一种光刻胶瓶的制作方法

文档序号:11243393阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明提供了一种光刻胶瓶,包括外瓶和设置于外瓶内部的内囊,所述外瓶内部设置有一支撑部,所述支撑部与所述外瓶的底壁的外表面构成一锐角;所述内囊的底壁设置于所述支撑部上;所述外瓶上设置有一开口,所述开口的底壁较所述内囊的底壁更靠近所述外瓶的底壁。自然状态时,支撑部呈倾斜状,内囊放置于支撑部上,光刻胶受到重力从开口处全部流出,可完全利用,避免了光刻胶的浪费。并且,由于未使用长管,不会存在光刻胶快用尽时内囊堵住长管的情况。更换新瓶时,工作人员可直接取下机台上已使用完的光刻胶瓶,换上新瓶,相较于现有技术中拔出旧瓶中的长管插入新瓶,更容易操作,也不会有残余的胶膜掉入新瓶中形成缺陷。

技术研发人员:朱治国;孙国庆
受保护的技术使用者:上海华力微电子有限公司
技术研发日:2017.05.15
技术公布日:2017.09.15
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网友询问留言 已有1条留言
  • 访客 来自[中国] 2020年07月08日 15:46
    瓶子用什么材料做?
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