一种改善光刻胶残留量的倾斜托盘装置的制作方法

本实用新型是一种改善光刻胶残留量的倾斜托盘装置，属于光刻胶供应设备技术领域。

背景技术：

彩色滤光片的关键材料光刻胶价格昂贵，光刻胶利用率越高越好。现有光刻胶供应方式是，将光刻胶罐体于托盘治具上方平放，普通吸液管经连接后垂直插入至光刻胶罐体内，吸液管末端不与罐底接触，通过外部施加N2压力后，光刻胶被压出液。该方式吸液管末端不能与罐底接触，必须与罐底保持一定间距，光刻胶才能顺利被压出液。因此会造成吸液管下方至罐底距离间的罐体底部光刻胶残留于罐底，无法通过压力使用所有光刻胶，造成成本浪费。

技术实现要素：

本实用新型提出的是一种改善光刻胶残留量的倾斜托盘装置，其目的在于针对现有光刻胶供应方式中，吸液管下方至罐底距离间的罐体底部光刻胶残留于罐底，无法通过压力使用干净等缺陷，通过改进结构设计，提出了一种有效改善提高光刻胶利用率，降低光刻胶残留量的改善光刻胶残留量的倾斜托盘装置。

本实用新型的技术解决方案：

一种改善光刻胶残留量的倾斜托盘装置，包括光刻胶罐体、密封接头、通气管、弯头吸液管、倾斜托盘治具，所述通气管和弯头吸液管穿透密封接头伸入光刻胶罐体内并保持密封，通气管出气口位于光刻胶罐体顶部，弯头吸液管尾部设有弯管，弯头吸液管竖直深入光刻胶罐体底部，光刻胶罐体置于倾斜托盘治具上表面。

所述倾斜托盘治具上表面与水平面呈5-15°夹角。

所述倾斜托盘治具设有调节装置，可调节倾斜托盘治具上表面斜度。

本实用新型的有益效果：

1）提高光刻胶利用率，降低生产成本，年节约光阻量达4000Kg，预计可节约成本120万/年。

2）降低残留光阻二次环保处理成本，经济环保。

附图说明

附图1是改善光刻胶残留量的倾斜托盘装置结构示意图。

附图2是带斜度调节装置的改善光刻胶残留量的倾斜托盘装置结构示意图。

附图中1是通气管、2是光刻胶出液口、3是弯头吸液管、4是光刻胶罐体、5倾斜托盘治具。

具体实施方式

改善光刻胶残留量的倾斜托盘装置，包括光刻胶罐体、密封接头、通气管、弯头吸液管、倾斜托盘治具，所述通气管和弯头吸液管穿透密封接头伸入光刻胶罐体内并保持密封，通气管出气口位于光刻胶罐体顶部，弯头吸液管尾部设有弯管，弯头吸液管竖直深入光刻胶罐体底部，光刻胶罐体置于倾斜托盘治具上表面。

所述倾斜托盘治具上表面与水平面呈5-15°夹角。

所述倾斜托盘治具设有调节装置，包括螺栓和螺母，通过调节调节螺栓螺母高度调节倾斜托盘治具上表面斜度。 下面结合附图对本实用新型技术方案做进一步说明。

对照附图1，改善光刻胶残留量的倾斜托盘装置，包括光刻胶罐体、密封接头、通气管、弯头吸液管、倾斜托盘治具，所述通气管和弯头吸液管穿透密封接头伸入光刻胶罐体内并保持密封，通气管出气口位于光刻胶罐体顶部，弯头吸液管尾部设有弯管，弯头吸液管竖直深入光刻胶罐体底部，光刻胶罐体置于倾斜托盘治具上表面。

所述倾斜托盘治具上表面与水平面呈5-15°夹角。

倾斜托盘治具倾斜后，既能保证光阻罐能够稳定存放，又可在光刻胶即将使用完全的时候，将剩余光刻胶集中于罐底单侧。配合将吸液管延长，并在末端弯曲设计，使弯头吸液管末端延伸至已集中在罐底单侧的光刻胶中，使光刻胶出液，光刻胶利用率提高。

对照附图2，所述倾斜托盘治具设有调节装置，可调节倾斜托盘治具上表面斜度。