一种大型真空炉生产用可移动升降装置的制作方法

本发明属于升降机，具体是指一种大型真空炉生产用可移动升降装置。

背景技术：

1、半导体材料的生产需要经过较为严格的热处理工艺，为了提高工艺精度，可以选择将热处理设备放在大型的真空炉中，以减小外界环境的温度波动对热处理过程的干扰。

2、大型的真空炉一般为圆柱形，顶部收口的结构，在生产加工的过程中，只要外壳焊接完成，都需要从顶部口进行出入，目前常采用的方式是安全绳吊装，但是安全绳没有固定点，使用时容易晃动且操作人员难以触及横向距离较远的位置。

技术实现思路

1、针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本发明提出了一种安全、方便、稳定、有效范围广的大型真空炉生产用可移动升降装置装置，通过液压式自适应配重补偿机构能够感应感应式主动反馈机构的倾斜状态，并且根据感应式主动反馈机构的倾斜自适应地做出反馈和反应，并自动调节配重块的位置，进而避免重心偏移带来的安全隐患和对结构稳定性的威胁；通过感应式主动反馈机构能够根据操作人员所处位置的不同，表现出小幅度的倾斜变化，进而对液压式自适应配重补偿机构的反馈和自适应调节进行信号输入；通过液压式自适应配重补偿机构和感应式主动反馈机构的配合，能够在没有任何位置反馈模块和电控组件的情况下，仅仅通过巧妙的机械结构就实现了重心位置的自适应补偿。

2、本发明采取的技术方案如下：本发明提出了一种大型真空炉生产用可移动升降装置，包括升降式机架、液压式自适应配重补偿机构、感应式主动反馈机构和主动旋转调节机构，所述升降式机架卡合设于主动旋转调节机构中，通过升降式机架能够控制升降，从而对生产作业时的纵向高度进行调节；所述液压式自适应配重补偿机构设于升降式机架的底部，通过液压式自适应配重补偿机构能够感应感应式主动反馈机构的倾斜状态，并且根据感应式主动反馈机构的倾斜自适应地做出反馈和反应，并自动调节配重块的位置，进而避免重心偏移带来的安全隐患和对结构稳定性的威胁；通过感应式主动反馈机构能够根据操作人员所处位置的不同，表现出小幅度的倾斜变化，进而对液压式自适应配重补偿机构的反馈和自适应调节进行信号输入；通过液压式自适应配重补偿机构和感应式主动反馈机构的配合，能够在没有任何位置反馈模块和电控组件的情况下，仅仅通过巧妙的机械结构就实现了重心位置的自适应补偿；所述感应式主动反馈机构设于升降式机架的底部，通过主动旋转调节机构能够调节升降式机架的角度。

3、进一步地，所述升降式机架包括升降驱动组件和升降导向组件，所述升降驱动组件卡合设于主动旋转调节机构中，所述升降导向组件滑动设于升降驱动组件中；所述升降驱动组件包括中空旋转盘和升降驱动装置，所述中空旋转盘卡合设于主动旋转调节机构中，所述中空旋转盘上设有中间方孔，所述升降驱动装置对称设于中空旋转盘的两侧。

4、作为优选地，所述升降导向组件包括导向立柱、吊装式底板和方形顶板，所述导向立柱卡合滑动设于升降驱动装置中，所述方形顶板固接于导向立柱的顶端，所述吊装式底板固接于导向立柱的底端，通过升降驱动装置对导向立柱的驱动能够带着升降导向组件产生纵向运动，从而对站立位置的高度进行调节。

5、进一步地，所述液压式自适应配重补偿机构包括重心感应组件、配重偏移组件和自适应联动组件，所述重心感应组件设于吊装式底板上，配重偏移组件设于吊装式底板上，所述自适应联动组件设于吊装式底板上，所述自适应联动组件对称设有两组。

6、作为优选地，所述重心感应组件包括感应液压箱、感应活塞和感应把手，所述感应液压箱设于吊装式底板上，所述感应液压箱上设有感应箱底孔，所述感应活塞卡合滑动设于感应液压箱中，所述感应活塞和感应液压箱的内壁滑动密封接触，所述感应把手设于感应活塞上，所述感应把手卡合滑动设于感应箱底孔中，所述感应把手和感应箱底孔之间滑动密封接触，所述感应把手上设有把手圆柱，通过反馈挑板的运动能够带着感应把手和感应活塞运动，进而控制自适应联动组件和伸缩缸体中的传动液的流向，进而使得复位反馈组件和配重偏移组件之间产生自适应地联动。

7、作为本发明的进一步优选，所述配重偏移组件包括偏移导轨、偏移滑条和配重块，所述偏移导轨固接于吊装式底板上，所述偏移导轨对称设于重心感应组件的两侧，所述偏移滑条卡合滑动设于偏移导轨中，所述配重块固接于偏移滑条的端部，当偏移滑条和偏移导轨之间产生相对滑移时，配重块和吊装式底板的相对位置也会改变，从而补偿操作人员的位置移动带来的吊装式底板上整体重心位置的偏移。

8、作为本发明的进一步优选，所述自适应联动组件包括伸缩缸体、伸缩杆、伸缩连接件和联动油管，所述伸缩缸体设于吊装式底板上，所述伸缩杆卡合滑动设于伸缩缸体中，所述伸缩杆和伸缩缸体的内壁滑动密封接触，所述伸缩连接件设于伸缩杆的端部，所述伸缩连接件和偏移滑条固接，所述联动油管设于伸缩缸体和感应液压箱之间，由于伸缩杆通过伸缩连接件和偏移滑条连接，因此当自适应联动组件在感应液压箱的作用下被动伸缩时，能够带着配重偏移组件同步伸缩，进而实现复位反馈组件和配重偏移组件之间的自适应联动补偿。

9、进一步地，所述感应式主动反馈机构包括杠杆组件和复位反馈组件，所述杠杆组件设于吊装式底板上，所述复位反馈组件设于杠杆组件上；所述杠杆组件包括旋转基台、旋转中心轴和吊装基台，所述旋转基台设于吊装式底板上，所述旋转中心轴卡合设于旋转基台中，所述吊装基台转动设于旋转中心轴上，通过杠杆组件能够对悬臂式踏板进行支撑，并且允许杠杆组件进行下幅度的倾斜。

10、作为优选地，所述复位反馈组件包括悬臂式踏板、复位弹簧和反馈挑板，所述悬臂式踏板设于吊装基台上，所述悬臂式踏板上设有踏板围栏，所述复位弹簧阵列设于悬臂式踏板和吊装式底板之间，所述反馈挑板设于悬臂式踏板的一端，所述反馈挑板上设有挑板腰型孔，所述把手圆柱卡合滑动设于挑板腰型孔中，通过高模量的复位弹簧，既能允许悬臂式踏板倾斜，又能维持悬臂式踏板的相对稳定；当悬臂式踏板承载的重量和位置不同时，反馈挑板的倾斜幅度也会发生改变，并且这种反馈和改变是实时且自动进行的，此时通过反馈挑板能够对感应活塞的升降进行控制，进行重心偏移的补偿。

11、进一步地，所述主动旋转调节机构包括自转组件和夹持固定组件，所述夹持固定组件环形均布设于自转组件的底部；所述自转组件包括旋转基体和旋转卡盘，所述旋转卡盘转动设于旋转基体中，所述中空旋转盘卡合设于旋转卡盘中。

12、作为优选地，所述夹持固定组件包括下垂式角铁、紧固螺柱和弧形紧固片，所述下垂式角铁环形均布设于旋转基体的底部，所述紧固螺柱和下垂式角铁螺纹连接，所述紧固螺柱转动设于弧形紧固片上。

13、采用上述结构本发明取得的有益效果如下：

14、（1）通过升降式机架能够控制升降，从而对生产作业时的纵向高度进行调节；

15、（2）通过液压式自适应配重补偿机构能够感应感应式主动反馈机构的倾斜状态，并且根据感应式主动反馈机构的倾斜自适应地做出反馈和反应，并自动调节配重块的位置，进而避免重心偏移带来的安全隐患和对结构稳定性的威胁；

16、（3）通过感应式主动反馈机构能够根据操作人员所处位置的不同，表现出小幅度的倾斜变化，进而对液压式自适应配重补偿机构的反馈和自适应调节进行信号输入；

17、（4）通过液压式自适应配重补偿机构和感应式主动反馈机构的配合，能够在没有任何位置反馈模块和电控组件的情况下，仅仅通过巧妙的机械结构就实现了重心位置的自适应补偿；

18、（5）通过升降驱动装置对导向立柱的驱动能够带着升降导向组件产生纵向运动，从而对站立位置的高度进行调节；

19、（6）通过反馈挑板的运动能够带着感应把手和感应活塞运动，进而控制自适应联动组件和伸缩缸体中的传动液的流向，进而使得复位反馈组件和配重偏移组件之间产生自适应地联动；

20、（7）当偏移滑条和偏移导轨之间产生相对滑移时，配重块和吊装式底板的相对位置也会改变，从而补偿操作人员的位置移动带来的吊装式底板上整体重心位置的偏移；

21、（8）由于伸缩杆通过伸缩连接件和偏移滑条连接，因此当自适应联动组件在感应液压箱的作用下被动伸缩时，能够带着配重偏移组件同步伸缩，进而实现复位反馈组件和配重偏移组件之间的自适应联动补偿；

22、（9）通过杠杆组件能够对悬臂式踏板进行支撑，并且允许杠杆组件进行下幅度的倾斜；

23、（10）通过高模量的复位弹簧，既能允许悬臂式踏板倾斜，又能维持悬臂式踏板的相对稳定；当悬臂式踏板承载的重量和位置不同时，反馈挑板的倾斜幅度也会发生改变，并且这种反馈和改变是实时且自动进行的，此时通过反馈挑板能够对感应活塞的升降进行控制，进行重心偏移的补偿。