技术总结
本实用新型公开了一种上下片台升降机构，包括升降驱动装置和基片托架，升降驱动装置上方设置有基片托架；所述的升降驱动装置包括下支撑板、上支撑板、驱动汽缸、下油压缓冲器、上油压缓冲器、限位调节缓冲块、导向杆和直线轴承，驱动汽缸安装在上支撑板上，直线轴承与导向杆固定后通过螺丝安装在上支撑板上，下支撑板与基片托架通过螺丝与导向杆相连，上支撑板上还设置有上油压缓冲器、限位调节缓冲块，下支撑板上设置有下油压缓冲器。本实用新型结构设计合理，操作简单可靠，对操作人员的使用、后期维护要求不高，对环境要求低，能在高温或低温环境下正常工作，防尘防水，可以适应很多恶劣的使用环境，实用性强。
技术研发人员：张俊峰;赵子东;许春立;张大剑
受保护的技术使用者：上海子创镀膜技术有限公司
技术研发日：2018.11.27
技术公布日：2019.08.16