一种上下片台升降机构的制作方法

本实用新型涉及的是真空连续镀膜设备外围辅助设备技术领域，具体涉及一种上下片台升降机构。

背景技术：

随着科技的发展，对设备的自动化程度要求也越来越高，真空连续镀膜设备都会配套一些外围辅助设备，外围辅助设备的自动化程度和稳定性也直接影响到了整个镀膜设备的稳定性和使用性能；目前市场厂上连续镀膜设备配的上下片台的升降机构系统采用齿轮齿条、涡轮蜗杆、链轮链条等机械式的机构，主要存在噪音大、需要润滑油（镀膜产品禁止有油污，有可能污染产品，影响产品合格率；）、传动不平稳等现象；

综上所述，本实用新型设计了一种上下片台升降机构。

技术实现要素：

针对现有技术上存在的不足，本实用新型目的是在于提供一种上下片台升降机构，结构设计合理，操作简单可靠，对操作人员的使用、后期维护要求不高，对环境要求低，能在高温或低温环境下正常工作，防尘防水，可以适应很多恶劣的使用环境，实用性强。

为了实现上述目的，本实用新型是通过如下的技术方案来实现：一种上下片台升降机构，包括升降驱动装置和基片托架，升降驱动装置上方设置有基片托架；所述的升降驱动装置包括下支撑板、上支撑板、驱动汽缸、下油压缓冲器、上油压缓冲器、限位调节缓冲块、导向杆和直线轴承，驱动汽缸安装在上支撑板上，直线轴承与导向杆固定后通过螺丝安装在上支撑板上，下支撑板与基片托架通过螺丝与导向杆相连，上支撑板上还设置有上油压缓冲器、限位调节缓冲块，下支撑板上设置有下油压缓冲器。

作为优选，所述的上支撑板上设置有气缸限位孔，保证了气缸安装的位置度。

作为优选，所述的驱动气缸通过螺丝固定在上支撑板上。

本实用新型的有益效果：

1、升降驱动装置采用的是汽缸驱动，驱动平稳、无噪音，汽缸的安装、使用操作非常简单方面，对操作人员的使用、后期维护要求不高，不需要很高的专业知识；另外汽缸使用的环境的要求也不高，不管是高温操作还是低温操作气缸都可以正常的工作，而且它还有一定的防水和防尘的性能，可以适应很多恶劣的使用环境；

2、升降机构的导向采用直线轴承加不锈钢导向杆，润滑油装在直线轴承内部不会因油污而影响产品的良率，导向平稳、不会出现卡死现象；

3、机构在升降时，上、下装有油压缓冲器，在整个行程过程中产生恒定的抗力，使工件得以平稳的作线性减速，减少产品的运动过程中的损坏，油压缓冲器动作灵敏，往复迅速；

4、装有可调节限位缓冲块，主要用于基片托架的限位和缓冲，可以根据高低来调节限位缓冲块。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式来详细说明本实用新型；

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的升降驱动装置的结构示意图。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。

参照图1-2，本具体实施方式采用以下技术方案：一种上下片台升降机构，包括升降驱动装置1和基片托架2，升降驱动装置1上方设置有基片托架2；所述的升降驱动装置1包括下支撑板101、上支撑板102、驱动汽缸103、下油压缓冲器104、上油压缓冲器105、限位调节缓冲块106、导向杆107和直线轴承108，驱动汽缸103安装在上支撑板102上，直线轴承108与导向杆107固定后通过螺丝安装在上支撑板102上，下支撑板101与基片托架1通过螺丝与导向杆107相连，上支撑板102上还设置有上油压缓冲器105、限位调节缓冲块106，下支撑板101上设置有下油压缓冲器104。

本具体实施方式主要包括升降驱动装置、基片托架、下支撑板、上支撑板、驱动汽缸、下油压缓冲器、上油压缓冲器、限位调节缓冲块、导向杆、直线轴承等主要部件组成；结构简单，操作方便。

本具体实施方式的升降驱动装置由下支撑板、上支撑板、驱动汽缸、下油压缓冲器、上油压缓冲器、限位调节缓冲块、导向杆、直线轴承等主要部件组成；先将驱动汽缸通过螺丝安装在上支撑板102上，上支撑板102上有汽缸限位孔，保证了汽缸安装的位置度；再将直线轴承108与导向杆107固定在一起后通过螺丝安装在上支撑板102上，再将下支撑板101与基片托架1通过螺丝与导向杆107连接在一起，保证导向杆在直线轴承里上下滑动自如、平稳；最后将上油压缓冲器105、限位调节缓冲块106及下油压缓冲器104分别固定上支撑板102与下支撑板101的相对位置。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。