物品搬送车的制作方法
【技术领域】
[0001 ] 本发明涉及由支撑体悬挂支撑并搬送搬送物的物品搬送车。
【背景技术】
[0002]在日本公开专利公报特开2006-298535号(专利文献I)中记载了悬挂支撑并搬送搬送物的物品搬送车的一个示例。该物品搬送车具备:行驶体，沿着行驶路径行驶；支撑体，悬挂支撑搬送物；以及升降用驱动部，使支撑体相对于行驶体而升降。支撑体具备:升降部，由升降用驱动部升降；搬送物支撑部，支撑搬送物的被支撑部；以及支撑用驱动部，使搬送物支撑部在位于被支撑部的正下方的支撑用位置和从被支撑部的正下方的位置退避的退避用位置移动。另外，在支撑体，具备将搬送物支撑部在支撑用位置和退避用位置移动自由地引导支撑的引导支撑体，在搬送物支撑部的上面，具备沿上下方向弹性变形自由的缓冲体。
[0003]配备于搬送物支撑部的上面的缓冲体挡住支撑对象的搬送物的负荷。S卩，在专利文献I的物品搬送车中，使缓冲体介于搬送物支撑部与搬送物的被支撑部之间，由此，在行驶体行驶时和升降部升降时，使传递至搬送物的振动降低。可是，在搬送物支撑部的上面，具备这样的缓冲体，由此搬送物支撑部沿上下方向变厚。因此，在为了由搬送物支撑部支撑搬送物的被支撑部而使搬送物支撑部从退避用位置移动至支撑用位置时，搬送物支撑部容易与搬送物的被支撑部干涉。
[0004]在先技术文献
专利文献1:日本特开2006-298535号公报。
【发明内容】
[0005]发明要解决的课题
于是，寻求能够在行驶体行驶时和升降部升降时降低传递至搬送物的振动且同时搬送物支撑部难以与搬送物的被支撑部干涉的物品搬送车。
[0006]用于解决课题的方案
鉴于上述的物品搬送车，作为一个方式，具备:
行驶体，沿着行驶路径行驶；
支撑体，悬挂支撑搬送物；以及升降用驱动部，使所述支撑体相对于所述行驶体升降，
在此，所述支撑体具备:
升降部，由所述升降用驱动部升降；
搬送物支撑部，支撑所述搬送物的被支撑部；以及
支撑用驱动部，使所述搬送物支撑部在支撑用位置与退避用位置之间移动，
所述支撑用位置是所述搬送物支撑部存在于所述被支撑部的正下方的位置，
所述退避用位置是使所述搬送物支撑部从所述被支撑部的正下方退避的位置， 所述支撑体还具备:
引导支撑部，支撑所述搬送物支撑部，并且在所述支撑用位置和所述退避用位置移动自由地引导所述搬送物支撑部；和
缓冲体，配置于所述升降部与所述引导支撑部之间，承受包括所述搬送物支撑部的负荷的所述引导支撑部的负荷，并且沿上下方向弹性变形自由。
[0007]依据该构成，由于缓冲体位于支撑搬送物支撑部的引导支撑部与升降部之间，因而通过由缓冲体来吸收行驶体行驶时的升降部的振动和升降部升降时的升降部的振动，从而能够抑制传递至由搬送物支撑部支撑的搬送物的振动。另外，例如像专利文献I那样，缓冲体不是配备于搬送物支撑部的上面，而是配备于升降部与引导支撑部之间。结果，与在搬送物支撑部的上面具备缓冲体的情况相比，能够使搬送物支撑部沿上下方向较薄地形成。因此，在为了由搬送物支撑部支撑搬送物的被支撑部而使搬送物支撑部从退避用位置移动至支撑用位置时，能够使搬送物支撑部难以与搬送物的被支撑部干涉。即，通过在升降部与引导支撑部之间以承受引导支撑部的负荷的状态配备缓冲体，从而能够抑制在行驶体行驶时和升降部升降时传递至搬送物的振动，同时能够使搬送物支撑部难以与搬送物的被支撑部干涉。
[0008]根据对参照附图而说明的实施方式的以下记载，物品搬送设备的进一步的特征和优点变得明白。
【附图说明】
[0009]图1是物品搬送设备的侧面图。
[0010]图2是顶棚搬送车的侧面图。
[0011]图3是一对搬送物支撑部位于支撑用位置的支撑机构的纵截侧面图。
[0012]图4是一对搬送物支撑部位于退避用位置的支撑机构的纵截侧面图。
[0013]图5是支撑机构的俯视图。
[0014]符号说明:
I顶棚搬送车(物品搬送车)
6搬送物
9被支撑部
16行驶移动部(行驶体)
23支撑机构(支撑体)
29升降用电动机(升降用驱动部)
31升降体(升降部)
32搬送物支撑部
33支撑用电动机(支撑用驱动部)
35引导支撑部 36缓冲体 37水平限制体 44承载部分 45被承载部分。
【具体实施方式】
[0015]以下，基于附图而说明将物品搬送车适用于物品搬送设备的情况的实施方式。如图1所示，在物品搬送设备，设置有:顶棚搬送车1，由沿着移动路径配设于顶棚侧的行驶轨道2引导支撑，作为沿着移动路径行驶自由的物品搬送车；处理装置3，对容纳于搬送物6的基板进行处理；以及支撑台4，以与该处理装置3邻接的状态设置于地面上。由顶棚搬送车I搬送的搬送物6是将容纳物容纳的搬送容器，具体而言，是作为容纳物而容纳多个半导体基板的FOUP (Front Opening Unified Pod，前开式统集盒)。
[0016][搬送物]
如图3所示，在搬送物6，具备容纳多块基板的本体部7、比该本体部7更位于上方并配备于搬送物6的上端部的被支撑部9 (凸缘部)、将本体部7和被支撑部9联接的联接部8、以及将形成于本体部7的前面的基板出入用的开口关闭的装卸自由的盖体(未图示)。被支撑部9以从联接部8沿容器前后方向和容器左右方向突出的形状形成。而且，在本体部7的上面与被支撑部9的下面之间，形成有插入用空间12 (搬送物支撑部插入用空间)。插入用空间12形成于搬送物6中的被支撑部9的下方。该插入用空间12是后述的一对搬送物支撑部32沿容器左右方向插入的空间。
[0017][顶棚搬送车]
以下，说明顶棚搬送车I。在此，将沿着顶棚搬送车I的行驶方向的方向称为前后方向X，并将在俯视时与该前后方向X正交的方向(与水平方向正交的方向)称为左右方向Y而说明。另外，在升降支撑部17，搬送物6以其容器左右方向沿着顶棚搬送车I的前后方向X的状态被支撑。因此，以下，假设搬送物6由升降支撑部17支撑的状态，以搬送物6的容器左右方向作为前后方向X且以搬送物6的容器前后方向作为左右方向Y而说明。
[0018]如图1和图2所示，顶棚搬送车I具备如下部件而构成:行驶移动部16，在行驶轨道2上沿着移动路径行驶；和升降支撑部17，以位于行驶轨道2的下方的方式悬挂支撑于行驶移动部16，而且升降移动自由地对支撑搬送物6的支撑机构23进行支撑。此外，行驶移动部16相当于沿着移动路径移动的行驶体，支撑机构23相当于悬挂支撑搬送物6的支撑体。
[0019]如图2所示，在行驶移动部16，设置有由行驶用电动机19旋转驱动而在行驶轨道2的上面转动的驱动轮20和抵接在行驶轨道2的侧面的旋转自由的引导轮21。由行驶用电动机19旋转驱动驱动轮20，由行驶轨道2接触引导引导轮21，由此，行驶移动部16沿着移动路径行驶。
[0020]升降支撑部17具备:上述的支撑机构23，悬挂支撑搬送物6 ;升降操作机构24，使支撑机构23升降；罩部25，覆盖由支撑机构23支撑并位于支撑用高度的搬送物6 (参照图
2和图3)的上方侧和前后方向X的两侧；以及防落下体26，防止由支撑机构23支撑在支撑用高度处的搬送物6的落下。
[0021]升降操作机构24具备:卷绕体28，将联接支撑支撑机构23的缠绕带24a卷绕于前端部；和升降用电动机29，旋转驱动卷绕体28。通过升降用电动机29沿正方向或反方向旋转驱动卷绕体28，将缠绕带24a缠绕或陆续放出，由此，支撑机构23相对于行驶移动部16而升降移动。此外，升