1.一种用于载盘的顶升定位组件,该载盘在其底部开设有顶升定位槽,其特征在于,所述顶升定位组件包括:
顶升驱动器(323);
载物台(325),其与顶升驱动器(323)的动力输出端传动连接并配合至所述顶升定位槽中;
载盘定位组件(324),其设于所述载物台(325)上,所述载盘定位组件(324)包括:
定位驱动器(3241);以及
偶数个在所述载物台(325)的周向上呈放射状布置的顶持件(3242),其与所述定位驱动器(3241)的动力输出端传动连接;
其中,所述顶持件(3242)在所述定位驱动器(3241)的驱动下彼此远离或靠近以从所述载物台(325)边缘伸出或缩回;当所述顶持件(3242)从所述载物台(325)边缘伸出时,其外端与所述顶升定位槽的内侧相抵从而在径向对载盘(321)进行顶持定位;当所述顶持件从所述载物台(325)边缘缩回时,其外端与所述顶升定位槽的内侧相分离从而对载盘(321)在径向上的定位进行解锁。
2.如权利要求1所述的用于载盘的顶升定位组件,其特征在于,所述顶持件(3242)被布置为由至少一个定位子集构成,每个定位子集包括相对设置的一对顶持件(3242),每个定位子集中的相应一对顶持件(3242)在所述定位驱动器(3241)的驱动下彼此靠近或远离。
3.如权利要求2所述的用于载盘的顶升定位组件,其特征在于,所述顶升定位槽为至少四条侧边围绕而成的多边形,所述定位子集设有一个,所述定位子集中的两个顶持件(3242)的运动方向与所述顶升定位槽的其中一条对角线相重合。
4.如权利要求1所述的用于载盘的顶升定位组件,其特征在于,所述顶升定位组件还包括两块彼此相对设置的限位板(322),两块所述限位板(322)间隔设置以形成位于两者之间的顶升定位通道,所述载物台(325)及载盘定位组件(324)布置于所述顶升定位通道中。
5.如权利要求4所述的用于载盘的顶升定位组件,其特征在于,所述限位板(322)形成有上限位裙部(3221),所述上限位裙部(3221)在相应一块所述限位板(322)的内侧结合该限位板(322)并且至少近似地沿着水平方向朝向所述顶升定位通道的内部延伸。
6.如权利要求5所述的用于载盘的顶升定位组件,其特征在于,所述限位板(322)形成有位于所述上限位裙部(3221)正下方的下限位裙部(3222),所述下限位裙部(3222)在相应一块所述限位板(322)的内侧结合该限位板(322)并且至少近似地沿着水平方向朝向所述顶升定位通道的内部延伸;所述载盘位于相应一对所述上限位裙部(3221)与下限位裙部(3222)之间。
7.如权利要求6所述的用于载盘的顶升定位组件,其特征在于,所述上限位裙部(3221)和/或下限位裙部(3222)在水平面上的投影与所述载盘在水平面上的投影至少部分重叠。