一种旋转工作台及面板检测装置的制作方法

文档序号:15035448发布日期:2018-07-27 20:08阅读:145来源:国知局

本发明涉及面板检测领域,尤其涉及一种旋转工作台及面板检测装置。



背景技术:

在tft及oled行业,robot送玻璃基板到平台上,因robot取放基板时,玻璃基板会有细微滑动,玻璃基板与平台会有相对位置误差。在高精度量测时,平台需有高精度的旋转补正功能,结合光学对位相机,软件控制,将平台旋转到正确位置。

现有技术通常也是采取两组直线动力装置,在其中一组直线动力驱动玻璃基板旋转时,因为两组直线动力装置固定点间的间距是固定的,而在其在两个电机连线的方向上的距离是变化的,需采取技术手段补偿该距离。



技术实现要素:

本发明的目的在于提供一种旋转工作台及面板检测装置,以解决现有技术中平台旋转调整困难的技术问题。

为达此目的,本发明采用以下技术方案:

一种旋转工作台,包括固定座、第一驱动机构及第二驱动机构,其中:

所述第一驱动机构具有第一支承体和第一旋转体,所述第一支承体通过设置在水平x方向上的第一直线轨道滑动连接在所述固定座上,并由第一动力装置驱动,在所述第一直线轨道上做直线运动;所述第一旋转体转动连接于所述第一支承体上方;

所述第二驱动机构具有第二支承体、第三支承体及第二旋转体,所述第二支承体通过设置在水平x方向上的第二直线轨道滑动连接在所述固定座上,并由第二动力装置驱动,在所述第二直线轨道上做直线运动,所述第三支承件通过水平y方向上设置的第三直线轨道滑动连接在所述所述第二支承体上;所述第二旋转体转动连接于所述第三支承体上方。

作为本发明的进一步改进,还包括辅助支承机构,所述辅助支承机构具有第一辅助支承体,第二辅助支承体以及第三旋转体,其中

所述第一辅助支承体通过水平y方向或水平x方向上的第四直线轨道滑动连接在所述固定座,

所述第二辅助支承体通过水平x方向或水平y方向上的第五直线轨道滑动连接在所述第一辅助支承体上,所述第二辅助支承体用于所述第三旋转体的转动连接以及在竖直方向上的支撑,所述第一旋转体、第二旋转体以及第三旋转体的上端面位于同一水平面上。

作为本发明的进一步改进,还包括平台,所述第一旋转体、第二旋转体的上端面与所述平台的下端面接触,用于所述平台在竖直方向上的支撑。

作为本发明的进一步改进,

所述平台上设置有复数个通孔;

所述固定座上设有复数个可升降的支撑件;

所述支撑件通过升降装置驱动,能够插入或者退出于所述通孔。

作为本发明的进一步改进,所述辅助支承机构设置有两组,且分别位于所述第一驱动机构与所述第二驱动机构连线的两侧。

作为本发明的进一步改进,所述第一直线轨道、第二直线轨道、第三直线轨道、第四直线轨道、第五直线轨道包括直线轨道结构和移动件,所述移动件与所述直线轨道结构凹凸配合,且可与所述直线轨道结构相对滑动。

作为本发明的进一步改进,所述第一动力装置、第二动力装置为直线电机,气缸、液压缸中的一种或者两种。

本发明还提供一种面板检测装置,包括上述任意一种旋转工作台,以及

位于所述旋转工作台底部的基座,所述旋转工作台沿水平y方向滑动连接在所述基座上,并有所述基座提供竖直方向上的支撑力;

用于驱动所述旋转工作台滑动的第三动力装置;以及

设置在所述旋转工作台上方的检测机构。

作为本发明的进一步改进,还包括用于所述旋转工作台在沿水平y方向上滑动时导向的线性导轨。

本发明的有益效果为,发明中在固定座上设置第一驱动机构和第二驱动机构,当第一驱动机构和第二驱动机构分别在第一动力装置和第二动力装置的带动下沿水平x方向做同向运动时,带动玻璃基板平移;当第一驱动机构静止,第二驱动机构通过第二动力装置在水平x方向上输出水平作用力时,该水平作用力施加在第二支承体上,使得第二支承体在第二直线轨道上做水平运动,但是玻璃基板与第一驱动机构接触处的移动自由度被限制,此时玻璃基板做绕其与第一驱动机构接触处为圆心的圆做旋转运动,所以需要设置可沿第三直线轨道运动的第三支承体,作为其在y方向上的补偿,本发明有效解决了现有技术中遇到的问题,能够实现玻璃基板的位置调整。

附图说明

图1是本发明一实施例的旋转工作台的结构示意图;

图2为本发明一实施例的的结构示意图;

图3为本发明一实施例的第一驱动机构的结构示意图;

图4为本发明一实施例的第二驱动机构的结构示意图;

图5为本发明一实施例的辅助支撑机构的结构示意图;

图中:100-第一直线轨道;200-第二直线轨道;300-第三直线轨道;400-第四直线轨道;500-第五直线轨道;2-固定座;4-第一驱动机构;6-第二驱动机构;8-辅助支承机构;10-第一支承体;12-第一旋转体;13-第二支承体;14-第三支承体;16-第二旋转体;17-第一辅助支承体;18-第二辅助支承体;20-第三旋转体;22-平台;50-基座;52-线性导轨。

具体实施方式

下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。

如图1至5所示,于本实施例中,本发明的旋转平台包括固定座2、平台22、第一驱动机构4及第二驱动机构6,固定座2上设置有第一驱动机构4及第二驱动机构6,平台22设置于第一驱动机构4及第二驱动机构6上,用以支撑待检测的显示面板;其中:

所述第一驱动机构4具有第一支承体10和第一旋转体12,所述第一支承体10通过设置在水平x方向上的第一直线轨道100滑动连接在所述固定座2上,并由第一动力装置驱动,在所述第一直线轨道100上做直线运动;所述第一旋转体12转动连接于所述第一支承体10上方;

所述第二驱动机构6具有第二支承体13、第三支承体14及第二旋转体16,所述第二支承体13通过设置在水平x方向上的第二直线轨道200滑动连接在所述固定座2上,并由第二动力装置驱动,在所述第二直线轨道200上做直线运动,所述第三支承件通过水平y方向上设置的第三直线轨道300滑动连接在所述第二支承体13上;所述第二旋转体16转动连接于所述第三支承体14上方。将第一驱动机构4作为旋转的支撑点,通过驱动第二驱动机构6的第二支承体13沿第二直线轨道200沿x方向移动,第二旋转体16旋转的同时沿第三直线轨道300移动进行y方向的补偿;或者第一驱动机构4的第一支承体10在第一直线轨道100上沿与第二支承体13在第二直线轨道200相反的方向运动时,第二旋转体16旋转的同时沿第三直线轨道300移动进行y方向的补偿;通过上述方式,实现平台进行角度旋转调整,以实现面板的对位。

作为本发明的进一步改进,于一实施例中,本发明的旋转平台还包括辅助支承机构8,所述辅助支承机构8具有第一辅助支承体,第二辅助支承体18以及第三旋转体20,其中

所述第一辅助支承体17通过水平y方向或水平x方向上的第四直线轨道400滑动连接在所述固定座2,

所述第二辅助支承体18通过水平x方向或水平y方向上的第五直线轨道500滑动连接在所述第一辅助支承体17上,所述第二辅助支承体18用于所述第三旋转体20的转动连接以及在竖直方向上的支撑,所述第一旋转体12、第二旋转体16以及第三旋转体20的上端面位于同一水平面上。

第一支承体10、第二支承体13同向沿x方向移动,平台22可以实现在x方向的调整;两个第二辅助支承体18同向沿y向移动,平台22可以实现y方向的调整。

作为本发明的进一步改进,还包括平台22,所述第一旋转体12、第二旋转体16的上端面与所述平台22的下端面接触,用于所述平台22在竖直方向上的支撑。

作为本发明的进一步改进,

所述平台22上设置有复数个通孔;

所述固定座2上设有复数个可升降的支撑件;

所述支撑件通过升降装置驱动,能够插入或者退出于所述通孔。

作为本发明的进一步改进,所述辅助支承机构8设置有两组,且分别位于所述第一驱动机构4与所述第二驱动机构6连线的两侧。

作为本发明的进一步改进,所述第一直线轨道100、第二直线轨道200、第三直线轨道300、第四直线轨道400、第五直线轨道500包括直线轨道结构和移动件,所述移动件与所述直线轨道结构凹凸配合,且可与所述直线轨道结构相对滑动。

具体地,直线轨道结构可以为凹设于底部接触体上的直线凹槽结构,移动件通过在该凹槽内滑动实现水平直线运动;或者,

直线轨道结构可以为凸出设置在底部接触体上的直线导轨,移动件为底部与该直线导轨匹配的滑槽,实现直线轨道结构与移动件的相对滑动。

作为本发明的进一步改进,所述第一动力装置、第二动力装置为直线电机,气缸、液压缸中的一种或者两种。

于一实施例中,本发明还提供一种面板检测装置,包括本发明上述实施例的旋转工作台,以及位于所述旋转工作台底部的基座50,所述旋转工作台沿水平y方向滑动连接在所述基座50上,并有所述基座50提供竖直方向上的支撑力;

用于驱动所述旋转工作台滑动的第三动力装置;以及

设置在所述旋转工作台上方的检测机构。

作为本发明的进一步改进,还包括用于所述旋转工作台在沿水平y方向上滑动时导向的线性导轨52。

本发明的具体原理:

(1)当第一驱动机构4和第二驱动机构6分别在第一动力装置和第二动力装置的带动下沿水平x方向做同向运动时,可带动玻璃基板平移;

(2)当第一驱动机构4静止,第二驱动机构6通过第二动力装置在水平x方向上输出水平作用力时,该水平作用力施加在第二支承体上,使得第二支承体在第二直线轨道200上做水平运动,但是玻璃基板与第一驱动机构4接触处的移动自由度被限制,此时玻璃基板做绕其与第一驱动机构4接触处为圆心的圆做旋转运动,所以需要设置可沿第三直线轨道300运动的第三支承体,作为其在y方向上的补偿;

(3)设置有辅助支承体,作为玻璃基板在水平方向上的辅助支撑,保证玻璃基板的位置度;

(4)在第一驱动机构4、第二驱动机构6、辅助支承体上设置有平台22,玻璃基板放置在平台22上,从而增加玻璃基板的接触面积,减少其接触应力;

(5)第一驱动机构4、第二驱动机构6、辅助支承体分别通过第一旋转体12、第二旋转体16、第三旋转体20与平台22接触,以适应平台22产生角位移;

(6)将整个固定座2放置在基座50上,通过第三动力装置驱动固定座2在线性导轨52上运动,至固定座2运动至检测机构的正下方,通过检测机构,对放置在固定座2上的玻璃基板检测,实现自动化。

以上结合具体实施例描述了本发明的技术原理。这些描述只是为了解释本发明的原理,而不能以任何方式解释为对本发明保护范围的限制。基于此处的解释,本领域的技术人员不需要付出创造性的劳动即可联想到本发明的其它具体实施方式,这些方式都将落入本发明的保护范围之内。

当前第1页1 2 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1