壁面能对基片600起限位作用，能有效防止 基片600在传送过程中发生偏移，使基片600传送更加平稳可靠。 较佳地，参考图3，所述密封传动机构400包括密封传动齿轮402、密封盖404、外磁 环套406以及内磁环套408，所述密封盖404密封的安装于密封孔110中，所述密封盖404 具有中空结构的凸起，该中空部分与所述腔室100相通，所述外磁环套406固定套设在密封 盖404的凸起上，所述密封传动齿轮402固定在所述外磁环套406上，所述内磁环套408固 定套设在所述传动轴502上并容置于密封盖404中空结构内，所述外磁环套406与所述内 磁环套408均设有永磁体410。由于永磁体410相互之间的引力和斥力的作用，使外磁环 套406和内磁环套408时刻保持磁联系，能够维持相对的同步转动，形成无接触式永磁联轴 结构，在密封的同时，通过磁力传动把来自腔室100外的动力同步传送给腔室100内的内传 动机构500，有效保证了密封性能，解决了腔室内外动力传动过程中的密封泄露问题。较佳 地，所述真空同步传送系统还包括密封圈412，所述密封圈412为0型密封圈，设置在密封盖 404与腔室100侧壁之间，通过螺钉将所述密封盖404与0型密封圈412压在腔室100上， 使腔室100保持静密封状态，从而有效防止灰尘进入真空腔室100内，提高密封性能。 较佳地，所述外传动机构300包括多个外传动齿轮302、主动链轮304、从动链轮 306、链条308以及联动轴310，多个所述外传动齿轮302分别与多个所述密封传动机构400 的密封传动齿轮402 —一对应啮合，所述联动轴310枢接在腔室100外壁轴承座108中，多 个所述外传动齿轮302与所述从动链轮306同轴固定在联动轴310上，所述主动链轮304位 于从动链轮306的下方，且两者之间通过链条308连接，所述链条308缠绕于从动链轮306 和主动链轮304上，所述主动链轮304与所述驱动机构200的输出轴固定连接，所述主动链 轮304由驱动机构200驱动，并通过所述链条308带动从动链轮306转动。通过利用链轮、 链条、齿轮的配合协作将动力平稳传送给所述密封传动机构。通过同轴设计，多个所述外传 动齿轮302能同时驱动对应的多组密封传动机构400，从而实现腔室100内多组内传动机构 500的同步转动，使得基片600传送更连续平稳可靠。 在本实用新型的实施例中，所述腔室100外两侧设有两所述外传动机构300，所述 驱动机构200与两所述外传动机构300任一相连，两所述外传动机构300之间通过同步链 条312连接，驱动机构200驱动两外传动机构300同步运动，其中，所述外传动机构300的主动链轮304为双排链轮，所述主动链轮304的一链轮通过链条308与从动链轮306相连， 另一链轮通过同步链条312与腔室100另一侧的主动链轮304的其一链轮相连。通过同一 驱动机构200同步驱动所述外传动机构300，使腔室100内的内传动机构500充分有效地 实现同步转动，从而能更有效平稳地传送基片600，增强所述真空同步传送系统同步传送的 可靠性。可以理解地，所述外传动机构300可以采用其他形式的传动，例如带轮、同步带或 齿轮组等其他组合，任何可以与所述驱动机构200相连并可以将动力传送给密封传动机构 400的传动组均可用于本实用新型的外传动中。 较佳地，所述驱动机构200为伺服电机。伺服电机响应速度快、精度高，能将输入 的控制电压信号平稳快速转换为电机轴上的机械输出量，使得基片600在同步传送的过程 中快速有效、精确且平稳可靠。 以下对本实用新型真空同步传送系统的工作原理做进一步详细的说明 在本实用新型真空同步传送系统的传动过程中，通过控制驱动机构200驱动位于 所述腔室100 —侧的外传动机构300中的主链动轮304，同步链条312带动腔室100另一 侧的主动链轮304同步转动，所述主动链轮304通过链条308带动从动链轮306，从动链轮 306同轴带动多个外传动齿轮302转动，通过分别与多个密封传动齿轮402的啮合使所述 密封传动机构400中的外磁环套406以密封盖404端部为轴转动，所述外磁环套406上的 永磁体410与内磁环套上的永磁体410保持磁力联系，通过磁力作用使内磁环套408相对 外磁环套406做同向或反向的同速转动，继而带动内传动轴502同步转动，从而实现腔室 100内两侧的传动轮504随相应的传动轴502 —起转动，连续平稳地传送基片600。由于本 实用新型的真空同步传送系统中用于提供动力的驱动机构200和用于传递驱动机构输出 动力的外传动机构300均设置在所述真空腔室100夕卜，所述密封传动机构400设置在腔室 100侧壁上，所述内传动机构500设置在腔室100内，两外传动机构300设置在腔室100外 部，方便维修和保养；所述内传动机构500包括传动轴502和传送轮504，结构简单紧凑，通 过传送轮504来传送基片600，使真空腔室100内的传动部件达到最少，最大限度地避免因 传动部件的直接物理接触或传动部件的润滑而给洁净真空腔室100带来污染，解决了传动 机构本身引入真空系统污染的问题，大大的提高了清洁度。所述真空同步传送系统高清洁 度、无污染、结构简单紧凑，能够保证基片600平稳、快速有效的同步传送，以及最大限度的 确保真空系统的可靠性。 本实用新型真空同步传送系统所涉及的密封传动机构的磁力工作原理为本领域 普通技术人员所熟知，在此不再做详细的说明。 以上所揭露的仅为本实用新型的较佳实例而已，当然不能以此来限定本实用新型 之权利范围，因此依本实用新型权利要求所作的等同变化，仍属于本实用新型所涵盖的范围。
权利要求一种真空同步传送系统，包括驱动机构、传动机构、形成真空环境的密闭腔室，所述腔室内设有固定座，其特征在于所述传动机构包括外传动机构、多组密封传动机构以及多组内传动机构，多组所述内传动机构与所述腔室底部平行并对称分布在所述腔室内两侧，所述驱动机构与所述外传动机构设置在所述腔室外，所述腔室两侧壁对应所述多组内传动机构开设有密封孔，所述密封传动机构安装在所述密封孔中，所述外传动机构与所述密封传动机构的一端相连，所述内传动机构与所述密封传动机构的另一端相连，所述内传动机构包括传动轴和承载基片的传送轮，所述传动轴枢接地穿过所述固定座，所述传送轮固定在所述传动轴的一端，所述传动轴的另一端连接所述密封传动机构，所述腔室内两侧的所述传送轮之间形成基片承载区，所述驱动机构同步驱动所述外传动机构，所述外传动机构通过所述密封传动机构传送动力给所述传动轴，所述传动轴带动所述传送轮转动。
2. 如权利要求1所述的真空同步传送系统，其特征在于所述密封传动机构包括密封 传动齿轮、密封盖、外磁环套以及内磁环套，所述密封盖密封的安装于所述密封孔中，所述 密封盖具有中空结构的凸起，所述外磁环套固定套设在所述密封盖的凸起上，所述密封传 动齿轮固定在所述外磁环套上，所述内磁环套固定套设在所述传动轴上并容置于所述密封 盖的凸起的中空结构内，所述外磁环套与所述内磁环套均设有永磁体。
3. 如权利要求1所述的真空同步传送系统，其特征在于所述真空同步传送系统还包 括密封圈，所述密封圈连接于所述腔室侧壁与所述密封传动机构之间。
4. 如权利要求1所述的真空同步传送系统，其特征在于所述外传动机构包括外传动 齿轮、主动链轮、从动链轮以及链条，所述外传动齿轮与所述从动链轮同轴枢接在所述腔室 外壁上，所述外传动齿轮与所述密封传动机构相连，所述主动链轮与所述驱动机构的输出 轴固定连接，所述链条缠绕于所述主动链轮与所述从动链轮上。
5. 如权利要求4所述的真空同步传送系统，其特征在于所述外传动机构还包括联动 轴和多个外传动齿轮，各所述外传动齿轮与所述密封传动机构一一对应相连，各所述外传 动齿轮与所述从动链轮均固定在所述联动轴上，所述腔室外壁设有轴承座，所述联动轴枢 接在所述轴承座上。
6. 如权利要求4所述的真空同步传送系统，其特征在于所述腔室外设有两所述外传 动机构，所述驱动机构与所述两外传动机构任一相连，所述主动链轮为双排链轮，两双排链 轮之间通过同步链条相连。
7. 如权利要求1所述的真空同步传送系统，其特征在于所述传送轮呈阶梯状。
8. 如权利要求1所述的真空同步传送系统，其特征在于所述驱动机构为伺服电机。
专利摘要本实用新型公开了一种真空同步传送系统，包括真空腔室、腔室外的驱动机构和外传动机构、容置在腔室侧壁密封孔中的密封传动机构以及布设在腔室内两侧的内传动机构，所述驱动机构同步驱动外传动机构，所述密封传动机构一端与外传动机构相连，另一端与内传动机构相连，所述内传动机构包括传动轴和传送轮，所述传动轴一端与密封传动机构相连，另一端与传送轮相连，通过传送轮来传送基片等薄板材料，使真空腔室内的传动部件达到最少，解决了传动机构本身引入真空系统污染的问题，大大提高了清洁度。本实用新型真空同步传送系统高清洁度、无污染、结构简单紧凑，能够平稳、快速有效地实现基片的同步传送，最大限度的确保真空系统的可靠性。
文档编号B65G49/06GK201506633SQ20092019398
公开日2010年6月16日 申请日期2009年9月3日 优先权日2009年9月3日
发明者余超平, 刘惠森, 杨明生, 王勇, 王曼媛, 范继良 申请人:东莞宏威数码机械有限公司