运输系统以及其中包括的运输单元的制作方法

本发明构思涉及一种运输系统以及其中包括的运输单元。

背景技术：

包括被自动控制的运输单元的运输系统可以用于在制造工艺期间装载和运输部件或成品。

一个或更多运输单元可以沿着安装在半导体制造厂中的运输系统的轨道移动。运输系统的其上让所述一个或更多运输单元行进的两个轨道可以在合并位置处合并。然而，当多个运输单元在这两个轨道上行进时，运输单元可能在合并位置彼此碰撞。

技术实现要素：

根据本发明构思的示范性实施方式，一种运输系统包括第一轨道，该第一轨道包括第一区域和第二区域，第一区域是第一轨道线性地延伸的区域并且第二区域是第一轨道弯曲的区域。第二轨道包括与第一区域分离的第三区域以及交叠第二区域的第四区域，其中第一轨道和第二轨道在包括第二区域和第四区域的接合位置处合并。光线路(optical line)设置在第二区域和第四区域中，其中光线路在第四区域中彼此平行。第一运输单元在第一轨道上行进。第二运输单元在第二轨道上行进。第一控制器使用通过光线路传送或接收的光来控制第一运输单元和第二运输单元的行进。

在本发明构思的示范性实施方式中，光线路包括沿第三区域设置并彼此分离的第一光线路和第二光线路以及沿第四区域设置并彼此分离的第三光线路和第四光线路。

在本发明构思的示范性实施方式中，当第一运输单元在第一时间进入第二区域并且第二运输单元在晚于第一时间的第二时间进入第四区域时，第一控制器向第三光线路供给停止信号。

在本发明构思的示范性实施方式中，该运输系统还包括在第一轨道上行进的第三运输单元，其中当第三运输单元在第一时间和第二时间之间的第三时间进入第二区域时，第一控制器向第三光线路供给停止信号，直到第三运输单元离开第二区域。

在本发明构思的示范性实施方式中，当第一运输单元进入第二区域时，第一运输单元通过第二光线路向第一控制器供给第一进入信号，并且当第二运输单元进入第四区域时，第二运输单元通过第四光线路向第一控制器供给第二进入信号。

在本发明构思的示范性实施方式中，在向第一控制器供给第一进入信号和第二进入信号之前，第一运输单元向第一控制器供给第一参考信号以与第一控制器同步，并且第二运输单元向第一控制器供给第二参考信号以与第一控制器同步。

在本发明构思的示范性实施方式中，当第一进入信号和第二进入信号被同时供给时，第一控制器同时向第一光线路和第三光线路供给停止信号并控制第一运输单元和第二运输单元以顺序地重新开始行进。

在本发明构思的示范性实施方式中，第一控制器包括连接到第一光线路和第二光线路的第一接口板以及连接到第三光线路和第四光线路的第二接口板。第一接口板包括向第一光线路供给光信号的第一发送单元以及接收从第二光线路供给的光信号的第一接收单元，并且第二接口板包括向第三光线路供给光信号的第二发送单元以及接收从第四光线路供给的光信号的第二接收单元。

在本发明构思的示范性实施方式中，第一运输单元包括设置在第一运输单元中的第二控制器，第二运输单元包括设置在第二运输单元中的第三控制器。

在本发明构思的示范性实施方式中，光线路包括沿第二区域设置的第一光线路和沿第四区域设置的第二光线路，并且当第一运输单元进入第二区域时，第二控制器向第一光线路供给第一行进信号。

在本发明构思的示范性实施方式中，当第二运输单元进入第四区域时，第三控制器基于是否收到第一行进信号来确定第二运输单元是否在第四区域中行进。

在本发明构思的示范性实施方式中，第一运输单元和第二运输单元的每个包括交叠光线路的发送单元和接收单元。

在本发明构思的示范性实施方式中，该运输系统还包括设置在光线路上的盖，其中所述盖面对第一运输单元的发送单元和接收单元，其中所述盖将从第一运输单元的发送单元发射的第一光信号反射到光线路中的第一光线路的表面上，该第一光线路设置在盖和第一运输单元的发送单元之间。

根据本发明构思的示范性实施方式，一种运输单元包括支撑目标物体的支撑单元。驱动单元产生驱动力以运输目标物体。接收单元接收从第一光线路的表面发射的第一光信号。发送单元发射第二光信号到第二光线路的表面上，第二光线路与第一光线路间隔开。控制器使用第一光信号和第二光信号来控制驱动单元。

在本发明构思的示范性实施方式中，第一光线路和接收单元彼此交叠，并且第二光线路和发送单元彼此交叠。

根据本发明构思的示范性实施方式，一种运输系统包括具有第一区域和第二区域的第一轨道。第二轨道具有第三区域和第四区域，其中第二区域的一部分和第四区域的一部分彼此交叠，并且第一轨道和第二轨道在第二区域和第四区域内的接合位置处合并。第一运输单元配置为在第一轨道上行进。第二运输单元配置为在第二轨道上行进。第一光线路和第二光线路设置在第二区域内。第三光线路和第四光线路设置在第四区域内。第一控制器连接到第一光线路、第二光线路、第三光线路和第四光线路，其中第一控制器配置为通过第一光线路、第二光线路、第三光线路和第四光线路控制第一运输单元和第二运输单元在接合位置处的行进。

在本发明构思的示范性实施方式中，第一运输单元和第二运输单元在不同的时间行进经过接合位置。

在本发明构思的示范性实施方式中，第一控制器通过第一光线路和第二光线路而与第一运输单元通信，并且第一控制器通过第三光线路和第四光线路而与第二运输单元通信。

在本发明构思的示范性实施方式中，当第二运输单元在第一时间进入接合位置并且第一运输单元在晚于第一时间的第二时间进入接合位置时，第二运输单元首先行进经过接合位置，并且当第二运输单元经过接合位置时，第一运输单元被第一控制器经由第一光线路供给停止信号，其中在被供给停止信号时，第一运输单元不行进经过接合位置。

在本发明构思的示范性实施方式中，在第二运输单元离开接合位置之后，第一控制器停止向第一运输单元供给停止信号，并且第一运输单元开始行进经过接合位置。

附图说明

通过参照以下附图详细描述本发明构思的示范性实施方式，本发明构思的以上和其它的方面及特征将变得更加明显，在附图中：

图1是示出根据本发明构思的示范性实施方式的运输系统的图；

图2是示出根据本发明构思的示范性实施方式的运输单元的透视图；

图3是示出根据本发明构思的示范性实施方式的图2所示的运输单元的俯视图；

图4和图5是示出根据本发明构思的示范性实施方式的运输系统中的光线路的部分的截面图；

图6至图8是根据本发明构思的示范性实施方式的运输系统的操作方法的图；

图9和图10是示出根据本发明构思的示范性实施方式的运输系统的操作方法的图；

图11是示出根据本发明构思的示范性实施方式的运输系统的操作方法的图；以及

图12是示出根据本发明构思的示范性实施方式的运输系统的图。

具体实施方式

通过参照附图详细描述本发明构思的示范性实施方式，本发明构思的方面和特征将变得更加明显。然而，本发明构思可以以许多不同的形式实施而不应被解释为限于这里阐述的其示范性实施方式。本发明构思的公开的示范性实施方式被提供以向本领域技术人员传达本发明构思。在附图中，为了清晰，可以夸大层和区域的厚度。

将理解，当一元件或层被称为“在”另一元件或层“上”或“连接到”另一元件或层时，它可以直接在所述另一元件或层上或者直接连接到所述另一元件或层，或者可以存在居间的元件或层。相同的数字可以在整个说明书中指代相同的元件。当在这里使用时，术语“和/或”可以包括一个或更多相关列举项目的任意和所有组合。

术语“一”、“一个”和“该”以及类似指示语可以被解释为涵盖单数和复数两者，除非这里另外地指示或者上下文清楚地另外指示。

本发明构思可以参照其中示出本发明构思的示范性实施方式的透视图、截面图和/或平面图来描述。因此，本发明构思的示范性实施方式的轮廓图可以根据制造技术和/或公差而改变。因此，本发明构思可以包括可能由于制造工艺或制造工艺中的变化而发生的所有变化和变型。因而，附图中示出的区域以及区域的形状是说明性的，不限制本发明构思。

除非另外地限定，否则这里使用的所有技术术语和科学术语都具有与本领域普通技术人员通常理解的相同的含义。此外，在通用字典中定义的所有术语不必被解释为过度正式的意义，除非这里清楚地如此阐述。

在下文，将参照图1描述根据本发明构思的示范性实施方式的运输系统。

图1是示出根据本发明构思的示范性实施方式的运输系统的图。

参照图1，运输系统1包括第一轨道101、第二轨道102、第一光线路21至第四光线路24、第一运输单元51和第二运输单元52以及控制器120。

第一轨道101和第二轨道102可以合并，所以在第一轨道101和第二轨道102上传送的物体可以通过由合并第一轨道101和第二轨道102产生的轨道继续运输。

第一轨道101可以包括彼此分离的第一区域11和第二区域12。第二轨道102可以包括彼此分离的第三区域13和第四区域14。第一区域11可以是第一轨道101的线性地延伸的区域。第二区域12可以是第一轨道101的其中第一轨道101以预定曲率延伸的区域。例如，根据本发明构思的示范性实施方式，第一轨道101在第二区域12中弯曲。

第一轨道101和第二轨道102可以设置为在接合区域处彼此接合。接合区域可以被称为接合位置。接合区域是其中单独地延伸的第一轨道101和第二轨道102合并的区域，并包括第一轨道101的第二区域12的一部分和第二轨道102的第四区域14的一部分。例如，多个轨道可以在接合区域处合并，然后延伸为单一轨道。在本发明构思的示范性实施方式中，第一轨道101和第二轨道102在接合区域中合并以延伸为单一轨道。

第一轨道101和第二轨道102可以分别包括第一区域11和第三区域13，第一区域11和第三区域13彼此分离。

此外，第一轨道101和第二轨道102可以设置为在第二区域12和第四区域14处彼此接合。例如，第一轨道101的第二区域12的一部分和第二轨道102的第四区域14的一部分可以彼此交叠。

第一运输单元51和第二运输单元52可以分别在第一轨道101和第二轨道102上行进。第一运输单元51和第二运输单元52的构造将在下面详细描述。

第一光线路21至第四光线路24可以设置在第一轨道101和第二轨道102上。在本发明构思的示范性实施方式中，第一光线路21至第四光线路24可以沿第一轨道101和第二轨道102的接合区域设置，而不设置在其它区域中。

例如，第一光线路21和第二光线路22可以设置为在第一轨道101的第二区域12中延伸，而不设置在第一区域11中。此外，第三光线路23和第四光线路24可以设置为在第二轨道102的第四区域14中延伸，而不设置在第三区域13中。在本发明构思的示范性实施方式中，第一光线路21和第二光线路22的与第二区域12相对应的第一部分可以是弯曲的。弯曲的第一光线路21和第二光线路22可以彼此相等地间隔。此外，第一光线路21和第二光线路22的与第二区域12相对应的第二部分可以是笔直的，并且笔直的第一光线路21和第二光线路22可以彼此平行。在本发明构思的示范性实施方式中，第三光线路23和第四光线路24可以是笔直的并彼此平行。

当第一光线路21和第二光线路22设置为在第一轨道101的第二区域12中延伸并且第一运输单元51进入第一轨道101和第二轨道102的接合区域时，第一运输单元51可以使用第一光线路21和第二光线路22以与控制器120通信。例如，当第一运输单元51离开第一区域11、然后进入第二区域12时，第一运输单元51的收发单元31可以通过第一光线路21和第二光线路22开始与控制器120通信。

当第一运输单元51离开第一轨道101的第二区域12时，第一运输单元51与第一光线路21和第二光线路22断开。因此，第一运输单元51和控制器120之间的通过第一光线路21和第二光线路22的通信可以终止。

当第三光线路23和第四光线路24设置在第二轨道102的第四区域14中并且第二运输单元52进入第一轨道101和第二轨道102的接合区域时，第二运输单元52可以使用第三光线路23和第四光线路24以与控制器120通信。像第一运输单元51一样，当第二运输单元52进入第二轨道102的第四区域14时，第二运输单元52可以使用第三光线路23和第四光线路24开始与控制器120通信。

此外，第二运输单元52和控制器120之间的使用第三光线路23和第四光线路24的通信可以在第二运输单元52离开第四区域14时终止。

如上所述，由于第一光线路21至第四光线路24设置在第一轨道101和第二轨道102的接合区域(例如第二区域12和第四区域14)上，所以第一运输单元51和第二运输单元52可以使用第一轨道101和第二轨道102的接合区域中的第一光线路21至第四光线路24而与控制器120通信。因此，控制器120可以基于第一运输单元51和第二运输单元52的通信状态来确定第一运输单元51和第二运输单元52是进入还是离开接合区域。

此外，当第一光线路21至第四光线路24设置在第二区域12和第四区域14上但是第一光线路21至第四光线路24没有设置得遍及运输系统1的整个区域(例如，第一光线路21至第四光线路24设置在第二区域12和第四区域14上，但是第一光线路21至第四光线路24没有设置在第一区域11和第三区域13上)时，可以降低系统复杂性以及保养和维修的困难性。

将在下面详细描述第一运输单元51和第二运输单元52与控制器120之间的使用第一光线路21至第四光线路24的光通信。

控制器120可以包括第一接口板131和第二接口板132。第一接口板131可以包括第一发送单元141和第一接收单元142。连接到控制器120的第一接口板131可以使用第一发送单元141和第一接收单元142而与第一运输单元51通信。

此外，第二接口板132可以通过分别连接到第三光线路23和第四光线路24的第二发送单元143和第二接收单元144而与第二运输单元52通信。

图2是示出根据本发明构思的示范性实施方式的运输单元的透视图。图3是示出根据本发明构思的示范性实施方式的图2所示的运输单元的俯视图。

参照图2和图3，第一运输单元51可以包括支撑目标物体的支撑单元151、产生驱动力以运输目标物体的驱动单元152、以及通过第一光线路21和第二光线路22而与控制器120光学地通信的收发单元31。

图2中示出的第一运输单元51的形状仅被提供用于说明，但是本发明构思的方面不限于此。例如，由于驱动单元152设置在图2所示的第一运输单元51下面，所以第一运输单元51从第一轨道101悬挂并在这样的状态下行进。

然而，在本发明构思的示范性实施方式中，驱动单元152可以设置在第一运输单元51上，第一运输单元51可以在第一轨道101上行进。

由第一运输单元51运输的目标物体可以被装载在支撑单元151上并被支撑单元151支撑。

被定位为垂直交叠第一光线路21和第二光线路22的收发单元31接收从第一光线路21发出的光信号并发射光信号到第二光线路22。

第一光线路21至第四光线路24可以是具有侧发射特性的光线路。例如，第一光线路21至第四光线路24的每个的侧表面或外表面可以是透明的，并可以具有透光特性。因此，光信号可以分别从第一光线路21至第四光线路24的外表面读取，并且光信号可以通过第一光线路21至第四光线路24的外表面分别进入第一光线路21至第四光线路24。

第一光线路21至第四光线路24可以由具有侧发射特性的一组光纤形成，但是本发明构思的方面不限于此。第一光线路21至第四光线路24可以构成具有透明的圆柱形外表面的单个电缆。

第一光线路21至第四光线路24可以由具有良好的弯曲性的塑料材料制成。例如，第一轨道101和第二轨道102可以以弯曲形状设置在第一区域11至第四区域14中。因此，为了使第一光线路21至第四光线路24沿着弯曲的第一轨道101和第二轨道102弯曲，第一光线路21至第四光线路24可以包括能够变形的材料。例如，第一光线路21至第四光线路24可以包括柔性材料。

由于第一光线路21至第四光线路24使用侧发射特性来发送信息，所以通过第一光线路21至第四光线路24发送的光信号可以具有朝向它们的末端变弱的强度。因此，第一光线路21至第四光线路24可以包括用于在第一光线路21至第四光线路24的中继区段(repeater section)之间中继光信号的光中继器。

图4和图5是示出根据本发明构思的示范性实施方式的运输系统中的光线路的部分的截面图。

参照图4和图5，在本发明构思的示范性实施方式中，基于第一光线路21和第二光线路22的侧发射特性，第一运输单元51使用第一光线路21和第二光线路22进行光通信。例如，如图4和图5所示，以下的描述将基于第一运输单元51的收发单元31设置在第一光线路21和第二光线路22下面的假设而进行。

例如，当光信号从控制器120的第一发送单元141入射到第一光线路21时，光信号的某些部分a、b和c在第一光线路21的内部被全反射，光信号的其余部分d和e可以分别通过第一光线路21的下侧表面A和上侧表面B发出。

发射到第一光线路21的下侧表面A的光信号(例如，光信号的部分e)可以由第一运输单元51的收发单元31接收。例如，光信号的发射到第一光线路21的下侧表面A的部分e可以由收发单元31中包括的接收单元33接收。

在本发明构思的示范性实施方式中，接收单元33可以包括光电二极管，但是本发明构思的方面不限于此。

通过第二光线路22向控制器120发送光信号可以通过收发单元31中包括的发送单元34进行。发送单元34发射光信号到第二光线路22的下侧表面上。

由发送单元34发出的光信号入射到第二光线路22的下侧表面，并通过第二光线路22的下侧表面进入第二光线路22。已经进入第二光线路22的光信号可以通过第二光线路22传送到控制器120的第一接收单元142。

由于第一光线路21和第二光线路22的侧表面都由透光材料制成，所以发射到第一光线路21的侧表面的光可以进入第一光线路21，并通过第一光线路21朝向第一光线路21的上侧表面B行进。

此外，通过发送单元34发射到第二光线路22的下侧表面上的光信号可能干扰第一光线路21或接收单元33。因此，为了避免光信号的不需要的传输，盖35可以安装在第一光线路21和第二光线路22上。

覆盖第一光线路21和第二光线路22的顶部的盖35可以防止光信号在不需要的方向上分散或干扰。例如，盖35的分别面对第一光线路21和第二光线路22的内侧壁36和37包括反射材料，以将从第一光线路21和第二光线路22的上侧表面B发出的光分别反射回到第一光线路21和第二光线路22中。

因此，从第一光线路21发出的光信号的一部分被盖35的内侧壁36反射回到第一光线路21中。例如，光信号的被盖35的内侧壁36反射的部分可以朝向第一光线路21的下侧表面A引导并进入第一光线路21。因此，可以提高由接收单元33接收的光信号的灵敏度。此外，盖35可以防止从第一光线路21发出的光信号引起对第二光线路22的干扰。

从发送单元34发出的光信号的一部分被盖35的内侧壁37反射回到第二光线路22中。例如，光信号的被盖35的内侧壁37反射的部分可以被朝向第二光线路22的下侧表面A引导，并进入第二光线路22。此外，盖35可以防止由发送单元34朝向第二光线路22发出的光信号引起对第一光线路21的干扰。

第一发送单元141可以包括发射光到第一光线路21中的发光二极管。此外，第一接收单元142可以包括用于检测经过第二光线路22的光的光电二极管。

再次参照图2和图3，第一运输单元51可以包括控制器200。控制器200可以基于第一运输单元51的收发单元31使用第一光线路21至第四光线路24的发送/接收结果来控制第一运输单元51的行进。

图6至图8是根据本发明构思的示范性实施方式的运输系统的操作方法的图。

参照图6，在第一轨道101上行进的第一运输单元51进入第一轨道101和第二轨道102的接合区域，例如第二区域12。在此时，第二运输单元52设置在第三区域13中，例如第二运输单元52尚未进入第一轨道101和第二轨道102的接合区域。

当第一运输单元51进入第二区域12时，第一运输单元51和控制器120之间的通信可以如下所述地开始。

当第一运输单元51进入第二区域12时，收发单元31设置为交叠第一光线路21和第二光线路22。接收单元33可以接收来自控制器120的第一发送单元141的第一信号61。第一信号61通过控制器120的第一发送单元141的发送可以经由第一光线路21进行。

第一信号61是用于开始第一运输单元51和控制器120之间的同步的信号，并可以包括参考信号。该同步可以表示使得第一运输单元51和控制器120的通信周期彼此一致以开始其间的通信。

当控制器120和第一运输单元51之间使用参考信号的通信完成时，控制器120和第一运输单元51彼此连接，并且第一行进信号62从第一运输单元51发送到控制器120的接收单元142。由第一运输单元51发送第一行进信号62到控制器120的接收单元142可以通过经由第二光线路22传送第一行进信号62进行。第一行进信号62也可以被称为第一进入信号。

如上所述，第一运输单元51和控制器120之间使用第一光线路21和第二光线路22的通信可以使用第一光线路21和第二光线路22的侧表面或外表面发射特性进行。

由于第二运输单元52还没有进入第一轨道101和第二轨道102的接合区域并仍然在第三区域13上行进，所以第二运输单元52和控制器120之间的通信还没有开始。

参照图7，第二运输单元52比第一运输单元51晚地进入第一轨道101和第二轨道102的接合区域。例如，第二运输单元52可以离开第三区域13，然后进入第四区域14。

由于第二运输单元52的收发单元134设置为交叠第三光线路23和第四光线路24，所以可以开始第二运输单元52和控制器120之间的通信。

当第二运输单元52进入第四区域14时，第二运输单元52的收发单元134的接收单元可以通过第三光线路23接收第二信号63。第二信号63可以是用于开始第二运输单元52和控制器120之间的同步的信号，并可以包括参考信号。该同步可以表示使得第二运输单元52和控制器120的通信周期彼此一致以开始其间的通信。

当控制器120和第二运输单元52之间使用参考信号的通信完成时，控制器120和第二运输单元52彼此连接并且第二行进信号65可以通过第四光线路24传送到控制器120的第二接收单元144。第二行进信号65也可以被称为第二进入信号。

控制器120的第二发送单元143可以通过第三光线路23向第二运输单元52供给第二信号63。这里，从控制器120的第二发送单元143供给的第二信号63可以是从第一运输单元51供给的第一行进信号62。例如，从第一运输单元51供给的第一行进信号62可以被供给到第二运输单元52，而没有被单独地处理。

当第二运输单元52被供给有来自控制器120的第二信号63时，它可以将供给的第二信号63识别为停止信号并且第二运输单元52被停止而不在第二轨道102上行进。

当第二运输单元52在其中第二运输单元52在第二轨道102上的行进不受控制的状态下进入第一轨道101和第二轨道102的接合区域时，第二运输单元52可能与早于第二运输单元52进入接合区域的第一运输单元51碰撞。

因此，控制器120识别出第一运输单元51进入第一轨道101和第二轨道102的接合区域，并发送第一运输单元51的第一行进信号62到第二运输单元52以使第二运输单元52停止行进。第一运输单元51和第二运输单元52之间的行进稳定性可以在控制器120的控制下提高。

参照图8，第一运输单元51继续沿第一轨道101和第二轨道102的接合区域行进，直到它离开接合区域。因此，当第一运输单元51离开第一轨道101和第二轨道102的接合区域时，第一运输单元51停止向控制器120供给第一行进信号62。因此，控制器120可以停止向第二运输单元52供给停止信号63。

当第一运输单元51离开第二区域12时，收发单元32与第三光线路23和第四光线路24交叠，并且收发单元32与第二接口板132之间的通信可以被开始。

当停止向第二运输单元52供给停止信号63时，第二运输单元52在第二轨道102上的行进可以重新开始。当第二运输单元52进入第一轨道101和第二轨道102的接合区域并沿着第一轨道101和第二轨道102的接合区域行进时，第二行进信号65可以被发送到第四光线路24。当另一运输单元进入第二区域12时，第二运输单元52可以被通知以避免碰撞。

当第二运输单元52离开第四区域14时，收发单元133与第一光线路21和第二光线路22交叠，并且收发单元133与第一接口板131之间的通信可以被开始。

第一运输单元51和第二运输单元52的每个的驱动单元(例如图2中示出的驱动单元152)可以使用由收发单元31、32、133和134发送/接收的行进信号和停止信号控制。驱动单元152的控制可以通过第一运输单元51和第二运输单元52的控制器(例如图2中示出的控制器200)进行。第一运输单元51和第二运输单元52的每个的驱动单元(例如图2中示出的驱动单元152)可以控制第一运输单元51和第二运输单元52在第一轨道101和第二轨道102上的行进。

根据本发明示范性实施方式，第二运输单元52可以在第一运输单元51之前进入第一轨道101和第二轨道102的接合区域。在此情形下，在通过第二信号63而与控制器120同步之后，第二运输单元可以开始与控制器120通信，发送第二行进信号65到控制器120，并行进经过第一轨道101和第二轨道102的接合区域。当第一运输单元51进入第一轨道101和第二轨道102的接合区域时，第一运输单元51可以通过第一信号61而与控制器120同步以开始与控制器120通信。在此情况下，供给到第一发送单元51的第一信号61可以是第二行进信号65。

当第一运输单元51被供给有来自控制器120的第一信号61时，它可以将供给的第一信号61识别为停止信号并且第一运输单元51被停止而不在第一轨道101上行进。

运输系统1通过设置在第一轨道101和第二轨道102的接合区域上的第一光线路21至第四光线路24控制第一运输单元51和第二运输单元52的行进。因此，第一运输单元51和第二运输单元52的位置可以被识别，并且第一运输单元51和第二运输单元52的行进可以遍及整个接合区域被控制。因此，可以提高运输系统1的操作可靠性。

图9和图10是示出根据本发明构思的示范性实施方式的运输系统的操作方法的图。

参照图9，第一运输单元51和第二运输单元52可以同时进入第一轨道101和第二轨道102的接合区域。例如，第一运输单元51可以在第二运输单元52进入第四区域14的同时进入第二区域12。

第一运输单元51和第二运输单元52可以分别从第一光线路21和第三光线路23接收第一信号61和第二信号63。这里，第一信号61和第二信号63可以是用于使控制器120与第一运输单元51和第二运输单元52同步的参考信号。

在被供给有第一信号61之后，第一运输单元51可以供给第一行进信号62。同时，第二运输单元52可以向控制器120供给第二行进信号65。

当控制器120被同时供给有第一行进信号62和第二行进信号65时，它可以识别出第一运输单元51和第二运输单元52同时进入第一轨道101和第二轨道102的接合区域，并可以向第一运输单元51和第二运输单元52供给停止信号。第一运输单元51和第二运输单元52可以在收到停止信号之后立刻停止行进。

参照图10，为了重新开始第一运输单元51和第二运输单元52的行进，控制器120可以停止向第一运输单元51供给停止信号61。因此，第一运输单元51可以重新开始在第一轨道101上行进。同时，第一运输单元51可以向第二光线路22供给第一行进信号62。

控制器120可以继续向第二运输单元52供给停止信号161，直到第一运输单元51完成第一轨道101和第二轨道102的接合区域的行进。因此，第二运输单元52可以停止行进直到第一运输单元51离开第二区域12。

图11是示出根据本发明构思的示范性实施方式的运输系统的操作方法的图。

参照图11，第一运输单元51可以首先进入第一轨道101和第二轨道102的接合区域，并且第三运输单元53可以然后进入接合区域。例如，第一运输单元51和第三运输单元53可以在第二运输单元52之前进入第一轨道101和第二轨道102的接合区域。

第一运输单元51和第三运输单元53被供给有来自控制器120的第一信号61，并可以在第一轨道101上行进。这里，首先进入第二区域12的第一运输单元51供给第一行进信号62。然而，第三运输单元53可以不供给单独的行进信号，因为第二光线路22在发送/接收第一行进信号62中被使用。

在第二运输单元52进入第四区域14的同时，第二运输单元52可以被供给有来自控制器120的第二信号63。第二信号63可以是从第一运输单元51供给的第一行进信号62，并且被供给有第二信号63的第二运输单元52可以停止在第二轨道102上行进。当第一运输单元51离开第二区域12时，第三运输单元53被供给有来自控制器120的第一信号61并向控制器120供给第一行进信号62。第二运输单元52可以被供给有第二信号63以保持停止，该第二信号63可以是从第三运输单元53供给的第一行进信号62。当第三运输单元53离开第二区域12时，控制器120可以停止传送第二信号63到第二运输单元52，因此第二运输单元52可以开始在第二轨道102的第四区域14上行进。例如，第二发送单元143向第三光线路23供给第二信号63，直到第三运输单元53离开第二区域12。

图12是示出根据本发明构思的示范性实施方式的运输系统的图。

参照图12，运输系统2可以不包括连接到第一光线路21至第四光线路24的控制器120。因此，第一运输单元51和第二运输单元52可以通过第一光线路21至第四光线路24直接彼此通信。

例如，第一光线路21可以连接到第四光线路24，并且第二光线路22可以连接到第三光线路23。如果第一运输单元51在进入第二区域12的同时通过第一光线路21供给第一行进信号62，则第一行进信号62可以通过第四光线路24被发射到第四区域14。相反地，如果第二运输单元52在进入第四区域14的同时通过第三光线路23供给第二行进信号65，则第二行进信号65可以通过第二光线路22被发射到第二区域12。

当第一运输单元51和第二运输单元52中的一个中包括的控制器(例如图2中示出的控制器200)被供给有来自第一运输单元51和第二运输单元52中的另一个运输单元的行进信号时，它可以使第一运输单元51和第二运输单元52中的所述一个停止行进。

尽管已经参照本发明构思的示范性实施方式具体示出并描述了本发明构思，但是本领域普通技术人员将理解，可以在形式和细节上进行各种改变而没有脱离由权利要求书限定的本发明构思的精神和范围。

本申请要求享有于2015年9月9日在韩国知识产权局提交的韩国专利申请第10-2015-0127766号的优先权，其公开内容通过引用被整体结合于此。