物品输送设备的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及具备在沿上下方向排列的多个移载对象部位之间输送物品的物品输送装置的物品输送设备。
【背景技术】
[0002]在日本公开特许公报特开平6 - 156628号(专利文献I)中，记载有具备在沿上下方向排列的多个移载对象部位之间输送物品的物品输送装置的物品输送设备的一例。该物品输送装置具备沿着上下方向升降移动的升降体、和支承在该升降体上并在自己与移载对象部位之间移载物品的移载装置。移载装置具备将物品载置支承的支承体、和使该支承体向朝向移载对象部位突出的突出位置和朝向升降体回退的回退位置进退移动的进退用驱动装置。
[0003]在专利文献I的物品输送设备中，在升降体上具备在上下方向上弹性变形自如的缓冲体。该缓冲体位于载置支承在叉装置(9)的支承部件上的物品的上方。具体而言，该缓冲体在载荷稳定器(11)与推压板(15)之间具备弹簧(16a)而在上下方向上弹性变形自如地构成。此外，缓冲体构成为，能够向从上方对载置支承在叉装置(9)的支承部件上的物品推压的推压位置、和相对于载置支承在叉装置(9)的支承部件上的物品向上方离开的离开位置升降移动。
[0004]例如，当升降体升降移动时，通过使缓冲体下降移动并使其位于推压位置，实现用缓冲体将物品推压的状态。由此，能够使得物品不从支承部件浮起，能够降低物品从移载装置落下的可能性。特别是，在升降体上升移动的途中急停止那样的情况下，通过朝上的惯性力，物品要从支承部件浮起。但是，如果物品被缓冲体从上方推压，则能够抑制该物品的浮起。因而，即使是使升降体紧急停止那样的情况，也能够降低物品从移载装置滚落的可能性。此外，当使移载装置的支承部件进退移动而在与移载对象部位之间移载物品时，能够使缓冲体上升移动而位于退避位置，以使移载的物品不与缓冲体干涉。
[0005]但是，在专利文献I的物品输送设备中，在用移载装置移载(移交)物品之前，为了将由缓冲体对于物品的推压解除，需要使缓冲体上升移动到退避位置。此外，在通过移载装置完成物品的移载(接受)后，为了用缓冲体推压物品，需要使缓冲体下降移动到推压位置。这样，需要在用移载装置将物品移载的前后使缓冲体升降移动，所以成为伴随着稍稍复杂的操作。
【发明内容】
[0006]所以，要求有容易在防止物品从移载装置的滚落的同时顺畅地进行由移载装置进行的物品的移载的物品输送设备。
[0007]作为一个技术方案，鉴于上述的物品输送设备具备物品输送装置，上述物品输送装置在沿上下方向排列的多个移载对象部位之间输送物品；上述物品输送装置具备升降体和移载装置，上述升降体沿着上下方向升降移动，上述移载装置被上述升降体支承并在自己与上述移载对象部位之间移载物品；上述移载装置具备支承体和进退用驱动装置，上述支承体载置支承物品，上述进退用驱动装置使上述支承体向朝向上述移载对象部位突出的突出位置和朝向上述升降体回退的回退位置进退移动；上述支承体具备在上下方向上弹性变形自如的支承部件，且构成为用该支承部件载置支承物品；在上下方向上弹性变形自如的缓冲体以相对于被上述支承部件载置支承的物品向上方离开设定距离的状态装备在上述升降体上。
[0008]根据该结构，即使是物品从支承部件浮起的情况，由于该浮起的物品被缓冲体承接住，所以也能够防止物品的设定距离以上的浮起。通过这样抑制物品从支承部件的浮起，能够防止物品从支承部件滚落。此外，由于缓冲体在上下方向上弹性变形自如地构成，所以能够抑制物品被缓冲体承接住时的冲击。并且，由缓冲体承接住的物品通过重力向支承部件上落下，但由于承接住该物品的支承部件在上下方向上弹性变形自如地构成，所以能够抑制物品被支承部件承接住时的冲击。
[0009]此外，缓冲体相对于被支承部件载置支承的物品向上方离开了设定距离。S卩，由于确保了空间以使物品不与缓冲体接触，所以当用移载装置移载物品时，即使不使缓冲体向上方退避，也能够在避免物品与缓冲体的接触的同时移载物品。这样，能够在防止物品的设定距离以上的浮起而抑制物品从支承部件滚落的同时，不使缓冲体升降移动而用移载装置移载物品，所以容易顺畅地进行通过移载装置进行的物品的移载。
[0010]物品输送设备的更多的特征和优点，根据参照【附图说明】的关于实施方式的以下的记载会变得明确。
【附图说明】
[0011 ]图1是物品输送设备的主视图。
[0012]图2是移载装置的支承体的部分切掉立体图。
[0013]图3是表示将容器载置支承的定位部件的侧视图。
[0014]图4是表示从将容器载置支承的状态进一步缩短的定位部件的侧视图。
[0015]图5是表示停止在卸下用升降停止位置的升降体的主视图。
[0016]图6是表示停止在抄取用升降停止位置的升降体的主视图。
[0017]图7是表示上升中的升降体紧急停止时的容器的动态的图(通常时)。
[0018]图8是上升中的升降体紧急停止时的容器的动态的图(浮起时)。
[0019]图9是表示上升中的升降体紧急停止时的容器的动态的图(反向运动时)。
[0020]图10是控制框图。
【具体实施方式】
[0021]以下，基于附图对物品输送设备的实施方式进行说明。如图1所示，在物品输送设备中，具备:具有多个收存作为物品的容器W的收存部I的物品收存搁架2、输送容器W的堆装起重机3、将设置物品收存搁架2及堆装起重机3的设置空间覆盖的壁体K、和以将壁体K贯通的状态配设且将容器W载置输送的出入库输送机4。
[0022]物品收存搁架2以夹着堆装起重机3的桅杆13对置的状态具备一对。在一对物品收存搁架2的各自中，以在上下方向及搁架横宽度方向(与图1的纸面正交的方向)上排列的状态具备多个收存部I。在多个收存部I的各自中，具备将收存的容器W载置支承的载置体5。另外，在一对物品收存搁架2的一方(在图1中位于右侧的物品收存搁架2)中，具备用来向收存在收存部I中的容器W供给作为惰性气体的氮气的氮气供给装置16。
[0023]出入库输送机4构成为，在位于壁体K的外侧的外部移载部位4a与位于壁体K的内侧的内部移载部位4b之间载置输送容器W。顶棚输送车B对于设置在较高的位置处的出入库输送机4的外部移载部位4a进行容器W的载卸，作业者对于设置在较低的位置处的出入库输送机4的外部移载部位4a进行容器W的载卸。
[0024]如果将容器W载置到出入库输送机4的外部移载部位4a，则该容器W被出入库输送机4从外部移载部位4a向内部移载部位4b载置输送，被堆装起重机3从内部移载部位4b向收存部I输送(入库)。相反，在物品输送设备中，如果由堆装起重机3将容器W从收存部I输送到出入库输送机4的内部移载部位4b，则该容器W被出入库输送机4从内部移载部位4b向外部移载部位4a载置输送，被顶棚输送车B或作业者从外部移载部位4a卸下(出库)。这样，堆装起重机3在内部移载部位4b与收存部I之间输送容器W。另外，内部移载部位4b及收存部I相当于移载对象部位，堆装起重机3相当于在沿上下方向排列的多个移载对象部位之间输送物品的物品输送装置。
[0025]如图5及图6所示，在容器W中，具备收容多片半导体基板的容器主体部6、位于比该容器主体部6靠上方且装备在容器W的上端部的凸缘部7、和将形成在容器主体部6的前表面上的基板取放用的基板出入口关闭的拆装自如的盖体(未图示)。如图5及图6所示，堆装起重机3构成为，在将容器主体部6的底部载置支承的状态下输送容器W，如图1所示，顶棚输送车B构成为，在将凸缘部7悬挂支承的状态下输送容器W。另外，在本实施方式中，设收容半导体基板的FOUP (Front Opening Unified Pod ;正面开口标准箱)为容器W (物品)。
[0026]如图2、图5及图6所示，在容器主体部6的底面(容器W的底面)上，以放射状具备向上方凹入的3个底面凹部8。该底面凹部8形成为越靠上方