专利名称：基板传输装置、基板传输方法及基板传输系统的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种机械搬运装置，尤其涉及的是一种基板传输装置、基板传输方法及基板传输系统。
背景技术：
在半导体制造过程中，需要在真空环境中实现晶片传输，比如专利公开号为 2912932的中国专利提出了一种基片传输机械手装置，具体参见图1所示，包括机械手臂 5、直线导轨6、驱动盘7、机械手支架8、回转盘9、张紧轮10和钢带(图1中未示出)，其中 机械手臂5安装在回转盘9上，回转盘9位于机械手支架8上，机械手支架8下安装直线导轨6 ；钢带绕制在回转盘9、张紧轮10、驱动盘7上，该装置从晶片盒2中取片经过真空锁3 送到定向台4，定向台4完成晶片定向，再将晶片送到晶片台1。当对晶片的处理完成后，再由该装置将晶片送到晶片盒2。但是图1所示的装置不但结构复杂，所传输的基片面积比较小，而且当机械手臂5从直线导轨6的一端滑至另一端时，直线导轨6容易因受重不均衡而变形，增加了基板传输过程中的不安全性。在薄膜太阳能电池的制备领域中，基板也需要用搬运装置从基板装载台搬运到处理腔室，当处理腔室完成基板的处理后，还需要将基板从处理腔室搬运到基板卸载台。图 2示出了现有的一种薄膜太阳能电池制造的基板传输系统，包括基板装载台11、基板卸载台12、处理腔室13、真空传输腔室14和基板传输装置，其中基板传输装置设置在所述真空传输腔室14内，用于将基板从基板装载台11搬运到处理腔室13，再将处理后的基板从处理腔室13搬运到基板卸载台12。所述基板传输装置至少包括转台15、滑轨16和搬运机械手17，其中所述滑轨16位于所述转台15上，所述搬运机械手17位于所述滑轨16上，所述搬运机械手17沿滑轨16进行滑动以执行所述搬运动作，所述转台15用于旋转所述搬运机械手17以配合所述搬运动作。随着技术的发展，制备薄膜太阳能电池中的基板面积变得越来越大，至少在1平方米以上，因此导致滑轨16的受重大大增加。此时当搬运机械手17滑行至滑轨16的一端时，滑轨16容易因受重不均衡而变形，导致基板的传输位置产生误差，又由于基板多为玻璃基板，传输位置稍有误差，就有可能导致基板的碰撞破损等，因此增加了基板传输过程中的不安全性。
发明内容
本发明的目的是提供一种基板传输装置、基板传输方法及基板传输系统，解决现有技术中滑轨因受重变形，从而导致基板传输不安全的问题。为解决上述问题，本发明提供了一种基板传输装置，所述基板传输装置设置于真空传输腔室内，包括转台，设置于所述真空传输腔室的底面上；滑轨；搬运机械手，位于所述滑轨上，其特征在于，还包括位于所述滑轨和所述真空传输腔室的底面之间的支撑结构，用于防止所述滑轨受重变形。
可选地，所述支撑结构位于所述滑轨的下表面上。可选地，所述支撑结构位于所述真空传输腔室底面上。可选地，所述真空传输腔室连接有处理室，每个所述处理室具有至少两个子处理室，所述搬运机械手包括至少两层承载臂，所述搬运机械手用于同时从所述处理腔室搬运至少两片基板。可选地，所述搬运机械手的表面包覆一层防热外壳。可选地，所述支撑结构为螺钉、滚轮或辊子。可选地，所述支撑结构的数量为偶数。可选地，所述支撑结构以转台为中心对称分布。可选地，所述支撑结构间的间距不相等。可选地，所述支撑结构间的间距随着与转台距离的增加而减小。可选地，所述转台的直径小于或者等于所述滑轨的宽度。可选地，所述支撑结构的形状为半圆体或锥体。可选地，所述支撑结构的数量为2个，且分别位于所述滑轨的两端。可选地，所述支撑结构通过机械方式固定在所述滑轨的下表面或者所述真空腔室底面上。可选地，所述支撑结构与所述滑轨或者所述真空腔室底部为一体。可选地，位于转台同一侧的所述支撑结构沿滑轨长度方向的垂直截面为楔形。为解决上述问题，本发明还提供了一种包括上述基板传输装置的基板传输系统。为解决上述问题，本发明还提供了一种上述基板传输装置的基板传输方法，包括装载或卸载基板；所述搬运机械手沿所述滑轨滑动，当所述搬运机械手滑行至所述滑轨的一端时， 所述滑轨通过所述支撑结构与所述真空传输腔室底面接触。可选地，所述基板传输方法还包括当所述搬运机械手的重心与所述转台的中心重合时，所述搬运机械手停止沿所述滑轨滑动；旋转所述转台，使所述滑轨指向预定方向。与现有技术相比，本发明具有以下优点1)所述支撑结构的设置，可以防止所述滑轨受重变形，增大了基板搬运过程中的安全性。2)所述支撑结构并没有始终起支撑作用，从而减小了滑轨的转动阻力。3)所述支撑结构既可以位于滑轨的下表面，也可以位于真空传输腔室底面，位置比较灵活，可根据具体情况进行选择。4)所述支撑结构为半圆体或锥体时，其与所述真空传输腔室底面或者滑轨下表面点接触，以减少所述搬运机械手旋转过程中的阻力。5)所述搬运机械手呈叉状排，具有多个水平延伸的搬运机械臂，相应的处理腔室呈堆叠状；因此，可以同时搬运和处理多片基板，增加了基板传输和处理的效率。6)所述搬运机械手的表面可以包覆一层防热外壳，以保证搬运机械手可以长时间工作在高温环境中。7)所述支撑结构的形状和数量都没有限制，进而可选用螺钉、滚轮或辊子等作为支撑结构，使得所述支撑结构的装配更加容易。8)所述支撑结构的数量为偶数，且支撑结构以转台为中心对称分布时，可在搬运基板的过程中，滑轨两端受到的支撑相同。9)所述支撑结构间的间距可以相等，也可以不相等，位置设置灵活；优选地，所述支撑结构间的间距随着与转台距离的增加而减小，以增强其在滑轨两端的支撑能力。10)所述转台的直径可以小于或者等于所述滑轨的宽度，现有技术中由于没有支撑结构，因此转台的直径多大于滑轨的宽度，从而本发明降低了转台的尺寸和成本。11)所述支撑结构为2个，且分别位于所述滑轨的两端，可简单有效的防止滑轨受重变形，保证基板传输的安全性。12)所述支撑结构既可以通过机械方式固定在所述滑轨的下方或者所述真空腔室底面上，也可以与所述滑轨或者所述真空腔室底部为一体，实现方式多样。13)位于转台同侧的所述支撑结构分别构成一个截面为楔形，以最大限度的对所述滑轨进行支撑，增强支撑结构的辅助支撑能力。14)所述搬运机械手的重心与所述转台的中心重合时，才旋转所述转台使所述滑轨指向预定方向，以使得所述支撑结构可以不与所述滑轨或者所述真空传输室底面进行接触，进一步地避免了支撑结构给滑轨转动带来阻力。
图1是现有技术中基片传输机械手装置的结构示意图；图2是现有技术中薄膜太阳能电池制造中的基板传输系统结构示意图；图3是本发明实施例1中基板传输装置的俯视图；图4是沿图3中A-A方向的截面图；图5是本发明实施例2中基板传输系统的俯视图；图6是本发明实施例3中基板传输装置的俯视图；图7是沿图6中B-B方向的截面图。
具体实施例方式为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式
做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明，但是本发明还可以采用其他不同于在此描述的其它方式来实施，因此本发明不受下面公开的具体实施例的限制。正如背景技术部分所述，现有技术中随着基板的面积变得越来越大，从而滑轨的负重大大增加，此时当搬运机械手滑行至滑轨的一端时，滑轨容易因受重不均衡而变形，增加了基板传输过程中的不安全性。因此，在薄膜太阳能电池的制备过程中，为防止上述缺陷的产生，本发明提供了一种基板传输装置，所述基板传输装置设置于真空传输腔室内，包括转台，设置于所述真空传输腔室的底面上；滑轨，与所述转台相配合；搬运机械手，位于所述滑轨上；支撑结构，位于所述滑轨和所述真空传输腔室的底面之间，用于防止所述滑轨受重变形。
为防止上述缺陷的产生，本发明还提供了一种包括上述基板传输装置的基板传输系统。为防止上述缺陷的产生，本发明还提供了一种上述基板传输装置的基板传输方法，包括装载或卸载基板；所述搬运机械手沿所述滑轨滑动，当所述搬运机械手滑行至所述滑轨的一端时，所述滑轨通过所述支撑结构与所述真空传输腔室底面接触。本发明在现有的基板传输装置中，增加了支撑结构，至少当基板传输装置中的搬运机械手转动到滑轨一端时，所述支撑结构起支撑作用，可以防止所述搬运机械手滑行到滑轨一端时，滑轨因受重而变形，从而增大了基板传输过程中的安全性；同时，支撑结构并没有始终起支撑作用，从而减小了基板传输装置的转动阻力。下面结合附图分别进行详细说明。实施例1参见图3，本实施例提供的基板传输装置设置于真空传输腔室内，包括转台22， 设置于所述真空传输腔室底面21上；滑轨23，位于所述转台22上；搬运机械手对，位于所述滑轨23上；支撑结构25，位于所述滑轨23和所述真空传输腔室底面21之间，用于防止所述滑轨23受重变形。本实施例中转台22用于支撑所述滑轨23并带动所述滑轨23转动，由于本实施例中具有支撑结构25，当搬运机械手M在滑轨23上沿滑轨23滑动至所述搬运机械手M的重心偏离所述转台22重心某一位置，位于所述滑轨23和所述真空传输腔室底面21之间的支撑结构25便会发挥辅助支撑所述滑轨23的作用，替转台22分担了部分载重，因此本实施例中可以选用小尺寸的转台22，即所述转台22的直径可以小于所述滑轨23的宽度。优选地，本实施例中所述转台33设置在所述滑轨23中心的正下方。在本发明的其他实施例中，所述转台还可以设置在所述滑轨的下方，但所述转台并没有在所述滑轨的中心下方，只要转台能旋转所述滑轨，且使搬运机械手沿滑轨滑动即可。在本发明的具体实施方式
中，基板传输系统中的处理腔室采用了堆叠的方式，每个处理腔室包括三个子处理室，每个子处理室处理一块基板，这样每个处理腔室可同时处理三块基板，相应地，参见图4，本实施例中所述搬运机械手M具有堆叠设置的三个搬运机械臂，因此，搬运机械手M可同时搬运三块基板，提高了基板的搬运效率。经过处理腔室进行处理后的基板温度较高，具体在本发明的薄膜太阳能电池制备中处理后的基板温度位于100°c 200°C之间，若搬运这样较高温度的基板，则将导致搬运机械手M被加热。当搬运机械手M的温度长时间处于高温时，便会发生形变。如果搬运机械手发生较大形变，显然会影响到传输的精确性，且可能导致基板的碰撞破损等，从而搬运机械手无法完成搬运基板的任务。因此，本实施例在所述搬运机械手M表面包覆一层防热外壳，所述防热外壳的材质为铝箔，且所述防热外壳的厚度的取值范围为0. OOlmm 0. 03mm,优选地，所述防热外壳的厚度范围为0. 007mm 0. 01mm。本实施例中防热外壳的厚度具体为 0. 001mm、0. 005mm、0. 007mm、0. 008mm、0. 009mm、0. 01mm、0. 015mm、0. 02mm、 0. 025mm 0. 03mm。参见图3和图4，本实施例中的支撑结构25位于所述滑轨23的下表面上，且所述支撑结构25与所述滑轨23的材质相同，两者为一体。需要说明的是，在本发明的其他实施例中，所述支撑结构与所述滑轨的材质可以不同，所述支撑结构通过机械方式或粘贴方式固定在所述滑轨的下表面上。再次参见图3和图4，本实施例中的支撑结构25的形状为半球体，支撑结构25的数量为偶数，具体为六个，这六个支撑结构25沿滑轨的长度方向排布，且以转台22为中心对称分布。考虑到滑轨23在长期使用后，会发生塑性形变，且越靠近滑轨23的边缘，所述滑轨23发生的塑性形变量越大，所述滑轨23处与所述真空传输腔室底面21之间的距离也就越小，为防止所述支撑结构25因滑轨23的塑性形变而在转动时与所述真空传输腔室底面 21发生摩擦，因此，需要的支撑结构25的尺寸越小，因此位于转台22同一侧的三个支撑结构25的尺寸不相等，且所述支撑结构25的尺寸随着与转台22距离的增加而减小。为了实现滑轨23随转台22发生旋转，所述支撑结构25的高度应小于所述转台22的高度。考虑到搬运机械手M越靠近滑轨23的边缘，所述滑轨23发生的形变越大，基板传输过程中的危险性也越大，因此本实施例中所述支撑结构25间的间距不相等，且所述支撑结构25间的间距随着与转台22距离的增加而减小，以使所述搬运机械手M越靠近滑轨23的边缘时， 所述滑轨23得带越多的支撑，增大了基板搬运的安全性。需要说明的是，本发明并不限制所述支撑结构25的具体数量和形状，所述支撑结构25的具体数量可以是2个或多个，所述支撑结构25的形状可以为半球体、锥体、柱体或长方体等等，因此支撑结构25可选用螺钉、滚轮或辊子等。如当支撑结构25为螺钉时，所述螺钉的顶面为圆形的抛光面，螺钉钉入滑轨的下表面上，使得螺钉的顶面与所述真空传输腔室底面21接触，这样使得所述滑轨23旋转时的阻力较小。优选地，所述支撑结构25 为半圆体或锥体，如此，在所述滑轨23旋转过程中，若所述支撑结构25与所述真空传输腔室底面之间发生接触，那么这个接触也只为点接触，因此可以减少所述述滑轨23旋转过程中的转动阻力。在本发明另一个优选的实施例中，所述支撑结构为2个，且分别位于所述滑轨的两端，可简单有效的阻止滑轨受重变形，保证基板传输的安全性。本实施例中具有支撑结构25，当基板传输装置中的搬运机械手M滑动到滑轨23 的一端时，所述支撑结构25起支撑作用，从而可以防止所述搬运机械手M滑行到滑轨23 一端时，滑轨23因受重而变形，从而增大了基板传输过程中的安全性；同时，支撑结构25并不是始终起支撑作用，从而减小了基板传输装置的转动阻力。且本实施例中支撑结构25的数量为偶数、所述支撑结构25以转台22为中心对称分布、且所述支撑结构25间的间距随着与转台22距离的增加而减小，这样可以使所述搬运机械手M越靠近滑轨23的边缘时，所述滑轨23得带越多的支撑，增大了基板搬运的安全性。本实施例还提供了一种包括上述基板传输装置的基板传输系统。本实施例还提供了一种上述基板传输装置的基板传输方法，包括装载或卸载基板；所述搬运机械手M沿所述滑轨23滑动，当所述搬运机械手M滑行至所述滑轨23的一端时，所述滑轨23通过所述支撑结构25与所述真空传输腔室底面21接触。实施例2如图5所示，本实施例提供了一种基板传输系统，包括基板装载台31 ；基板卸载台32 ；第一处理腔室33a、第二处理腔室3 和第三处理腔室33c ；真空传输腔室34，所述真空传输腔室34的侧壁围成的形状呈正五边形，且所述基板装载台31、基板卸载台32和3个处理腔室分别设置在所述侧壁的外侧，并且与所述真空传输腔室34连接；基板传输装置，所述基板传输装置设置在所述真空传输腔室34内，用于将基板从基板装载台31搬运到处理腔室，再将处理后的基板从处理腔室搬运到基板卸载台32。需要说明的是，所述真空传输腔室的侧壁围成的形状还可以为六边形、七边形或其他任一多边形，此外，还可以在真空传输腔室没有设置处理腔室、基板装载台或基板卸载台的边上设置维修口，从而方便整个系统的维修。参见图5，本实施例中所述的基板传输装置包括转台35，设置于所述真空传输腔室34的底面上，用于旋转搬运机械手37 ；滑轨36，位于所述转台35上；搬运机械手37，位于所述滑轨36上；第一支撑结构38a、第二支撑结构38b、第三支撑结构38c、第四支撑结构 38d和第五支撑结构38e，这五个支撑结构都位于所述滑轨36和所述真空传输腔室34底面之间，用于防止所述滑轨36受重变形。本实施例中处理腔室34只包括一个子处理室，相应地，所述搬运机械手37为单层，每次也搬运一块基板。本实施例中所述转台35的直径也小于所述滑轨36的宽度，从而降低了转台35的尺寸和成本。本实施例中的五个支撑结构都位于所述真空腔室35的底面上，且所述支撑结构与所述真空腔室35底面的材质相同，两者为一体。需要说明的是，在本发明的其他实施例中，所述支撑结构与所述真空腔室底面的材质可以不同，所述支撑结构通过机械方式或粘贴方式固定在所述真空腔室35的底面上。本实施例中的支撑结构为大小相等的正方体，该正方体的高度小于所述转台35 的高度，具体本实施例中的支撑结构共有五个，这五个支撑结构以转台35为中心对称分布，各支撑结构间的间距相等，且第一支撑结构38a靠近所述第一处理腔室33a对应的正五边形的边平行设置，当所述所述滑轨36垂直于上述边时，第一支撑结构38a位于所述滑轨 36 一端的正下方；第二支撑结构38b靠近所述第二处理腔室3 对应的正五边形的边平行设置，当所述所述滑轨36垂直于上述边时，第二支撑结构38b位于所述滑轨36 —端的正下方；第三支撑结构38c靠近所述第三处理腔室33c对应的正五边形的边平行设置，当所述所述滑轨36垂直于上述边时，第二支撑结构38c位于所述滑轨36 —端的正下方；第四支撑结构38d靠近所述基板卸载台32对应的正五边形的边平行设置，当所述所述滑轨36垂直于上述边时，第二支撑结构38d位于所述滑轨36 —端的正下方；第五支撑结构38e靠近所述基板卸载台31对应的正五边形的边平行设置，当所述所述滑轨36垂直于上述边时，第二支撑结构38e位于所述滑轨36 —端的正下方。所述第二处理腔室具有与所述真空传输腔室连接的阀门(图未示)，结合图5所示，当基板传输装置需从第二处理腔室3 搬运基板时，滑轨36随转台35转动到与第二处理腔室33b的阀门相对应的方向，随后，搬运机械手37则沿着所述滑轨36滑动至所述第二处理腔室33b，以使所述承载臂置于所述第二处理腔室内，此时，第二支撑结构38b发挥辅助支撑的作用，避免了滑轨36因受重而变形。以此类推，可得看出其他四个支撑结构的作用。需要说明的是，本发明并不限制所述支撑结构形状，所述支撑结构的形状可以为半圆体、锥体、柱体或长方体等等，因此支撑结构25可选用螺钉、滚轮或辊子等；本发明也不限制所述支撑结构的数量，为了进一步减小滑轨受重变形，如还可以在每个支撑结构与转台之间添加1个或多个支撑结构，这些支撑结构可以以转台为中心对称分布，也可以不以转台为中心对称分布；这些支撑结构的形状可以相同，也可以不相同。本实施例还提供了一种上述基板传输装置的基板传输方法，包括装载或卸载基板；所述搬运机械手37沿所述滑轨36滑动，当所述搬运机械手37滑行至所述滑轨36的一端时，所述滑轨36通过所述支撑结构与所述真空传输腔室34底面接触。下面以将基板从基板装载台31传输到第二处理腔室33b为例，进行详细说明，此时所述搬运机械手37正好位于所述滑轨36的一端且所述搬运机械手37位于所述基板装载台31的阀门前。第一步，搬运机械手37从基板装载台31上装载基板，所述滑轨36通过所述第五支撑结构38e与所述真空传输腔室34底面接触，此时所述转台35起主要支撑作用，所述第五支撑结构38e起辅助支撑作用；第二步，所述搬运机械手37沿所述滑轨36滑动，当所述搬运机械手37滑动到滑轨36的中心时，即所述搬运机械手37的重心与所述转台35的中心重合时，所述搬运机械手37停止沿所述滑轨36滑动；第三步，旋转所述转台35，使所述滑轨36指向预定方向，本实施例中通过旋转所述转台35，使所述滑轨36与所述第二处理腔室3 所在的真空传输腔室34的边垂直；第四步，所述搬运机械手37继续沿所述滑轨36滑动，使所述搬运机械手37到达目的位置，本实施例中使所述搬运机械手37沿滑轨36滑动至第二处理腔室3 的阀门前， 即所述搬运机械手37位于所述滑轨36的一端，此时所述滑轨36通过所述第二支撑结构 38b与所述真空传输腔室34底面接触，此时所述转台35起主要支撑作用，所述第二支撑结构38b起辅助支撑作用；第五步，将搬运机械手37上的基板卸载到第二处理腔室33b，从而完成基板从基板装载台31到第二处理腔室33b的传输。本实施例中当所述搬运机械手37的重心与所述转台35的中心重合时，才旋转所述转台35使所述滑轨36指向预定方向，以使得所述支撑结构可以不与所述滑轨36进行接触，进一步地避免了支撑结构给滑轨36转动带来阻力。需要说明的是，本发明的基板传输方法并不限于此，还可以在搬运机械手沿滑轨滑动的过程中，旋转所述转台；或者先旋转所述转台至预定方向，再使搬运机械手沿滑轨滑动至目的位置；或者先使搬运机械手沿滑轨滑动至目的位置，再旋转所述转台至预定方向。实施例3如图6和图7所示，本实施例提供的基板传输装置，包括转台42，设置于所述真空传输腔室底面41上；滑轨43，位于所述转台42上；搬运机械手44，位于所述滑轨43上； 支撑结构45，位于所述滑轨43和所述真空传输腔室底面41之间，用于防止所述滑轨43受
重变形。本实施例中转台42的直径小于所述滑轨43的宽度，搬运机械手44呈叉状排布， 具体为两层。本实施例中支撑结构45位于所述滑轨43的下表面上，且所述支撑结构45与所述滑轨43的材质相同，两者为一体。需要说明的是，在本发明的其他实施例中，所述支撑结构与所述滑轨的材质可以不同，所述支撑结构通过机械方式或粘贴方式固定在所述滑轨的下表面上。本实施例中的支撑结构45以转台42为中心对称分布，且位于转台42同一侧的所述支撑结构45为一个沿滑轨长度方向的垂直截面为楔形，具体地，可以为直角梯形的斜面体，为了不影响转台42的转动，所述转台42与所述支撑结构45间有间隙。本实施例中在滑轨长期工作后，其靠近滑轨43的边缘的塑性形变越大，所述滑轨 43与所述真空传输腔室底面41之间的距离越小，因此需要的支撑结构25的尺寸越小，这样就可以防止所述支撑结构25因滑轨23的塑性形变而在转动时与所述真空传输腔室底面 21发生摩擦，保障基板传输过程中的安全性。在本发明的其他实施例中，所述支撑结构还可以位于所述真空传输腔室底面41 上；所述转台两侧的支撑结构可以不对称分布；所述支撑结构可以只在滑轨的中间，而不在滑轨的端部等等。本实施例还提供了一种包括本实施例所述的基板传输装置的基板传输系统。本实施例还提供了一种上述基板传输装置的基板传输方法，包括装载或卸载基板；所述搬运机械手44沿所述滑轨43滑动，当所述搬运机械手44滑行至所述滑轨43的一端时，所述滑轨43通过所述支撑结构45与所述真空传输腔室底面41接触。虽然本发明己以较佳实施例披露如上，但本发明并非限定于此。任何本领域技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与修改，因此本发明的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。
权利要求
1.一种基板传输装置，所述基板传输装置设置于真空传输腔室内，包括转台，设置于所述真空传输腔室的底面上；滑轨，搬运机械手，位于所述滑轨上，其特征在于，还包括位于所述滑轨和所述真空传输腔室的底面之间的支撑结构，用于防止所述滑轨受重变形。
2.根据权利要求1所述的基板传输装置，其特征在于，所述支撑结构位于所述滑轨的下表面。
3.根据权利要求1所述的基板传输装置，其特征在于，所述支撑结构位于所述真空传输腔室底面。
4.根据权利要求2或3所述的基板传输装置，其特征在于，所述支撑结构通过机械方式或粘贴方式固定在所述滑轨的下表面或者所述真空腔室底面上。
5.根据权利要求2或3所述的基板传输装置，其特征在于，所述支撑结构与所述滑轨或者所述真空腔室底部为一体。
6.根据权利要求1所述的基板传输装置，其特征在于，所述真空传输腔室连接有处理室，每个所述处理室具有至少两个子处理室，所述搬运机械手包括至少两层承载臂，所述搬运机械手用于同时从所述处理腔室搬运至少两片基板。
7.根据权利要求1所述的基板传输装置，其特征在于，所述搬运机械手的表面包覆一层防热外壳。
8.根据权利要求1所述的基板传输装置，其特征在于，所述支撑结构为螺钉、滚轮或辊子。
9.根据权利要求1所述的基板传输装置，其特征在于，所述支撑结构的数量为偶数。
10.根据权利要求9所述的基板传输装置，其特征在于，所述支撑结构以转台为中心呈中心对称分布。
11.根据权利要求1所述的基板传输装置，其特征在于，所述支撑结构间的间距不相寸。
12.根据权利要求11所述的基板传输装置，其特征在于，所述支撑结构间的间距随着与转台距离的增加而减小。
13.根据权利要求1所述的基板传输装置，其特征在于，所述转台的直径小于或者等于所述滑轨的宽度。
14.根据权利要求1所述的基板传输装置，其特征在于，所述支撑结构的形状为半圆体或锥体。
15.根据权利要求1所述的基板传输装置，其特征在于，所述支撑结构的数量为2个，且分别位于所述滑轨的两端。
16.根据权利要求1所述的基板传输装置，其特征在于，位于转台同一侧的所述支撑结构沿滑轨长度方向的垂直截面为楔形。
17.—种包括权利要求1至16中任一项所述的基板传输装置的基板传输系统。
18.一种根据权利要求1至16中任一项所述的基板传输装置的基板传输方法，包括 装载或卸载基板；所述搬运机械手沿所述滑轨滑动，当所述搬运机械手滑行至所述滑轨的一端时，所述滑轨通过所述支撑结构与所述真空传输腔室底面接触。
19.根据权利要求18所述的基板传输方法，其特征在于，还包括当所述搬运机械手的重心与所述转台的中心重合时，所述搬运机械手停止沿所述滑轨滑动；旋转所述转台，使所述滑轨指向预定方向。
全文摘要
一种用于搬运大面积基板的基板传输装置、基板传输方法及基板传输系统，所述基板传输装置设置于真空传输腔室内，包括转台，设置于滑轨的下方，用于旋转所述滑轨；滑轨；搬运机械手，位于所述滑轨上；位于所述滑轨和所述真空传输腔室底面之间的支撑结构，用于防止所述滑轨受重变形。本发明增加了支撑结构，当基板传输装置中的搬运机械手转动到滑轨一端时，所述支撑结构起支撑作用，可以防止所述搬运机械手滑行到滑轨一端时，滑轨因受重而变形，从而增大了基板传输过程中的安全性；支撑结构并不是始终起支撑作用，从而减小了基板传输装置的转动阻力。
文档编号B65G47/90GK102530556SQ20101059758
公开日2012年7月4日 申请日期2010年12月20日 优先权日2010年12月20日
发明者吴红星, 胡兵 申请人:理想能源设备有限公司