1.一种上下片台升降机构，其特征在于，包括升降驱动装置(1)和基片托架(2)，升降驱动装置(1)上方设置有基片托架(2)；所述的升降驱动装置(1)包括下支撑板(101)、上支撑板(102)、驱动气缸(103)、下油压缓冲器(104)、上油压缓冲器(105)、限位调节缓冲块(106)、导向杆(107)和直线轴承(108)，驱动气缸(103)安装在上支撑板(102)上，直线轴承(108)与导向杆(107)固定后通过螺丝安装在上支撑板(102)上，下支撑板(101)与基片托架(2)通过螺丝与导向杆(107)相连，上支撑板(102)上还设置有上油压缓冲器(105)、限位调节缓冲块(106)，下支撑板(101)上设置有下油压缓冲器(104)。
2.根据权利要求1所述的一种上下片台升降机构，其特征在于，所述的上支撑板(102)上设置有气缸限位孔，保证了气缸安装的位置度。
3.根据权利要求1所述的一种上下片台升降机构，其特征在于，所述的驱动气缸(103)通过螺丝固定在上支撑板(102)上。