制程机台和具有其的面板搬运装置的制作方法

文档序号:11468596阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明提供一种制程机台和具有其的面板搬运装置。该制程机台包括机台本体及与所述机台本体相配合的输送机构,所述输送机构具有等待位置和加工位置,所述加工位置临近所述机台本体,所述输送机构的输送部件受控地在等待位置和加工位置之间往复运动。该面板搬运装置包括用于将面板搬运至所述等待位置或将面板由所述等待位置搬离的第一机构和所述制程机台。本发明利用输送机构在第一机构和制程机台之间搬运面板,使面板在到达等待位置后可以在输送机构的作用下在等待位置和加工位置之间往复运动,而无需第一机构将面板运送至制程机台,减少了第一机构的负荷,提高了生产和自动化的效能。

技术研发人员:杨依辉
受保护的技术使用者:昆山国显光电有限公司
技术研发日:2017.05.22
技术公布日:2017.08.22
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