一种基板翻转机构的制作方法

一种基板翻转机构
【技术领域】
1.本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种基板翻转机构。


背景技术：

2.在液晶显示、有机发光显示、mini/micro led等相关显示设备的制作工艺，通常是在玻璃基板上沉积各类膜层并经刻蚀工艺得到需要的器件图案。在利用玻璃基板制作显示基板的过程中，有时需要通过翻转机构对玻璃基板进行翻转，比如需要在玻璃基板相对的两个表面上均需要采用制作工艺形成显示所需的结构时，或者需要对部分工艺制成的玻璃基板进行检测时。例如，当在玻璃基板表面采用金属或化学沉积制程工艺制作特定膜层后，需要采用翻转设备(mac)对玻璃基板进行翻转以便进行多角度人眼检测，以判断制程后的玻璃基板是否存在膜层不均匀等摩尔纹现象。
3.图1为现有技术中提供的一种翻转设备结构示意图，如图1所示，翻转设备通常包括外框结构01’和外框结构01’固定连接的多条支撑条02’，支撑条02’之间并呈“井”字形交叉形成支撑平台03’，吸附盘04’位于“井”字形的交叉点上。在正反双面透射检查时，支撑平台03’和吸附盘04’配合带动玻璃基板进行翻转和垂直动作，检测光线穿过支撑平台03’和玻璃基板可被人眼感知，检测人员利用不同光源配合翻转设备的支撑平台03’对玻璃基板的不同角度进行肉眼观察以实现检测的目的。由上述分析可知，检测光线需要穿过翻转设备的支撑平台03’，在检测光源进行正反透射检查时，支撑平台03’中的支撑条02’和吸附盘04’均对光线有一定遮挡，从而对检测人员造成一定的视觉干扰性，会造成mura等异常漏检而导致不良品后流至下段工艺中，导致高废品率或者影响终端产品的性能。因此，如何降低支撑平台中的部件对检测光线的遮挡是提升工艺可靠度和产品可信赖度的一项重要改进方向。


技术实现要素：

4.有鉴于此，本发明实施例提供了一种基板翻转机构，其特征在于，包括：
5.翻转支架，翻转支架用于承载基板；
6.翻转支架包括支撑杆和设置在支撑杆上的多个吸附衬垫，吸附衬垫具备吸气和吹气功能；
7.支撑杆包括沿第一方向延伸、第二方向间隔排布的多条第一支撑杆和沿第二方向延伸、第一方向间隔排布的多条第二支撑杆，第一方向和第二方向相交，吸附衬垫位于第一支撑杆和第二支撑杆的多个交点上；
8.吸附衬垫包括沿第一方向排布的多个吸附衬垫列，位于相邻两吸附衬垫列中的吸附衬垫在第一方向上的投影不交叠；或，吸附衬垫包括沿第二方向排布的多个吸附衬垫行，位于相邻两吸附衬垫行中的吸附衬垫在第二方向上的投影不交叠。
9.进一步可选地，吸附衬垫为真空吸盘，每个第一支撑杆或第二支撑杆上均沿自身延伸方向设有多个第一凹槽，多个真空吸盘一一对应设置于多个第一凹槽内。
10.进一步可选地，第一支撑杆呈折线延伸，第二支撑杆呈直线延伸；沿第二支撑杆的延伸方向上，位于相邻两行的吸附衬垫行上的吸附衬垫交替与同一第一支撑杆在翻转机构厚度方向上交叠。
11.进一步可选地，每一吸附衬垫列上的吸附衬垫均与同一第二支撑杆在翻转机构厚度方向上交叠；沿第二方向上，位于同一吸附衬垫列上的相邻两吸附衬垫位于间隔的两行吸附衬垫行中。
12.进一步可选地，第一支撑杆呈直线延伸，第二支撑杆呈折线延伸；沿第二支撑杆的延伸方向上，位于相邻两吸附衬垫列上的吸附衬垫交替与同一第二支撑杆在翻转机构厚度方向上交叠。
13.进一步可选地，每一吸附衬垫行上的吸附衬垫均与同一第一支撑杆在翻转机构厚度方向上交叠；沿第一方向上，位于同一吸附衬垫行上的相邻两吸附衬垫位于间隔的两列吸附衬垫列。
14.进一步可选地，翻转机构还包括位于外框结构，外框结构用于固定翻转支架；辅助夹持件，辅助夹持件设置在外框结构的相邻两边夹角的外侧区域、并于外框结构固定连接。
15.进一步可选地，包括多个对位件，对位件围绕外框结构的各边分散设置、并与外框结构的各边框固定连接。
16.进一步可选地，翻转机构还包括辅助吸附衬垫，辅助吸附衬垫位于翻转支架的拐角处、设置在第一支撑杆或第二支撑杆上。
17.进一步可选地，其特征在于，翻转支架包括v形导风件，v形导风件与外框相对设置的两边框固定连接、并与外框围成导风通道。
18.本发明实施例通过对基板翻转机构中的支撑杆的结构形态以及吸附衬垫的排布方式进行调整，也即吸附衬垫包括沿第一方向排布的多个吸附衬垫列，位于相邻两吸附衬垫列中的吸附衬垫在第一方向上的投影不交叠；或，吸附衬垫包括沿第二方向排布的多个吸附衬垫行，位于相邻两吸附衬垫行中的吸附衬垫在第二方向上的投影不交叠。吸附衬垫的支撑形态由现有技术中的“井”字形四点支撑变为“个”字头三点支撑，相邻行或列中的各吸附衬垫交错排布，显著降低了翻转支架中吸附衬垫的数量，降低吸附衬垫对检测光线的干扰，提升检测结果的准确度。另外吸附衬垫是设置在支撑杆的交点上，采用本发明提供的吸附衬垫的排布方式，相应的也降低了支撑杆的分布密度和在翻转支架平面上的面积占比，降低支撑杆对检测光线的遮挡，也进一步提升检测结果的准确度，提升检测效果。
【附图说明】
19.为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
20.图1为现有技术中一种翻转设备的结构示意图；
21.图2为本发明实施例提供的一种基板翻转机构的结构示意图；
22.图3是图2所示的基板翻转机构的俯视结构示意图；
23.图4是本发明实施例提供的一种基板翻转机构和基板固定态示意图；
24.图5为本发明实施例提供的又一种基板翻转机构的结构示意图；
25.图6是图5所示的基板翻转机构的俯视结构示意图；
26.图7为本发明实施例提供的又一种基板翻转机构的结构示意图；
27.图8是图7所示的基板翻转机构的俯视结构示意图；
28.图9为本发明实施例提供又一种基板翻转机构的结构示意图。
【具体实施方式】
29.为了更好的理解本发明的技术方案，下面结合附图对本发明实施例进行详细描述。
30.应当明确，所描述的实施例仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。
31.在本发明实施例中使用的术语是仅仅出于描述特定实施例的目的，而非旨在限制本发明。在本发明实施例和所附权利要求书中所使用的单数形式的“一种”、“所述”和“该”也旨在包括多数形式，除非上下文清楚地表示其他含义。
32.应当理解，本文中使用的术语“和/或”仅仅是一种描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，a和/或b，可以表示：单独存在a，同时存在a和b，单独存在b这三种情况。另外，本文中字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。
33.本说明书的描述中，需要理解的是，本发明权利要求及实施例所描述的“基本上”、“近似”、“大约”、“约”、“大致”“大体上”等词语，是指在合理的工艺操作范围内或者公差范围内，可以大体上认同的，而不是一个精确值。
34.本发明实施例提供了用于显示领域中的基板翻转机构，用于降低翻转机构内部的部件结构对检测光线的遮挡，提升基板制作工艺的检测精度和准确度，进而减低产品不良率和终端产品的可信赖性。
35.图2为本发明实施例提供的一种基板翻转机构的结构示意图；图3是图2所示的基板翻转机构的俯视结构示意图；图4是本发明实施例提供的一种基板翻转机构和基板固定态示意图；如图2～图4所示，翻转机构100，包括：翻转支架10，翻转支架10用于承载基板60；翻转支架10包括支撑杆20和设置在支撑杆20上的多个吸附衬垫30，吸附衬垫30具备吸气和吹气功能；支撑杆20包括沿第一方向x延伸、第二方向y间隔排布的多条第一支撑杆201和沿第二方向y延伸、第一方向x间隔排布的多条第二支撑杆202，第一方向x和第二方向y相交，吸附衬垫30位于第一支撑杆201和第二支撑杆202的多个交点上；吸附衬垫30包括沿第一方向x排布的多个吸附衬垫列32，位于相邻两吸附衬垫列32中的吸附衬垫30在第一方向x上的投影不交叠；或，吸附衬垫30包括沿第二方向y排布的多个吸附衬垫行31，位于相邻两吸附衬垫行31中的吸附衬垫30在第二方向y上的投影不交叠。
36.具体地，如图2～图3所示，基板翻转机构100对用于制造显示装置的显各类显示基板60进行处理；需要说明的是，显示装置的类型包括但不限于液晶显示、有机发光显示、mini/micro led等。显示基包含但不限于使用在薄膜晶体管(thin film transistor，tft)的阵列基板(array substrate)中，以应用于例如lcd、amoled、mini/micro led器件中的各组成部件。翻转机构100包括外框11和与外框11固定连接的翻转支架10，外框11可以由四条首尾相连的边框111/112/113/114固定组配形成，边框111/112/113/114可拆卸连接时能够
方便地调整形变量，且拆卸后便于进行收纳；当然也可以采用是一体形成的整体边框111/112/113/114，该结构不容易变形；外框11的结构形态可以为正常的矩形，也可是适应显示基板60外框11形状的其他形状，例如梯形或t形，本技术实施例中不对边框111/112/113/114的形状、结构进行具体限定。外框11的材质可以为铝型材，采用该材质的结构能够降低翻转机构100的整体重量，对动力源的要求和能耗要求较低，能够便于对待翻转件的翻转。
37.翻转支架10包括沿第一方向x平行间隔设置的多条第一支撑杆201，多条第一支撑杆201沿第二方向y延伸；以及包括沿第二方向y平行间隔设置的多条第二支撑杆202，多条第二支撑杆202沿第一方向x延伸，第一支撑杆201和第二支撑杆202交叉卡合设置形成多个交叉点，支撑杆20和外框11结构均采用硬性材质制备，具体地，支撑杆20的材料优选为超高分子量聚乙烯，每一支撑杆20的两端分别与相对设置的边框111/112/113/114两边固定连接。具体地，支撑杆20之间具有镂空结构，该镂空结构可以透过检测光线。
38.翻转支架10还包括多个吸附衬垫30，吸附衬垫30设置在支撑杆20上的交叉点位置，吸附衬垫30采用弹性型材质制备，吸附衬垫30可在外部气压控制装置(如抽真空设备)作用下实现吹气和吸气；具体地，当需要吸附显示基板60时，外部气压控制装置对吸附衬垫30施加正压而控制其吸气，降低吸附衬垫30和显示基板60之间的气压而实现吸附效果；当需要释放显示基板60时，外部气压控制装置对吸附衬垫30施加负压而向其吹气，增大吸附衬垫30和显示基板60之间的气压而实现二者的分离作用效果。
39.可选地，在本发明的一个具体实施例中，吸附衬垫30为风琴式真空吸盘30，每个第一支撑杆201或第二支撑杆202上均沿自身延伸方向设有多个第一凹槽(图中未示出)，多个真空吸盘30一一对应设置于多个第一凹槽内。
40.进一步可选地，支撑杆20内部包括导风通道(图中未示出)，导风通道的一端与多个真空吸盘30连通，导风通道的另一端与外部气压控制单元(图中未示出)连通。
41.可选地，在本发明的一个具体实施例中，吸附衬垫30包括设置于支撑条20上的吸柱(图中未示出)及连接于吸柱一端的吸盘30，吸柱的另一端连接抽真空装置(图中未示出)。
42.如图3所示，吸附衬垫30包括沿第一方向x平行排布的第一吸附衬垫列321和第二吸附衬垫列322，第一吸附衬垫列321和第二吸附衬垫列322均包括多个吸附衬垫30，位于第二吸附衬垫列322中的一吸附衬垫30在第一吸附衬垫列321上的正投影位于第一吸附衬垫列321中相邻的两吸附衬垫30之间，也即位于相邻两吸附衬垫列32中的吸附衬垫30在第一方向x上的投影不交叠。或者，吸附衬垫30包括沿第二方向y平行排布的第一吸附衬垫行311和第二吸附衬垫行312，第一吸附衬垫行311和第二吸附衬垫行312均包括多个吸附衬垫30，位于第二吸附衬垫行312中的一吸附衬垫30在第一吸附衬垫行311上的正投影位于第一吸附衬垫行311中相邻的两吸附衬垫30之间，也位于相邻两吸附衬垫行31中的吸附衬垫30在第二方向y上的投影不交叠。或者，吸附衬垫30包括沿第一方向x平行排布的第一吸附衬垫列321和第二吸附衬垫列322，第一吸附衬垫列321和第二吸附衬垫列322均包括多个吸附衬垫30，位于第二吸附衬垫列322中的一吸附衬垫30在第一吸附衬垫列321上的正投影位于第一吸附衬垫列321中相邻的两吸附衬垫30之间；以及，吸附衬垫30包括沿第二方向y平行排布的第一吸附衬垫行311和第二吸附衬垫行312，第一吸附衬垫行311和第二吸附衬垫行312均包括多个吸附衬垫30，位于第二吸附衬垫行312中的一吸附衬垫30在第一吸附衬垫行311
上的正投影位于第一吸附衬垫行311中相邻的两吸附衬垫30之间；也即位于相邻两吸附衬垫30列中的吸附衬垫30在第一方向x上的投影不交叠和位于相邻两吸附衬垫行31中的吸附衬垫30在第二方向y上的投影不交叠。采用本发明实施例中提供的吸附衬垫30排布方式，将吸附衬垫30的支撑形态由现有技术中的“井”字形四点支撑变为“v”字三点支撑，正常支撑时，根据三角形稳定性原理，整面受力依旧均衡。
43.此外，为验证本案吸附衬垫排布方式不影响显示基板的吸附能力，本案发明人通过实验设计验证：首先通过计算理论上每个吸附衬垫所承受的力与真空值，调整完成后对翻转机构进行冷运行(cold run)1000次，每次包含步骤有：
44.a、与robot进行正常交换片；
45.b.翻转支架的支撑面进行多角度翻转静置：水平位置：x＝0
°
，y＝0
°
；观测初始位置x＝45
°
，y＝0
°
，各垂直位置x＝90
°
/270
°
，y＝90
°
/270
°
等情形，每位置停留时间不少于20s，如果实验结果证明，更改吸附衬垫的分布不影响玻璃基板正常吸附使用，设备改善效果正常。这是因为在玻璃基板进行多角度翻转时，由于翻转机构的吸附衬垫整体所承载的总体负压未变，在降低了吸附衬垫数量时，调整后的单一吸附衬垫所提供的负压增大，对显示基板60上单点吸附能力增加，整面吸附衬垫总体吸附能力变化不大，玻璃基板可正常流片及翻转使用。由于相邻行或列中的各吸附衬垫30交错排布，显著降低了翻转支架10中吸附衬垫30的数量，降低吸附衬垫30对检测光线的遮挡，使得实际使用中显示基板透光率增强，空置出的原吸附衬垫点位区域存在的产品不良问题可以被观测，提升了检测结果的准确度。另外吸附衬垫30是设置在支撑杆20的交点上，采用本发明提供的吸附衬垫30的排布方式，相应的也降低了支撑杆20的分布密度和在翻转支架10平面上的面积占比，降低支撑杆20对对检测光线的遮挡，也进一步提升检测结果的准确度，提升了检测效果。
46.可选地，如图2和图3所示，第一支撑杆201呈折线延伸，第二支撑杆202呈直线延伸；沿第二支撑杆202的延伸方向上，位于相邻两行的吸附衬垫行31上的吸附衬垫30交替与同一第一支撑杆201在翻转机构100厚度方向上交叠。
47.具体地，请继续参阅图2和图3，第一支撑杆201沿第一方向x呈现“w”形折线形态延伸，第二支撑杆202沿第二方向y呈直线延伸，同一第一支撑杆201和多条平行排布的第二支撑杆202的多个交点与相邻的第一吸附衬垫行311和第二吸附衬垫行312中的吸附衬垫30投影交叠；也即通过一条第一支撑杆201即可与多条第二支撑杆202交叉形成承载两行吸附衬垫30的交叉点，相比现有设计中需要通过两条第一支撑杆201与多条第二支撑杆202形成承载两行吸附衬垫30的交叉点的设计；节省了一倍的第一支撑杆201，不仅能够节省工料成本，而且降低了第一支撑杆201的分布密度和其在翻转支架10平面上的投影面积占比，降低支撑杆20对检测光线的遮挡，也进一步提升检测结果的准确度，提升了检测效果，还可降低工艺制成成本。
48.进一步可选地，请继续参阅图2和图3，每一吸附衬垫32列上的吸附衬垫30均与同一第二支撑杆202在翻转机构100厚度方向上交叠，沿第二方向y上，位于同一吸附衬垫列32上的相邻两吸附衬垫30位于间隔的两行吸附衬垫行311/312中。
49.具体地，如图2和图3所示，第一吸附衬垫列321上的吸附衬垫30均与同一第二支撑杆202在翻转机构100的厚度方向上投影交叠，沿第一支撑杆201的延伸方向上，第一吸附衬垫行311上的吸附衬垫30与间隔设置的第三吸附衬垫行313上的吸附衬垫30投影交叠，换句
话说，吸附衬垫行31是以间隔的方式重复排布的，例如，第一吸附衬垫行311、第三吸附衬垫行313中的吸附衬垫30排布方式完全，第二吸附衬垫行312、第四吸附衬垫行314中的吸附衬垫30排布方式重复。采用该交错排布方式，大概可以将现有技术中“井”字形排布方式需要的数量降低到本发明实施例方式中一半左右的数量，显著降低了翻转支架10中吸附衬垫30的数量，降低吸附衬垫30对检测光线的遮挡，提升检测结果的准确度。
50.进一步可选地，请继续参阅图2和图3，翻转机构100还包括位于外框11，外框11用于固定翻转支架10；辅助夹持件40，辅助夹持件40设置在外框11的相邻两边框111/112/113/114夹角的外侧区域、并于外框11固定连接。
51.具体地，如图2和图3所示，在矩形外框11的相邻两边框111/112/113/114的夹角区域外侧，每一夹角区域外侧均设置多个辅助夹持件40，例如在图2所示的矩形外框11结构的四个夹角区域均设置2个辅助夹持件40，辅助夹持件40可与外框11可拆卸连接，由此，在放置显示基板60时可先将辅助夹持件40从外框11上拆下，避免辅助夹持件40对显示基板60的放置造成阻挡，放置完成后再复原将辅助夹持件40安装于外框11上，使辅助夹持件40与支撑杆20共同夹持显示基板60；辅助夹持件40可如图2所示为圆柱体，圆滑的外壁结构避免对显示基板60造成损伤。
52.可选地，请继续参阅图2和图3，翻转机构100还包括辅助吸附衬垫32，辅助吸附衬垫32位于翻转支架10的拐角内侧、设置在第一支撑杆201或第二支撑杆202上。
53.具体地，如图2和图3，在矩形外框11的相邻两边框111/112/113/114的四个夹角区域内侧，还设置有辅助吸附衬垫32，辅助吸附衬垫32设置在靠近边框111/112/113/114的第二支撑杆202上；如此设计将翻转支架10的四角拐角区域的吸附衬垫30保留，确保显示基板60传送进来后不会发生四角翘曲的现象，
54.可选地，图5为本发明实施例提供的又一种基板翻转机构的结构示意图；
55.图6是图5所示的基板翻转机构的俯视结构示意图；如图5和图6所示，包括多个，对位件50围绕外框11结构的各边框111/112/113/114分散设置、并与外框11结构的各边框111/112/113/114固定连接。
56.具体地，如5和图6所示，沿矩形边框111/112/113/114的长边112/114方向，均匀分布设置4个对位件50，沿矩形边框111/112/113/114的短边111/113方向，均匀分布设置3个对位件50；需要说明的，本领域技术人员应当明白上述数字3和4只是具体的一种举例，本发明不对该数量进行具体限制。对位件50可与边框111/112/113/114进行可拆卸连接，由此，在放置显示基板60时可先将对位件50从外框11上拆下，避免对位件50对显示基板60的放置造成阻挡，放置完成后再复原将对位件50安装于外框11上，对位件50可以对该显示基板60进行对位，对位件50可由耐磨的聚醚醚酮材质制作。此外，对位件50还可与支撑杆20、辅助夹持件40共同配合夹持显示基板60；优选地，对位件50可具有圆滑的外壁结构避免对显示基板60造成损伤。
57.可选地，图7为本发明实施例提供的又一种基板翻转机构的结构示意图；图8是图7所示的基板翻转机构的俯视结构示意图；如图7和图8所示，第一支撑杆201呈直线延伸，第二支撑杆202呈折线延伸；沿第二支撑杆202的延伸方向上，位于相邻两吸附衬垫列321/322上的吸附衬垫30交替与同一第二支撑杆202在翻转机构100厚度方向上交叠。
58.具体地，请继续参阅图7和图8，第一支撑杆202沿第一方向x呈直线延伸，第二支撑
杆201沿第二方向y呈现“w”形折线形态延伸，同一第一支撑杆201和多条平行排布的第二支撑杆202的多个交点与相邻的第一吸附衬垫列321和第二吸附衬垫列322中的吸附衬垫30投影交叠；也即通过一条第二支撑杆202即可与多条第一支撑杆201交叉形成承载两列吸附衬垫30的交叉点，相比现有设计中需要通过两条第二支撑杆202与多条第一支撑杆201形成承载两列吸附衬垫30的交叉点的设计；节省了一条第二支撑杆202，不仅能够节省工料成本，而且降低了第二支撑杆202的分布密度和在翻转支架10平面上的面积占比，降低支撑杆对对检测光线的遮挡，也进一步提升检测结果的准确度，提升了检测效果。
59.进一步可选地，请继续参阅图7和图8，每一吸附衬垫行31上的吸附衬垫30均与同一第一支撑杆201在翻转机构100厚度方向上交叠，沿第一方向x上，位于同一吸附衬垫行31上的相邻两吸附衬垫30位于间隔的两吸附衬垫列321/322中。
60.具体地，如图7和图8所示，第一吸附衬垫行311上的吸附衬垫30均与同一第一支撑杆201在翻转机构100的厚度方向上投影交叠，沿第一支撑杆201的延伸方向上，第一吸附衬垫列321上的吸附衬垫30与间隔设置的第三吸附衬垫列323上的吸附衬垫30投影交叠，换句话说，吸附衬垫列32是以间隔的方式重复排布的，例如，第一吸附衬垫列321、第三吸附衬垫列323中的吸附衬垫30排布方式完全，第二吸附衬垫列322、第四吸附衬垫列324中的吸附衬垫30排布方式重复。采用该交错排布方式，大概可以将现有技术中“井”字形排布方式需要的数量降低到本发明实施例方式中一半左右的使用数量，显著降低了翻转支架10中吸附衬垫30的数量，降低吸附衬垫30对检测光线的遮挡，提升检测结果的准确度。
61.可选地，图9为本发明实施例提供又一种基板翻转机构的结构示意图；如图9所示，翻转支架10还包括与外框11两短边外侧连接设置的v形导风件70，v形导风件70的中轴线与翻转支架10的旋转轴平行；翻转支架10翻转时通过v形导风件70将风导走，避免过多的风穿过翻转支架10内部而到达显示基板60减小显示基板60受到的风阻，进而降低了显示基板60受损和脱落的可能性。进一步地，翻转机构100还包括动力驱动装置80，动力驱动装置80可以驱动翻转支架10沿旋转轴翻转，动力驱动装置80可选用电力马达等，本发明实施例中不进行具体限制。
62.本发明实施例通过对基板翻转机构中的支撑杆的结构形态以及吸附衬垫的排布方式进行调整，也即吸附衬垫包括沿第一方向排布的多个吸附衬垫列，位于相邻两吸附衬垫列中的吸附衬垫在第一方向上的投影不交叠；或，吸附衬垫包括沿第二方向排布的多个吸附衬垫行，位于相邻两吸附衬垫行中的吸附衬垫在第二方向上的投影不交叠。吸附衬垫的支撑形态由现有技术中的“井”字形四点支撑变为“v”字三点支撑，相邻行或列中的各吸附衬垫交错排布，显著降低了翻转支架中吸附衬垫的数量，降低吸附衬垫对检测光线的干扰，提升检测结果的准确度。另外吸附衬垫是设置在支撑杆的交点上，采用本发明提供的吸附衬垫的排布方式，相应的也降低了支撑杆的分布密度和在翻转支架平面上的面积占比，降低支撑杆对对检测光线的干扰，也进一步提升检测结果的准确度，提升检测效果。
63.以上仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明保护的范围之内。