专利名称：一种带节气装置的高纯水氮封水箱的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种半导体设备，具体涉及一种高纯水氮封水箱。
背景技术：
在现有技术中，高纯水均有绝缘的特点，常用于洗清半导体元器件。在使用中，纯水箱中电阻率较低的纯水经EDI (连续电去离子装置)转化后形成高纯水，并将高纯水输入存满氮气的高纯水氮封水箱进行存储，利用氮气的隔绝作用实现高纯水与空气、二氧化碳、杂质隔离，确保高纯水始终保持较高的电阻率。现有的高纯水氮封水箱包括水箱、进水管、出水管以及用于氮气流通的供气管、排气管，进水管上设有开关型阀门，水箱内设有测量水位的压力感应器，在使用时，压力感应器被设置在一个正常水位范围内，当水箱内的水位低于正常水位范围的最低值时，阀门打开，经EDI处理的高纯水流入水箱中，当水位回复至正常水位范围的最高值时，阀门关闭，经EDI处理的高纯水通过分叉管路回流至纯水水箱，这种结构的高纯水氮封水箱存在以下缺陷:当高纯水氮封水箱内的水位降低时，水箱上部的空间变大，此时需要通过进气管输入氮气，确保高纯水的高绝缘性，当水位低于正常水位范围的最低值时，阀门打开，高纯水被灌入水箱中，此时由于水位上升，水箱上部空间逐渐变小，氮气体积压缩并通过排气管排入空气中，造成氮气浪费，提高了使用成本，且氮气大多采用瓶装方式存储，由于消耗量大，换瓶频率变大，造成生产中断，影响生产效率。
实用新型内容为了解决现有技术的不足，本实用新型提供一种通过节气装置减少氮气排放的高纯水氮封水箱，本实用新型的进一步目的是提供一种能使氮气重复使用的高纯水氮封水箱。本实用新型通过以下方式实现:一种带节气装置的高纯水氮封水箱，包括水箱，所述水箱上设有一进水口以及一出水口，所述水箱上连有一节气装置，所述节气装置包括一导气管和一密闭的软质气囊，所述导气管一端与所述水箱顶部连通，另一端与所述气囊连通，通过气囊形变并容置气体实现节气功能。在原有高纯水氮封水箱的结构基础上增设一与其连通的气囊，利用气囊内腔体积可变的特点，将因水箱内水位上升而被挤出的氮气存储起来，并在水位下降时将氮气回输至水箱中，实现氮气重复利用，有效降低氮气的消耗量，降低生产成本，还可以降低换瓶频率，防止断气情况发生，有效提高生产效率。作为优选，所述水箱顶部设有一安全电磁阀。安全电磁阀的开关与水箱内气体压力相关联，通过安全电磁阀的开关来确保气囊及水箱的运行安全。作为优选，所述水箱通过一设于其顶部且带阀门的供气管与一自力式进气装置连通。自力式进气装置可以为水箱提供氮气，所述阀门的开关与箱体内气体压力相关联，确保水箱内氮气压力恒定，防止因氮气压力不足造成高纯水与空气、二氧化碳、杂质接触的情况发生，能有效确保水箱中高纯水的高电阻率。作为优选，所述气囊内置于一储气箱中。储气箱既起到保护软质气囊的作用，还能利用其硬质壁面防止气囊过度膨胀，确保气囊安全。作为优选，所述导气管一端与水箱顶部连通，另一端穿过所述储气箱并与所述气囊底部连通。导气管一端与水箱顶部连接，有效防止高纯水流入气囊中，确保气囊的储气能力；导气管另一端与气囊底部连接，通过气囊自身重力压迫氮气回流至水箱中，确保水箱中的氮气量，有效隔绝空气、二氧化碳以及灰尘。作为优选，述出水口位于所述水箱底部，所述出水口和进水口均通过一带阀门的水管外连。位于水箱底部的出水口有利于水箱中的高纯水流出，所述出水口水管的阀门由使用者控制，所述进水口水管上的阀门开关与水箱内高纯水水位高低相关联。作为优选，所述水箱的内腔底部设有一压力传感器。压力传感器起到感应水箱内高纯水水位的作用。本实用新型的有益效果:在原有高纯水氮封水箱的结构基础上增设一与其连通的气囊，利用气囊内腔体积可变的特点，实现氮气重复利用，有效降低氮气的消耗量，降低生产成本，还可以降低换瓶频率，防止断气情况发生，有效提高生产效率。
图1为本实用新型处于正常水位范围的较高值时的剖面结构示意图；图2为本实用新型处于正常水位范围的较低值时的剖面结构示意图；图中:1、水箱，2、进水口，3、出水口，4、导气管，5、气囊，6、安全电磁阀，7、供气管，
8、自力式进气装置，9、储气箱，10、阀门，11、压力传感器。
具体实施方式
下面结合说明书附图和具体实施方式
对本实用新型的实质性特点作进一步的说明。如图1所示的一种带节气装置的高纯水氮封水箱，包括水箱1，所述水箱I上设有一进水口 2以及一出水口 3，所述水箱I上连有一节气装置，所述节气装置包括一导气管4和一密闭的软质气囊5，所述导气管4 一端与所述水箱I顶部连通，另一端与所述气囊5连通，通过气囊5形变并容置气体实现节气功能；所述水箱I顶部设有一安全电磁阀6 ;所述水箱I通过一设于其顶部且带阀门10的供气管7与一自力式进气装置8连通；所述气囊5内置于一储气箱9中；所述导气管4 一端与水箱I顶部连通，另一端穿过所述储气箱9并与所述气囊5底部连通；述出水口 3位于所述水箱I底部，所述出水口 3和进水口 2均通过一带阀门10的水管外连；所述水箱I的内腔底部设有一压力传感器11。在使用本实用新型时，通过以下步骤启用:1、在水箱I和气囊5中灌满氮气，气囊5为鼓起状态；2、打开进水管上的阀门10，将高纯水输入水箱I中；3、随着水位上升，气囊5为鼓起状态,氮气被压缩,压力增大,直至出发安全电磁阀6，多余的氮气被排出；4、水位上升至正常水位范围的最大值，关闭进水管上的阀门10，此时氮气压力恒定，气囊5为鼓起状态。通过以上步骤实现水箱I启用，并随时准备待用。[0023]在使用时，当处于高水位的高纯水通过出水口 3流出时，随着水位降低，气囊5中的氮气被输回至水箱I中(如图2所示)，当水位低于正常水位范围的最低值时，进水口 2处的阀门10开启，为水箱I补充高纯水。在实际操作中，当水箱I内的氮气不足需要填充时，通过以下步骤实现:1、打开进水管上的阀门10，使水位上升至正常水位范围的最大值，此时由于氮气量不足，导致气囊5未完全鼓起；2、打开供气管7上的阀门10，并输入氮气，使得水箱I中的氮气压力恢复至正常值。通过以上步骤实现水箱I内氮气加压。在实际操作中，安全电磁阀6的开启压力值应小于气囊5的安全压力值，以此确保气囊5安全。在具体操作中，气囊5材质为软质材料，有利于减小气囊5变形时的阻力，确保水箱I内氮气压力恒定，并与大气压相同。
权利要求1.一种带节气装置的高纯水氮封水箱，包括水箱(1)，所述水箱(I)上设有一进水口(2)以及一出水口(3)，其特征在于所述水箱(I)上连有一节气装置，所述节气装置包括一导气管(4)和一密闭的软质气囊(5)，所述导气管(4) 一端与所述水箱(I)顶部连通，另一端与所述气囊(5)连通，通过气囊(5)形变并容置气体实现节气功能。
2.根据权利要求1所述的一种带节气装置的高纯水氮封水箱，其特征在于所述水箱(I)顶部设有一安全电磁阀(6)。
3.根据权利要求2所述的一种带节气装置的高纯水氮封水箱，其特征在于所述水箱(I)通过一设于其顶部且带阀门(10 )的供气管(7 )与一自力式进气装置(8 )连通。
4.根据权利要求1所述的一种带节气装置的高纯水氮封水箱，其特征在于所述气囊(5)内置于一储气箱(9)中。
5.根据权利要求1所述的一种带节气装置的高纯水氮封水箱，其特征在于所述导气管(4)一端与水箱(I)顶部连通，另一端穿过所述储气箱(9)并与所述气囊(5)底部连通。
6.根据权利要求1所述的一种带节气装置的高纯水氮封水箱，其特征在于述出水口(3)位于所述水箱(I)底部，所述出水口(3)和进水口(2)均通过一带阀门(10)的水管外连。
7.根据权利要求6所述的一种带节气装置的高纯水氮封水箱，其特征在于所述水箱(O的内腔底部设有一压力传感器(11)。
专利摘要本实用新型涉及一种带节气装置的高纯水氮封水箱。现有高纯水氮封水箱的氮气会随着箱内水位变化而排入大气中，造成氮气浪费。本实用新型包括水箱，水箱上设有进水口和出水口，水箱上连有一节气装置，所述节气装置包括一导气管和一密闭的软质气囊，所述导气管一端与所述水箱顶部连通，另一端与所述气囊连通，通过气囊形变并容置气体实现节气功能。在原有高纯水氮封水箱的结构基础上增设一与其连通的气囊，利用气囊内腔体积可变的特点，将因水箱内水位上升而被挤出的氮气存储起来，并在水位下降时将氮气回输至水箱中，实现氮气重复利用，有效降低氮气的消耗量，降低生产成本，还可以降低换瓶频率，防止断气情况发生，有效提高生产效率。
文档编号B65D88/74GK202987951SQ20122074981
公开日2013年6月12日 申请日期2012年12月31日 优先权日2012年12月31日
发明者孙国飞, 沈林海, 张鹏铭, 韩雪刚 申请人:绍兴精功机电有限公司