一种具有双重防滑结构的硅片储存装置的制作方法

文档序号:31755832发布日期:2022-10-12 00:56阅读:91来源:国知局
一种具有双重防滑结构的硅片储存装置的制作方法

1.本实用新型涉及硅片储存技术领域,具体为一种具有双重防滑结构的硅片储存装置。


背景技术:

2.微电子技术在航空航天、国防和工业自动化等行业中起到极大的作用,而硅片是其中十分重要的一个部件,其中在硅片生产过程中,需要对其进行存储,以便进行运输等工序的进行。
3.在实际存储或运输过程中,但因放置位置不平或出现倾斜等情况时,储存装置可能会发生滑动,或使得其内部储存的硅片发生滑动,进而可能会导致硅片造成损坏。


技术实现要素:

4.针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种具有双重防滑结构的硅片储存装置,具备便于双重防滑等优点,解决了一般硅片储存装置不便于双重防滑的问题。
5.为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种具有双重防滑结构的硅片储存装置,包括箱体,所述箱体的内底壁固定连接有橡胶座,所述橡胶座的内部开设有放置槽,所述箱体的内侧壁固定连接有固定板,所述固定板的内部开设有预留槽,所述箱体的顶端活动连接有箱板,所述箱板顶端的中间位置处固定连接有把手,所述箱板顶端的两侧固定连接有干燥结构。
6.所述箱体两侧的底端固定连接有吸盘,所述箱体的底端固定连接有摩擦板,所述放置槽的内侧壁固定连接有柔性块,所述预留槽的内侧壁固定连接有橡胶垫。
7.进一步,所述箱板的两侧活动连接有安装螺栓,且箱体两侧开设有与安装螺栓相配合的螺栓孔。
8.进一步,所述干燥结构包括干燥箱,所述干燥箱固定连接在箱板顶端的两侧,且干燥箱的内底壁固定连接有孔板,所述孔板的顶端活动连接有干燥块,所述干燥箱顶端的两侧开设有磁吸孔,且干燥箱的顶端活动连接有盖板,所述盖板底端两侧固定连接有与磁吸孔相配合的磁吸块。
9.进一步,所述盖板通过磁吸块与磁吸孔的内部之间构成磁吸卡合结构,且磁吸块和磁吸孔的数量为四个。
10.进一步,所述橡胶垫的形状为直角梯形,且橡胶垫的长度等于预留槽内部的长度。
11.进一步,所述摩擦板的底端开设有防滑纹,且摩擦板的数量为三个。
12.进一步,所述柔性块的形状为半圆型,且柔性块关于放置槽的竖向中轴线对称分布。
13.与现有技术相比,本技术的技术方案具备以下有益效果:
14.1、该具有双重防滑结构的硅片储存装置,通过设置有橡胶垫、吸盘、摩擦板和柔性块,通过放置槽和预留槽实现硅片之间的分隔,避免硅片之间的相互刚性堆叠,同时利用直
角梯形的橡胶垫和半圆型的柔性块,减少硅片卡合在放置槽和预留槽内部的间隙,实现其防滑缓冲性,且利用吸盘吸附在较光滑的放置面上,进而实现箱体的稳定放置,当放置面较粗糙时,利用有防滑纹的摩擦板,提高箱体放置的防滑稳定性,实现箱体的平稳放置,进而实现箱体内外的双重防滑,提高其放置的稳定性,避免放置位置不平或出现倾斜等情况时,硅片的意外移动,导致硅片的损坏,从而解决了不便于双重防滑的问题。
15.2、该具有双重防滑结构的硅片储存装置,通过设置有盖板、干燥块、干燥箱和孔板,通过干燥块对箱体内部进行干燥除潮处理,避免潮气堆积,进而影响硅片的存储效果,提高硅片存储实际,且可利用磁吸块和磁吸孔之间的磁吸卡合,便于盖板的安装拆卸,进而可对干燥块进行更换,避免其吸附饱和导致干燥除潮性下降,保证干燥除潮效果,从而解决了不便进行干燥除潮的问题。
附图说明
16.图1为本实用新型的正视剖面结构示意图;
17.图2为本实用新型的侧视剖面结构示意图;
18.图3为本实用新型的橡胶底座处局部放大结构示意图;
19.图4为本实用新型的干燥箱处放大结构示意图;
20.图5为本实用新型图1的a部放大结构示意图。
21.图中:1、箱板;2、干燥结构;201、盖板;202、干燥块;203、磁吸块;204、干燥箱;205、孔板;206、磁吸孔;3、把手;4、固定板;5、橡胶垫;6、箱体;7、吸盘;8、摩擦板;9、橡胶座;10、放置槽;11、柔性块;12、预留槽;13、安装螺栓;14、螺栓孔。
具体实施方式
22.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
23.请参阅图1-5,本实施例中的一种具有双重防滑结构的硅片储存装置,包括箱体6,箱体6的内底壁固定连接有橡胶座9,橡胶座9的内部开设有放置槽10,箱体6的内侧壁固定连接有固定板4,固定板4的内部开设有预留槽12,箱体6的顶端活动连接有箱板1,箱板1顶端的中间位置处固定连接有把手3,箱板1顶端的两侧固定连接有干燥结构2。
24.箱体6两侧的底端固定连接有吸盘7,箱体6的底端固定连接有摩擦板8,放置槽10的内侧壁固定连接有柔性块11,预留槽12的内侧壁固定连接有橡胶垫5。
25.请参阅图1和图5本实施例中的,箱板1的两侧活动连接有安装螺栓13,且箱体6两侧开设有与安装螺栓13相配合的螺栓孔14。
26.需要说明的是,通过安装螺栓13和螺栓孔14的配合,便于箱板1和箱体6之间的稳定安装。
27.请参阅图1、图2和图4,本实施例中的,干燥结构2包括干燥箱204,干燥箱204固定连接在箱板1顶端的两侧,且干燥箱204的内底壁固定连接有孔板205,孔板205的顶端活动连接有干燥块202,干燥箱204顶端的两侧开设有磁吸孔206,且干燥箱204的顶端活动连接
有盖板201,盖板201底端两侧固定连接有与磁吸孔206相配合的磁吸块203。
28.需要说明的是,通过干燥块202对箱体6内部进行干燥除潮处理,避免潮气堆积,进而影响硅片的存储效果,且可利用磁吸块203和磁吸孔206之间的磁吸卡合,便于盖板201的安装拆卸,进而可对干燥块202进行更换。
29.请参阅图1、图2和图4,本实施例中的,盖板201通过磁吸块203与磁吸孔206的内部之间构成磁吸卡合结构,且磁吸块203和磁吸孔206的数量为四个。
30.需要说明的是,通过多个磁吸块203和磁吸孔206之间的磁吸卡合,便于盖板201与干燥箱204之间的安装拆卸。
31.请参阅图1和图2,本实施例中的,橡胶垫5的形状为直角梯形,且橡胶垫5的长度等于预留槽12内部的长度。
32.需要说明的是,通过设置直角梯形的橡胶垫5,便于减少硅片放置在预留槽12内部间隙,提高防滑缓冲性。
33.请参阅图1和图2,本实施例中的,摩擦板8的底端开设有防滑纹,且摩擦板8的数量为三个。
34.需要说明的是,通过多个有防滑纹的摩擦板8,提高箱体6放置的防滑稳定性。
35.请参阅图1、图2和图3,本实施例中的,柔性块11的形状为半圆型,且柔性块11关于放置槽10的竖向中轴线对称分布。
36.需要说明的是,通过设置半圆型的柔性块11,提高硅片卡合在放置槽10内部的稳定性,且可实现防滑缓冲性。
37.可以理解的是,该具有双重防滑结构的硅片储存装置,可实现双重防滑,保证硅片放置存储的稳定性,避免造成损坏,同时可对箱体6内部进行干燥除潮,提高存储效果。
38.上述实施例的工作原理为:
39.工作时,首先将箱板1打开,之后将硅片依次穿过预留槽12和放置槽10,进而依次将硅片卡合限位,且可实现硅片之间的分隔,避免硅片之间的相互刚性堆叠,同时利用直角梯形的橡胶垫5和半圆型的柔性块11,减少硅片卡合在放置槽10和预留槽12内部的间隙,实现其防滑缓冲性,避免受外力时,硅片在箱体6内部的滑动移位;
40.再将箱板1盖合在箱体6顶端,之后通过安装螺栓13和螺栓孔14的配合,将箱板1牢牢固定在箱体6顶端,同时利用干燥块202对箱体6内部进行干燥除潮处理,避免潮气堆积,进而影响硅片的存储效果,且可利用磁吸块203和磁吸孔206之间的磁吸卡合,便于盖板201的安装拆卸,进而可对干燥块202进行更换,避免其吸附饱和导致干燥除潮性下降;
41.同时在存储和运输过程中,可利用吸盘7吸附在较光滑的放置面上,进而实现箱体6的稳定放置,当放置面较粗糙时,利用有防滑纹的摩擦板8,提高箱体6放置的防滑稳定性,实现箱体6的平稳放置,进而实现箱体6内外的双重防滑,提高其放置的稳定性。
42.需要说明的是,在本文中,诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下,由语句“包括一个
……”
限定的要素,并不排除在
包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
43.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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