一种晶棒取晶车的制作方法

文档序号:18445786发布日期:2019-08-16 22:23阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型为一种晶棒取晶车,包括堆高车和取晶装置,堆高车与取晶装置连接,堆高车带动取晶装置实现上升或下降;取晶装置包括夹具组件和提升架组件;夹具组件实现对晶棒的夹紧和转动;提升架组件包括基板、升降驱动件、导向机构和提升架;夹具组件、升降驱动件和导向机构均连接在基板上;升降驱动件的末端连接提升架,带动提升架上升或下降;导向机构的末端连接提升架,实现对提升架的导向和支撑。本实用新型设计了可单独升降的取晶装置,不同于现有取晶车中升降行程只限于堆高车的升降行程,实现长晶棒的取运工作,并能够保证转运晶棒的品质。

技术研发人员:黄学宁;马守林;兰晓南;陆峰
受保护的技术使用者:宁夏隆基硅材料有限公司
技术研发日:2018.11.07
技术公布日:2019.08.16

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