石英保温桶的制作方法

文档序号:28546555发布日期:2022-01-19 15:08阅读:208来源:国知局
石英保温桶的制作方法

1.本实用新型涉及保温桶技术领域,具体而言,涉及一种石英保温桶。


背景技术:

2.目前,在相关技术中,晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片,其形状为圆形,在圆晶片上可加工制作成各种电路元件结构,而成为有特定电性功能之ic产品。石英是半导体材料和器件生产过程中不可缺少的材料,晶圆在制造的冷却过程中,需要将晶圆放置于保温桶中,对圆晶片进行保温,以待后续加工处理。现有的保温桶大多为单层结构,保温效果较差,无法满足保温需求。因此,设计一种石英保温桶确保圆晶片在长时间放置后,仍达到加工要求的温度,就是十分必要的了。


技术实现要素:

3.本实用新型旨在至少解决现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。
4.为此,本实用新型提出一种石英保温桶。
5.有鉴于此,本实用新型提供了一种石英保温桶,石英保温桶包括:壳体、盖体、滑槽、支板、横板、手柄、固定板、容纳槽、限位槽和隔离罩;壳体的一侧设置有开口;盖体盖合在壳体的开口端,盖体的一端与壳体转动连接,且盖体的另一端与壳体相连接;两个滑槽平行设置在壳体底面上;支板垂直于壳体的底面,两个支板分别嵌入两个滑槽内,且两个支板分别与两个滑槽滑动连接;横板垂直于支板,且横板的底面同时与两个支板相连接;手柄设置在横板靠近盖体的侧面上;固定板垂直于横板,两个固定板平行设置,且两个固定板同时与横板的顶面相连接;至少四个容纳槽分别对称设置在两个固定板相对的两个侧面上,容纳槽向背离盖体的方向延伸,且容纳槽向靠近壳体的方向凹陷;限位槽设置在横板的顶面上;隔离罩同时罩设在两个固定板的外侧,且隔离罩嵌入限位槽内。
6.在该技术方案中,首先,通过使壳体的一侧设置有开口,以使壳体具有容纳的功能和空间;其次,通过将盖体盖合在壳体的开口端,盖体的一端与壳体转动连接,且盖体的另一端与壳体相连接,以通过盖体将壳体密封,且盖体与壳体转动连接,使盖体具有灵活性,便于快速开启;再次,通过将两个滑槽平行设置在壳体底面上,并使支板垂直于壳体的底面,两个支板分别嵌入两个滑槽内,且两个支板分别与两个滑槽滑动连接,滑槽可对支板进行限位,确保支板的稳定性,同时支板可在滑槽内滑动,便于移动支板;再次,通过使横板垂直于支板,且横板的底面同时与两个支板相连接,以通过支板对横板进行支撑,使横板与支板同步运动;再次,通过将手柄设置在横板靠近盖体的侧面上,以便于将横板和支板从壳体内抽出;再次,通过使固定板垂直于横板,两个固定板平行设置,且两个固定板同时与横板的顶面相连接,以将固定板固定在横板上,确保固定板的稳定性;再次,通过使至少四个容纳槽分别对称设置在两个固定板相对的两个侧面上,容纳槽向背离盖体的方向延伸,且容纳槽向靠近壳体的方向凹陷,以实现对圆晶片的固定和支撑的作用,避免圆晶片之间相互接触、堆叠,避免圆晶片之间产生摩擦,确保圆晶片各处温度均等,从而确保圆晶片不被损
坏;再次,通过将限位槽设置在横板的顶面上,并使隔离罩同时罩设在两个固定板的外侧,且隔离罩嵌入限位槽内,以使隔离罩与横板卡接,避免抽拉把手时,隔离罩与横板发生相对位移或倾倒的问题产生,确保隔离罩的稳定性,从而避免隔离罩与圆晶片发生碰撞,导致圆晶片损坏的问题产生。采用此种连接方式,结构简单,使用时将圆晶片分别放入两个相对的容纳槽内,同时对多个圆晶片进行存放,并避免圆晶片之间相互接触,产生摩擦,从而避免圆晶片磨损、损坏,确保圆晶片可正常使用,后续生产工作顺利进行。通过设置隔离罩避免晶圆片与外部环境接触,同时使壳体与隔离罩之间形成真空环境,减少热量散失,提高对圆晶片的保温效果。取出晶圆片时,通过手柄将横板、保护罩与晶圆片同时取出,确保圆晶片持续处于安全环境中,避免圆晶片与外部环境直接接触,从而确保保温后,晶圆片部丧失原有性能,保证圆晶片可正产使用。
7.另外,本实用新型提供的上述技术方案中的石英保温桶还可以具有如下附加技术特征:
8.在上述技术方案中,优选地,石英保温桶还包括:第一连接部、让位槽、第二连接部和转轴;两个第一连接部同时与壳体相连接;两个让位槽分别设置在两个第一连接部上;两个第二连接部分别嵌入两个让位槽内,且两个第二连接部同时与盖体相连接;转轴依次穿过第一连接部和第二连接部,且转轴与第二连接部之间存在间隙。
9.在该技术方案中,通过使两个第一连接部同时与壳体相连接,以将第一连接部固定在壳体上;通过将两个让位槽分别设置在两个第一连接部上,以使第一连接部具有容纳的空间;通过使两个第二连接部分别嵌入两个让位槽内,且两个第二连接部同时与盖体相连接,以将第二连接部固定在盖体上;通过使转轴依次穿过第一连接部和第二连接部,且转轴与第二连接部之间存在间隙,以使转轴与第二连接部转动连接,从而使盖体可相对于壳体转动,提升盖体的灵活性,方便快捷,便于将保温桶开启。
10.在上述技术方案中,优选地,石英保温桶还包括:把手;把手与盖体相连接。
11.在该技术方案中,通过使把手与盖体相连接,通过拉拽把手可将盖体开启,操作简单,提升保温桶的使用体验。
12.在上述技术方案中,优选地,石英保温桶还包括:密封条;密封条为弹性体,密封条沿盖体的周向设置在盖体的一侧面上,且密封条与壳体相贴合。
13.在该技术方案中,通过使密封条为弹性体,密封条沿盖体的周向设置在盖体的一侧面上,且密封条与壳体相贴合,通过密封条密封,减少壳体与盖体之间的间隙,减少热量散出,提升保温效果。
14.在上述技术方案中,优选地,密封条为橡胶密封条。
15.在该技术方案中,通过使密封条为橡胶密封条,通过使密封条为绝缘体,避免电子转移,从而确保无电流产生,保证圆晶片制造后工序顺利进行。
16.在上述技术方案中,优选地,横板为石英体;固定板为石英体;隔离罩为石英体。
17.在该技术方案中,通过使横板、固定板和隔离罩为石英体,以避免圆晶片与其他物品接触,产生电流,确保圆晶片的使用效果。
18.本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出,部分将从下面的描述中变得明显,或通过本实用新型的实践了解到。
附图说明
19.本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解,其中:
20.图1示出了根据本实用新型的一个实施例的石英保温桶的结构示意图;
21.图2为图1根据本实用新型的一个实施例的石英保温桶的结构示意图的a处放大图;
22.图3示出了根据本实用新型的另一个实施例的石英保温桶的结构示意图;
23.图4示出了根据本实用新型的再一个实施例的石英保温桶的结构示意图;
24.其中,图1至图4中的附图标记与部件名称之间的对应关系为:
25.8圆晶片,10壳体,12盖体,14滑槽,16支板,18横板,20手柄,22固定板,24容纳槽,26限位槽,28隔离罩,30第一连接部,32让位槽,34第二连接部,36转轴,38把手,40密封条。
具体实施方式
26.为了能够更清楚地理解本实用新型的上述目的、特征和优点,下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进行进一步的详细描述。需要说明的是,在不冲突的情况下,本技术的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
27.在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型,但是,本实用新型还可以采用其他不同于在此描述的其他方式来实施,因此,本实用新型的保护范围并不受下面公开的具体实施例的限制。
28.下面参照图1至图4描述根据本实用新型一些实施例所述石英保温桶。
29.在本实用新型的实施例中,如图1至图4所示,本实用新型提供了一种石英保温桶,石英保温桶包括:壳体10、盖体12、滑槽14、支板16、横板18、手柄20、固定板22、容纳槽24、限位槽26和隔离罩28;壳体10的一侧设置有开口;盖体12盖合在壳体10的开口端,盖体12的一端与壳体10转动连接,且盖体12的另一端与壳体10相连接;两个滑槽14平行设置在壳体10底面上;支板16垂直于壳体10的底面,两个支板16分别嵌入两个滑槽14内,且两个支板16分别与两个滑槽14滑动连接;横板18垂直于支板16,且横板18的底面同时与两个支板16相连接;手柄20设置在横板18靠近盖体12的侧面上;固定板22垂直于横板18,两个固定板22平行设置,且两个固定板22同时与横板18的顶面相连接;至少四个容纳槽24分别对称设置在两个固定板22相对的两个侧面上,容纳槽24向背离盖体12的方向延伸,且容纳槽24向靠近壳体10的方向凹陷;限位槽26设置在横板18的顶面上;隔离罩28同时罩设在两个固定板22的外侧,且隔离罩28嵌入限位槽26内。
30.在该实施例中,首先,通过使壳体10的一侧设置有开口,以使壳体10具有容纳的功能和空间;其次,通过将盖体12盖合在壳体10的开口端,盖体12的一端与壳体10转动连接,且盖体12的另一端与壳体10相连接,以通过盖体12将壳体10密封,且盖体12与壳体10转动连接,使盖体12具有灵活性,便于快速开启;再次,通过将两个滑槽14平行设置在壳体10底面上,并使支板16垂直于壳体10的底面,两个支板16分别嵌入两个滑槽14内,且两个支板16分别与两个滑槽14滑动连接,滑槽14可对支板16进行限位,确保支板16的稳定性,同时支板16可在滑槽14内滑动,便于移动支板16;再次,通过使横板18垂直于支板16,且横板18的底面同时与两个支板16相连接,以通过支板16对横板18进行支撑,使横板18与支板16同步运
动;再次,通过将手柄20设置在横板18靠近盖体12的侧面上,以便于将横板18和支板16从壳体10内抽出;再次,通过使固定板22垂直于横板18,两个固定板22平行设置,且两个固定板22同时与横板18的顶面相连接,以将固定板22固定在横板18上,确保固定板22的稳定性;再次,通过使至少四个容纳槽24分别对称设置在两个固定板22相对的两个侧面上,容纳槽24向背离盖体12的方向延伸,且容纳槽24向靠近壳体10的方向凹陷,以实现对圆晶片8的固定和支撑的作用,避免圆晶片8之间相互接触、堆叠,避免圆晶片8之间产生摩擦,确保圆晶片8各处温度均等,从而确保圆晶片8不被损坏;再次,通过将限位槽26设置在横板18的顶面上,并使隔离罩28同时罩设在两个固定板22的外侧,且隔离罩28嵌入限位槽26内,以使隔离罩28与横板18卡接,避免抽拉把手时,隔离罩28与横板18发生相对位移或倾倒的问题产生,确保隔离罩28的稳定性,从而避免隔离罩28与圆晶片8发生碰撞,导致圆晶片8损坏的问题产生。采用此种连接方式,结构简单,使用时将圆晶片8分别放入两个相对的容纳槽24内,同时对多个圆晶片8进行存放,并避免圆晶片8之间相互接触,产生摩擦,从而避免圆晶片8磨损、损坏,确保圆晶片8可正常使用,后续生产工作顺利进行。通过设置隔离罩28避免晶圆片与外部环境接触,同时使壳体10与隔离罩28之间形成真空环境,减少热量散失,提高对圆晶片8的保温效果。取出晶圆片时,通过手柄20将横板18、保护罩与晶圆片同时取出,确保圆晶片8持续处于安全环境中,避免圆晶片8与外部环境直接接触,从而确保保温后,晶圆片部丧失原有性能,保证圆晶片8可正产使用。
31.在本实用新型的一个实施例中,优选地,如图1和图2所示,石英保温桶还包括:第一连接部30、让位槽32、第二连接部34和转轴36;两个第一连接部30同时与壳体10相连接;两个让位槽32分别设置在两个第一连接部30上;两个第二连接部34分别嵌入两个让位槽32内,且两个第二连接部34同时与盖体12相连接;转轴36依次穿过第一连接部30和第二连接部34,且转轴36与第二连接部34之间存在间隙。
32.在该实施例中,通过使两个第一连接部30同时与壳体10相连接,以将第一连接部30固定在壳体10上;通过将两个让位槽32分别设置在两个第一连接部30上,以使第一连接部30具有容纳的空间;通过使两个第二连接部34分别嵌入两个让位槽32内,且两个第二连接部34同时与盖体12相连接,以将第二连接部34固定在盖体12上;通过使转轴36依次穿过第一连接部30和第二连接部34,且转轴36与第二连接部34之间存在间隙,以使转轴36与第二连接部34转动连接,从而使盖体12可相对于壳体10转动,提升盖体12的灵活性,方便快捷,便于将保温桶开启。
33.在本实用新型的一个实施例中,优选地,如图1所示,石英保温桶还包括:把手38;把手38与盖体12相连接。
34.在该实施例中,通过使把手38与盖体12相连接,通过拉拽把手38可将盖体12开启,操作简单,提升保温桶的使用体验。
35.在本实用新型的一个实施例中,优选地,如图1和图2所示,石英保温桶还包括:密封条40;密封条40为弹性体,密封条40沿盖体12的周向设置在盖体12的一侧面上,且密封条40与壳体10相贴合。
36.在该实施例中,通过使密封条40为弹性体,密封条40沿盖体12的周向设置在盖体12的一侧面上,且密封条40与壳体10相贴合,通过密封条40密封,减少壳体10与盖体12之间的间隙,减少热量散出,提升保温效果。
37.在本实用新型的一个实施例中,优选地,密封条40为橡胶密封条40。
38.在该实施例中,通过使密封条40为橡胶密封条40,通过使密封条40为绝缘体,避免电子转移,从而确保无电流产生,保证圆晶片8制造后工序顺利进行。
39.在本实用新型的一个实施例中,优选地,横板18为石英体;固定板22为石英体;隔离罩28为石英体。
40.在该实施例中,通过使横板18、固定板22和隔离罩28为石英体,以避免圆晶片8与其他物品接触,产生电流,确保圆晶片8的使用效果。
41.在本实用新型的描述中,术语“多个”则指两个或两个以上,除非另有明确的限定,术语“上”、“下”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制;术语“连接”、“安装”、“固定”等均应做广义理解,例如,“连接”可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
42.在本实用新型的描述中,术语“一个实施例”、“一些实施例”、“具体实施例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本实用新型中,对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或实例。而且,描述的具体特征、结构、材料或特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
43.以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已,并不用于限制本实用新型,对于本领域的技术人员来说,本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
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