专利名称：一种存片装置的制作方法
技术领域：
一种存片装置技术领域[0001]本实用新型涉及硅片自动下片设备，尤其涉及一种用于链式清洗、刻蚀辅[0002]助下片设备自动下片后的存片装置。
背景技术：
[0003]现有的自动下片设备在使用环境发生变化时，比如未及时更换片篮，断[0004]气或断电，元器件不能正常工作等无法正常下片的情况下，造成硅片的破片损[0005]失。实用新型内容[0006]本实用新型的目的是针对上述现有技术存在的缺陷，提出一种用于链式清[0007]洗、刻蚀辅助下片设备自动下片后的存片装置。[0008]本实用新型采用以下技术方案是，设计一种存片装置，包括依次连接的传动滚轮 和下片传输带，其中，所述的下片传输带与一升降装置连接，其下方可拆卸地连接一存片盒。[0009]所述的连接传动滚轮与下片传输带可以采用皮带传动带，或滚轮传动带。[0010]所述的传动滚轮与下片传输带可以直接相连，或中间增加其他传动带。[0011]与现有技术相比，本实用新型有效的防止了自动下片机在使用环境发生变化的情 况下造成硅片破片损失。
[0012]图1是本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
[0013]
以下结合附图和实施例对实用新型进行详细的说明。[0014]本实用新型设计的存片装置包括依次连接的传动滚轮I和下片传输带2。[0015]下片传输带2与一升降装置连接，可上下移动。下片传输带2的下方安装有可随 下片传输带2上下升降可存放硅片的存片盒3。[0016]传动滚轮I和下片传输带2可以采用皮带传动带，或滚轮传动带。[0017]下片机正常工作时，传动滚轮I和下片传输带2在一个平面，硅片4经传动滚轮和 下片传输带送至指定位置。当下片机使用环境发生变化时，下片传输带2上升带动存片盒 3上升，硅片直接进入存片盒3。[0018]本实用新型还可以包括一报警装置，当升降装置触发时启动报警信号。本实用新 型设计的存片装置可安装在下片机的前端或后端。[0019]本实用新型将下片传输带设计成可上下移动的结构，在非正常状态下有效的防止 了硅片的破片损失。[0020]上述实施例仅用于说明本实用新型的具体实施方式
。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思 的前提下，还可以做出若干变形和变化，这些变形和变化都应属于本实用新型的保护范围。
权利要求1.一种存片装置，包括依次连接的传动滚轮(I)和下片传输带(2)，其特征在于所述的下片传输带(2)与一升降装置连接，其下方可拆卸地连接一存片盒(3)。
2.如权利要求1所述的存片装置，其特征在于所述的传动滚轮(I)和下片传输带(2)采用皮带传动带。
3.如权利要求1所述的存片装置，其特征在于所述的传动滚轮(I)和下片传输带(2)采用滚轮传动。
4.如权利要求1所述的存片装置，其特征在于还包括所述触发升降装置触发时启动的报警装置。
专利摘要本实用新型公开了一种存片装置，包括依次连接的传动滚轮(1)和下片传输带(2)，其中，所述的下片传输带(2)与一升降装置连接，其下方可拆卸地连接一存片盒(3)。本实用新型有效的防止了自动下片机在使用环境发生变化的情况下造成硅片破片损失。
文档编号B65G43/00GK202880427SQ20122045435
公开日2013年4月17日 申请日期2012年9月7日 优先权日2012年9月7日
发明者磨建新, 谢鑫, 陆小竟 申请人:深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司