手动上货辅助装置的制作方法

本实用新型属于半导体制备相关设备技术领域，特别涉及一种手动上货辅助装置。

背景技术：

在半导体加工过程中，为了避免各种污染或静放电损害晶圆，在存储和运输的过程中一般将晶圆放置在晶圆盒内(如前开式晶圆盒)。一个装满25片晶圆的前开式晶圆盒重量约7～8公斤，在实际应用中，半导体厂往往采用固定轨道式全自动传输系统(overheadhoisttransfer，oht)将晶圆盒在各加工设备之间传递。oht系统虽然能够提高半导体加工效率，但是其建设成本高，对于一些小型的或者初建的半导体厂，其整厂工艺路线未建设完全，经费紧张，配置oht的条件不成熟。然而若直接采用人工上货，7～8公斤的晶圆盒容易造成人员手部受伤，且搬运过程中会对晶圆造成磨损。为此，本发明提供一种手动上货辅助装置。

技术实现要素：
：

为了克服现有技术中存在的不足，本实用新型寻求一种手动上货辅助装置，通过该装置辅助人工上货过程，避免对晶圆造成磨损，甚至对工人造成伤害。

为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

手动上货辅助装置包括移动小车和起吊装置，所述起吊装置固定在移动小车上，随移动小车移动，起吊装置的起吊臂自由端能够实现左右和上下两个方向上的自由活动。

起吊装置包括基座、旋转柱、起吊臂、钢丝绳、配重块、轨道；基座固定在移动小车上部的平台上，旋转柱底端与基座转动连接，起吊臂一端通过转轴固定在旋转柱顶端附近，钢丝绳一端与起吊臂自由端连接后，绕过旋转柱顶部固定的滑轮组与配重块连接，配重块沿移动小车侧边固定的轨道上下移动，在驱动电机的带动下配重块沿轨道上下移动，进而通过钢丝绳带动起吊臂自由端上下移动，而旋转柱绕基座转动，实现起吊臂自由端的左右移动。

手动上货辅助装置还包括安装在起吊臂自由端下部的抓手，所述抓手用于夹持晶圆盒。

本实用新型与现有技术相比，具有以下优点：特别适用于小型晶圆厂的晶圆移动，避免直接人工搬运造成人员手部受伤，且搬运过程中会对晶圆造成磨损。

附图说明

图1为实施例1涉及的手动上货辅助装置的结构原理示意图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型做进一步说明。

实施例1：

本实施例涉及的手动上货辅助装置包括移动小车1和起吊装置，在移动小车1底部固定安装万向轮，所述起吊装置固定在移动小车1上，随移动小车1移动，起吊装置的起吊臂自由端能够实现左右和上下两个方向上的自由活动。

起吊装置包括基座6、旋转柱5、起吊臂2、钢丝绳3、配重块8、轨道7；基座6固定在移动小车1上部的平台上，旋转柱5底端与基座6转动连接，起吊臂2一端通过转轴固定在旋转柱5顶端附近，钢丝绳3一端与起吊臂自由端连接后，绕过旋转柱5顶部固定的滑轮组4与配重块8连接，配重块8沿移动小车1侧边固定的轨道7上下移动，在第一驱动电机的带动下配重块8沿轨道7上下移动，进而通过钢丝绳3带动起吊臂2自由端上下移动，在第二驱动电机的作用下旋转柱5绕基座6转动，实现起吊臂2自由端的左右移动。

手动上货辅助装置还包括安装在起吊臂自由端下部的抓手(图中未画出)，所述抓手用于夹持晶圆盒。另外，也可将晶圆盒悬挂在起吊臂自由端下部。

手动上货辅助装置具体使用过程：将移动小车推到工作位置，根据需要分别驱动第一驱动电机和第二驱动电机运动，通过调整起吊臂自由端上下和左右移动，将抓手看尽晶圆盒，控制抓手，将晶圆盒夹持，移动到所需位置。

本实施例中只是公开了一种起吊装置，现有技术中能够实现起吊的一般替换结构也涵盖在本实用新型的保护范围内。