一种光刻胶瓶的制作方法

本发明涉及半导体集成电路制造领域，尤其涉及一种光刻胶瓶。

背景技术：

在半导体集成电路制造领域，光刻处于硅片加工过程的中心，常被认为是ic制造中最关键的步骤，成本几乎占到整个硅片加工成本的三分之一。光刻技术需要用到光刻胶，光刻胶是一种有机化合物，它受紫外线曝光后，在显影溶液中的溶解度会发生变化，硅片制造中，光刻胶以液态涂在硅片表面，而后被干燥成胶膜。光刻胶一般被放在光刻胶容器中，光刻胶容器通常是一密闭的系统，它们是不透光的，并且直接固定在硅片轨道系统上，避免暴露在空气中。

现有的光刻胶容器分为两类，一类是玻璃瓶，光刻胶直接装进玻璃瓶中，长软管插入瓶底，再通过高压气孔通入氮气，将光刻胶从长软管压出。此类光刻胶瓶在运输和使用过程中易碎，光刻胶流出后，特别是在工厂内会造成有毒物污染，并且报空更换后瓶底仍有20～40ml光刻胶无法使用，被浪费掉。第二类是nowpak瓶，包括瓶身和内胆，内胆是由平面的2层长方形口袋状pe膜加一个接口组成，装好光刻胶放入圆柱形的瓶身中，长硬管插入瓶底，再通过高压气孔通入氮气，将光刻胶从长硬管压出。在更换光刻胶时粘有光刻胶的长硬管从空瓶中取出后，戳破新瓶的pe膜再插入新瓶中，这时会有光刻胶被残留在pe膜上，时间长后变干，变成微粒会掉入新瓶中形成缺陷。当光刻胶瓶报空更换后，内囊4个角会有50～70ml光刻胶残留无法被使用到，并且当光刻胶快空时，光刻胶长管口易被内胆堵住，造成晶圆作业时喷涂不良。

因此，有必要对现有的光刻胶瓶进行优化改进，以便改善光刻胶浪费、喷涂作业不良等问题。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供一种光刻胶瓶，以解决现有技术中存在的光刻胶浪费、光刻胶喷涂不良等问题。

为解决上述技术问题，本发明提供一种光刻胶瓶，包括外瓶和设置于外瓶内部的内囊，所述外瓶内部设置有一支撑部，所述支撑部与所述外瓶的底壁的外表面构成一锐角；所述内囊的底壁设置于所述支撑部上；所述外瓶上设置有一开口，所述开口的底壁较所述内囊的底壁更靠近所述外瓶的底壁；

可选的，所述外瓶还设置有一气体接口，所述内囊与所述气体接口位于所述支撑部同侧；

可选的，所述内囊的顶壁与所述外瓶连接；所述内囊的底壁与所述支撑部相匹配；

可选的，所述内囊的外形与所述外瓶侧壁的内表面的外形相匹配；

可选的，所述内囊的底壁上设置有内囊接口，所述内囊接口位于所述开口内；

可选的，所述内囊接口的尺寸与所述开口的尺寸相匹配；

可选的，所述内囊的材料为玻璃或pe材料；

可选的，所述外瓶材料为pe材料，并且是黑色，并且100～400nm波长光无法透过；

可选的，所述外瓶为双层结构；

可选的，所述支撑部将所述外瓶分为相互隔绝的第一部分和第二部分，所述第二部分上设置有一通气孔；

可选的，所述外瓶的侧壁的外表面上设置有凹陷部；或者，所述外瓶的侧壁的外表面和或所述外瓶的顶壁的外表面上设置有把手；或者，所述外瓶的侧壁的外表面和或所述外瓶的顶壁的外表面上具有一牵引体。

在本发明提供的光刻胶瓶中，包括外瓶和设置于外瓶内部的内囊，所述外瓶内部设置有一支撑部，所述支撑部与所述外瓶的底壁的外表面构成一锐角；所述内囊的底壁设置于所述支撑部上；所述外瓶上设置有一开口，所述开口的底壁较所述内囊的底壁更靠近所述外瓶的底壁。注满了光刻胶的内囊放置于外瓶内部的支撑部上，内囊的底壁与支撑部接触，由于所述支撑部与所述外瓶底壁的外侧面构成一锐角，即：自然状态时，支撑部呈倾斜状态。内囊内的光刻胶受到重力，从外瓶开口处流出，开口在内囊底壁的下方，不需要插入长软管或长硬管，避免了换新瓶时管口壁上的光刻胶残留在新瓶的pe膜上，变干以后掉入新瓶中形成缺陷，并且光刻胶快耗尽时，内囊也不会堵住开口。另外，本发明中，自然状态时，支撑部呈倾斜状态，光刻胶是通过自身重力从低于内囊处的开口流出，瓶内的光刻胶可完全利用，避免了浪费，节约了成本。此外，所述内囊的外形可与外瓶侧壁的内表面的外形相匹配，可容纳更多光刻胶，所述内囊底面可设置为与支撑部匹配，使内囊底面更好的贴合支撑部，可最大限度使用完瓶内的光刻胶，避免浪费。

附图说明

图1是实施例提供的第一种光刻胶瓶的示意图；

图2是实施例提供的光刻胶瓶内囊的示意图；

图3是实施例提供的第二种光刻胶瓶的示意图；

图4是实施例提供的第三种光刻胶瓶的示意图；

图5是实施例提供的第四种光刻胶瓶的示意图；

图6是实施例提供的第五种光刻胶瓶的示意图；

图1中，1-外瓶，11-开口，12-气体接口，2-内囊，21-内囊接口，3支撑部；

图2中，22-内囊的顶壁，23-内囊的底壁；

图3中，13-通气孔，14外瓶第一部分，15外瓶第二部分；

图4中，16-牵引体；

图5中，17-把手；

图6中，18-凹陷部。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施例对本发明提出的光刻胶瓶作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本发明的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。

参阅图1，图1为本实施例提供的光刻胶瓶的示意图，本实施例提供了一种光刻胶瓶，包括外瓶1和设置于外瓶内部的内囊2，所述外瓶1内部设置有一支撑部3，所述支撑部3与所述外瓶底壁的外侧面构成一锐角；所述内囊2的底壁设置于所述支撑部3上；所述外瓶1上还设置有一开口11，所述开口的底壁较所述内囊的底壁更靠近所述外瓶的底壁。由此可知，自然状态时，支撑部3呈倾斜状态，装满光刻胶的内囊2的底壁放置于倾斜的支撑部3上，本领域操作人员在使用时，将光刻胶瓶放置在机台上，机台上的凸起结构通过所述开口11刺破内囊2，内囊2中的光刻胶收到自身的重力，从开口处流出，进行后续的涂覆工作。本发明提供的光刻胶瓶未使用长软管和长硬管，更换新瓶时，不会有残留的干成胶膜的光刻胶被带入新瓶中，形成缺陷。并且，光刻胶瓶在工作状态时，支撑内囊2的支撑部3呈倾斜状，开口11的底壁与所述外瓶底壁的距离小于所述内囊2的底壁与所述外瓶底壁的距离，光刻胶依靠自身重力从开口11处流出。可以理解的是，瓶内的光刻胶可以完全使用完后再更换新瓶，避免了光刻胶的浪费。

所述外瓶设置有一气体接口12，所述内囊2与所述气体接口12位于所述支撑部3同侧。即，所述内囊2位于支撑部3和外瓶顶壁之间，所述气体接口12距离外瓶底壁的距离大于支撑部3的最低端距离外瓶底壁的距离。气体接口12与外瓶1底壁的距离在气体接口12处通入不与光刻胶发生反应的高压气体，如氮气、惰性气体等，工作人员可以通过控制气体的压强从而控制光刻胶的流速，提高光刻的质量。光刻胶不仅受到自身的重力，也受到气体的压力，可以更完全的从内囊中流出，瓶内残留的光刻胶更少。

当然，内囊2设置于支撑部3上，参阅图2，所述内囊2包括内囊的顶壁22和内囊的底壁23，内囊的底壁23与支撑部3贴合。为了避免内囊2和外瓶1发生相对运动，内囊的顶壁22可连接在外瓶侧壁的内表面上，连接的方式可以是胶接、卡扣等，不限于此。自然状态时，所述内囊的底壁23呈倾斜状，内囊的底壁23的倾斜状态与支撑体3相匹配，可以使内囊的底壁23与支撑体3密切贴合，内囊2内的光刻胶能更好的受到重力作用。

优选的，为了容纳更多的光刻胶，有效的利用外瓶的空间，内囊的外形与外瓶侧壁的内表面的外形可以相匹配，所述外瓶侧壁的内表面优选为圆柱型，所述内囊的外形也可设置为底壁呈倾斜状的圆柱型。

所述内囊2的底壁设置有内囊接口21，内囊接口21位于开口11内。优选的，外瓶开口11位于支撑体3最低端处，内囊接口21位于内囊底壁最低端与内囊侧壁的交界处，内囊接口21放置于外瓶开口11内，便于光刻胶流出。可以认识到，所述内囊接口尺寸应该与外瓶开口相匹配，或者略小于外瓶开口的尺寸。

为了防止运输或搬运过程中光刻胶瓶破碎，造成污染，所述外瓶宜使用pe材料。内囊被外瓶支撑和保护，可以使用玻璃等硬性材料，也可使用pe膜等软性材料。本领域技术人员应该意识到，若使用硬性材料，高压气体应通入内囊内部，并且高压气体不能与光刻胶发生反应，如氮气或惰性气体；若使用软性材料，高压气体可通入外瓶和内囊之间，气体可以为洁净的空气、氮气或惰性气体。优选的，所述外瓶的颜色为黑色，并且100～400nm波长光无法透过，以防止在运输过程中光刻胶失效。

光刻胶的粘附性直接影响光刻的质量，优选的，可将外瓶设置成为双层的结构，防止水蒸气进入内囊。

所述支撑部3可以由与外瓶相同的材料制成，从而可以更好的匹配、贴合外瓶，进而可以起到更好的稳定支撑所述内囊2的作用，制造外瓶更加方便简单。但应该认识到，支撑部的作用是支撑，当然也可以采用另外的材料。参阅图3，为了有更好的支撑作用，延长外瓶的寿命，支撑部可以将外瓶的上下两部分完全隔开，无法进行气体交换。支撑部3将外瓶分为第一部分14和第二部分15，两部分之间无法进行气体交换，即第二部分15内封闭了一部分气体，为了防止密闭气体热胀冷缩，使外瓶1或支撑体产生形变，可在外瓶的第二部分处开一个通气孔13。通气孔13的形状可以是圆形、方形等，尺寸可根据外瓶的尺寸调整，本发明不做限制。当然，为了节约材料，降低成本，支撑部也可由几根支撑架组成。支撑部与外瓶的连接方式为胶接，或者在外瓶侧壁的内表面设置卡槽，或者在制造外瓶时一并成型等等，不限于此。

参阅图4和图5，光刻胶瓶为一圆柱体结构，所述外瓶的尺寸可根据实际要容纳的光刻胶变化。为了便于固定和拿取，可以在所述外瓶的侧壁的外表面和或所述外瓶的顶壁的外表面上设置如图4所示的牵引体16，所述牵引体16可以是丝、绳、带、弹簧或链条；也可以在所述外瓶的侧壁的外表面和或所述外瓶的顶壁的外表面上设置如图5所示的把手17，所述把手的材料与外瓶一致，也可以选择更加牢固的材料。再或者，如图6所示，可以在所述外瓶的外侧壁上设置凹陷部18，以便于通过凹陷部18手持光刻胶瓶。

综上，在本发明实施例提供的光刻胶瓶中，具有如下优点：自然状态时，所述支撑部呈倾斜状态，所述外囊的底壁放置于所述支撑部上，所述开口的底壁较所述内囊的底壁更靠近所述外瓶的底壁，光刻胶装入内囊里，光刻胶自身的重力通过开口流出。由于开口的底壁在内囊的底壁下方，光刻胶瓶内的光刻胶可以完全被利用，避免了光刻胶的浪费。并且，由于没有使用长管，不会存在光刻胶快用尽时内囊堵住长管的情况。更换新瓶时，工作人员可直接取下机台上已使用完的光刻胶瓶，换上新瓶，相较于现有技术中拔出旧瓶中的长管插入新瓶，更容易操作，也不会有残余的胶膜掉入新瓶中形成缺陷。此外，可以在外瓶上增加一气体接口，通入高压气体，使光刻胶的流速可控。并且可通过调整内囊的外形尽可能容纳更多的光刻胶，提高外瓶空间的利用性。

上述仅为本发明的优选实施例而已，并不对本发明起到任何限制作用。任何所属技术领域的技术人员，在不脱离本发明的技术方案的范围内，对本发明揭露的技术方案和技术内容做任何形式的等同替换或修改等变动，均属未脱离本发明的技术方案的内容，仍属于本发明的保护范围之内。