轧制装置以及传感器单元的制作方法

本申请基于2014年10月3日申请的日本专利申请第2014-204924号并且主张该申请的优先权，通过参照将其内容整体引用于本说明书。

本公开涉及轧制装置以及传感器单元。

背景技术：

专利文献1公开了用于向一对辊之间供给材料进行轧制，来制造具有大致均匀的厚度的片状产品的压延装置。为了使该产品的厚度大致均匀，需要将一对辊之间的间隙保持为恒定。因此在专利文献1记载的压延装置中，使用非接触式距离传感器测量一对辊之间的间隙。

专利文献1：日本特开平6-055561号公报

近年来，为了提高用一对辊对材料进行轧制所制造的产品的品质，需要更高精度地对产品厚度的均匀性进行管理。

技术实现要素：

因此，本公开对为了获得更均匀的厚度的产品，而能够极高精度地检测一对辊之间的间隙的轧制装置以及传感器单元进行说明。

本公开的一个观点的轧制装置具备：相邻的第一辊以及第二辊；第一轴箱，其将第一辊的轴以能够旋转的方式支承；第二轴箱，其将第二辊的轴以能够旋转的方式支承并且与第一轴箱相邻；调节部，其以使第一辊与第二辊接近以及分离的方式调节第一轴箱的位置；传感器单元，其夹设于第一轴箱与第二轴箱之间并且与该两者接触；以及控制器，传感器单元包括：距离传感器，其具备在第一轴箱以及第二轴箱排列的一个方向上伸缩的伸缩部；第一部件，其保持距离传感器；以及第二部件，其与伸缩部抵接并且能够沿着一个方向滑动地相对于第一部件安装；控制器基于伸缩部的伸缩量来控制调节部。

本公开的其他观点的传感器单元具备：距离传感器，其具备在一个方向上伸缩的伸缩部；第一部件，其保持距离传感器并且与一对测定对象物的一方接触；以及第二部件，其与伸缩部抵接，能够沿着一个方向滑动地相对于第一部件安装，并且与一对测定对象物的另一方接触。

根据本公开的轧制装置以及传感器单元，能够极高精度地检测出一对辊之间的间隙。

附图说明

图1是表示压延装置的概要的侧视图。

图2是主要概略地表示辊以及传感器单元的关系的侧视图。

图3(a)表示从倾斜方向观察时一对辊的概略图，图3(b)表示一对辊重合的情况。

图4(a)表示传感器单元的截面，图4(b)表示图4(a)的B-B线截面。

具体实施方式

以下说明的本公开的实施方式是用于说明本发明的例示，因此本发明不应被限定于以下内容。

[1]实施方式的概要

本实施方式的一个观点的轧制装置具备：相邻的第一辊以及第二辊；第一轴箱，其将第一辊的轴以能够旋转的方式支承；第二轴箱，其将第二辊的轴以能够旋转的方式支承并且与第一轴箱相邻；调节部，其以使第一辊与第二辊接近以及分离的方式调节第一轴箱的位置；传感器单元，其夹设于第一轴箱与第二轴箱之间并且与该两者接触；以及控制器，传感器单元包括：距离传感器，其具备在第一轴箱以及第二轴箱排列的一个方向上伸缩的伸缩部；第一部件，其保持距离传感器；以及第二部件，其与伸缩部抵接并且能够沿着一个方向滑动地相对于第一部件安装；控制器基于伸缩部的伸缩量来控制调节部。

在本实施方式的一个观点的轧制装置中，传感器单元夹设于第一轴箱与第二轴箱之间并且与该两者接触。另外传感器单元包括：具备在第一轴箱以及第二轴箱排列的一个方向上伸缩的伸缩部的距离传感器、保持距离传感器的第一部件、以及与伸缩部抵接并且能够沿着一个方向滑动地相对于第一部件安装的第二部件。因此在第一轴箱以及第二轴箱接近的情况下，第二部件向一个方向滑动该接近的大小，且伸缩部向一个方向收缩该接近的大小。另一方面，在第一轴箱以及第二轴箱分离的情况下，第二部件向一个方向滑动该分离的大小且伸缩部向一个方向伸长该分离的大小。这样，能够直接测量第一轴箱以及第二轴箱向一个方向的移动量作为伸缩部的伸缩量。因此能够使用传感器单元极高精度地检测出一对辊之间的间隙。

两个传感器单元也可以配置为使连结第一辊的轴与第二辊的轴的假想直线位于两个传感器单元之间。在该情况下，即便第一轴箱以及第二轴箱中的一方相对于另一方倾斜，也能够用由两个传感器单元测量出的两个伸缩量的例如平均值，从而极高精度地检测出一对辊之间的间隙。

也可以是第一部件以及第二部件的一方固定于第一轴箱以及第二轴箱的一方，第一部件以及第二部件的另一方包括接触面，该接触面不固定于第一轴箱以及第二轴箱的另一方，而抵接于第一轴箱以及第二轴箱的另一方的表面并且能够在该表面的面内移动。在该情况下，即便在与一个方向正交的假想平面内第一辊以及第二辊中的一方以相对于另一方偏移的方式移动，接触面追随其而与第一轴箱以及第二轴箱的另一方的表面抵接，并且在该表面的面内移动。因此能够抑制在沿着该假想平面的方向上对传感器单元产生载荷的情况。另外，伸缩部的伸缩方向被保持为一个方向原样不变，因此即便在第一辊以及第二辊之间产生上述那样的偏移的情况下，也能够极高精度地检测出一对辊之间的间隙。

传感器单元还可以包括供给路，该供给路用于向距离传感器供给冷却气体。在轧制装置的动作中，由于第一辊以及第二辊被加热，因此若距离传感器因该热量而被加热，则来自距离传感器的输出值有可能因温度偏差而发生变动。然而在上述情况下，能够通过供给路用冷却气体对距离传感器进行冷却。因此能够更高精度地检测出一对辊之间的间隙。

本实施方式的其他观点的传感器单元具备：距离传感器，其具备在一个方向上伸缩的伸缩部；第一部件，其保持距离传感器并且与一对测定对象物的一方接触；以及第二部件，其与伸缩部抵接，能够沿着一个方向滑动地相对于第一部件安装，并且与一对测定对象物的另一方接触。

在本实施方式的其他观点的传感器单元中，在一对测定对象物接近的情况下，第二部件向一个方向滑动该接近的大小且伸缩部向一个方向收缩该接近的大小。另一方面，在一对测定对象物分离的情况下，第二部件向一个方向滑动该分离的大小且伸缩部向一个方向伸长该分离的大小。这样，能够直接测量一对测定对象物向一个方向的移动量作为伸缩部的伸缩量。因此能够用传感器单元极高精度地检测出一对测定对象物的分离距离。

也可以是第一部件以及第二部件的一方固定于在一个方向上分离的一对测量对象物的一方，第一部件以及第二部件的另一方包括接触面，该接触面不固定于一对测定对象物的另一方，而抵接于一对测定对象物的另一方的表面并且能够在该表面的面内移动。在该情况下，即便在与一个方向正交的假想平面内一对测定对象物中的一方以相对于另一方偏移的方式移动，接触面也追随其而与一对测定对象物的另一方的表面抵接并且在该表面的面内移动。因此能够抑制在沿着该假想平面的方向上对传感器单元产生载荷的情况。另外，伸缩部的伸缩方向被保持为一个方向原样不变，因此即便在一对测定对象物中产生上述那样的偏移的情况下，也能够极高精度地检测出一对测定对象物的分离距离。

还可以包括供给路，该供给路用于向距离传感器供给冷却气体。根据安装有传感器单元的环境，有时在使用传感器单元时距离传感器因来自周围的热量而被加热。此时，来自距离传感器的输出值有可能因温度偏差而发生变动。然而在上述情况下，能够通过供给路用冷却气体对距离传感器进行冷却。因此能够更高精度地检测出一对测定对象物的分离距离。

[2]实施方式的例示

以下，参照附图对本公开的实施方式的压延装置1的一个例子进行更详细地说明。在以下的说明中，对具有相同要素或者相同功能的要素使用相同附图标记，并省略重复的说明。各要素的尺寸比率不限定于图示的比率。

如图1所示，压延装置1具备：框架10、辊(测定对象物)12A～12D、轴箱14A～14D、液压缸(调节部)18A、18B、18D、辊横轧机构22A、22D、传感器单元24A、24B、24D、以及控制部(控制器)26。

框架10设置于地面上。框架10包括开口部10a～10c。从侧方观察时，开口部10a沿着相对于地面倾斜的X方向延伸。从侧方观察时，开口部10b沿着与X方向正交的Y方向延伸。开口部10b与开口部10a交叉。开口部10c相对于开口部10b朝向与开口部10a相反的一侧沿着X方向延伸，但不与开口部10a位于相同直线上。开口部10c与开口部10b交叉。

辊12A配置于开口部10a内。辊12A呈圆柱形状。辊12A沿与X方向以及Y方向均正交的Z方向(相对于图1的纸面垂直的方向)延伸。辊12A经由从两端沿着其轴心方向延伸的轴部以能够旋转的方式支承于一对轴箱14A(参照图3(a))。一对轴箱14A在开口部10a内经由未图示的滑块安装于框架10。因此辊12A能够在开口部10a内沿其延伸的方向(X方向)移动。

液压缸18A经由壳体20A安装于框架10。液压缸18A位于开口部10a中在X方向上与开口部10b、10c分离的一侧的端部。液压缸18A的活塞连接于轴箱14A中在X方向上位于与轴箱14B相反的一侧的端缘。液压缸18A基于来自控制部26的信号，经由轴箱14A而沿X方向推拉辊12A。

辊横轧机构22A包括：马达28A、轴30A以及齿轮箱32A。马达28A安装于框架10的外侧。轴30A沿着Y方向从框架10的外侧向开口部10a延伸。轴30A的前端连接于轴箱14A中沿X方向延伸的侧缘。齿轮箱32A将马达28A的旋转运动转换为轴30A在Y方向的直线运动。因此，马达28A基于来自控制部26的信号而使轴30A沿Y方向进退，从而沿Y方向推拉轴箱14A。由此从相邻的辊12A、12B排列的方向(X方向)观察时，辊12A相对于辊12B以规定的角度θ倾斜(参照图3(b))。

若辊12A相对于辊12B倾斜，则在未向压延装置1供给材料时，辊12A、12B之间的间隙在辊12A、12B的中央部变窄，在辊12A、12B的两端部变宽。另一方面，若向辊12A、12B之间供给材料，则辊12A、12B的中央部的间隙扩宽，辊12A、12B的中央部朝向外侧挠曲。因此辊12A、12B之间的间隙变得大致恒定，因而能够将通过辊12A、12B之间而轧制后的材料形成为大致均匀的厚度。

辊12B配置于开口部10b内。辊12B呈圆柱形状。辊12B沿Z方向(相对于图1的纸面垂直的方向)延伸。辊12B经由从两端沿着其轴心方向延伸的轴部以能够旋转的方式支承于一对轴箱14B(参照图3(a))。一对轴箱14B在开口部10b内经由未图示的滑块安装于框架10。因此辊12B能够在开口部10b内沿其延伸的方向(Y方向)移动。一对轴箱14B在X方向上与一对轴箱14A相邻。

液压缸18B经由壳体20B安装于框架10。液压缸18B位于开口部10b中在Y方向上与开口部10a、10c分离的一侧的端部。液压缸18B的活塞连接于轴箱14B中在Y方向上位于与轴箱14C相反的一侧的端缘。液压缸18B基于来自控制部26的信号经由轴箱14B而沿Y方向推拉辊12B。

辊12C配置于开口部10c内。辊12C呈圆柱形状。辊12C沿Z方向(相对于图1的纸面垂直的方向)延伸。辊12C经由从两端沿其轴心方向延伸的轴部而能够旋转地支承于一对轴箱14C。一对轴箱14C位于开口部10c中靠开口部10a、10b侧的端部，并固定于开口部10c内。因此辊12C在开口部10c内不移动。一对轴箱14C在Y方向上与一对轴箱14B相邻。

辊12D配置于开口部10c内。辊12D呈圆柱形状。辊12D沿与X方向以及Y方向均正交的Z方向(相对于图1的纸面垂直的方向)延伸。辊12D经由从两端沿着其轴心方向延伸的轴部而能够旋转地支承于一对轴箱14D。一对轴箱14D在开口部10c内经由未图示的滑块安装于框架10。因此辊12D能够在开口部10c内沿其延伸的方向(X方向)移动。一对轴箱14D在X方向上与一对轴箱14C相邻。

液压缸18D经由壳体20D安装于框架10。液压缸18D位于开口部10c中在X方向上与开口部10a、10b分离的一侧的端部。液压缸18D的活塞连接于轴箱14D中在X方向上位于与轴箱14C相反的一侧的端缘。液压缸18D基于来自控制部26的信号，经由轴箱14D而沿X方向推拉辊12D。

辊横轧机构22D包括：马达28D、轴30D以及齿轮箱32D。马达28D安装于框架10的外侧。轴30D沿着Y方向从框架10的外侧向开口部10c延伸。轴30D的前端连接于轴箱14D中沿X方向延伸的侧缘。齿轮箱32D将马达28D的旋转运动转换为轴30D在Y方向的直线运动。因此马达28D基于来自控制部26的信号而使轴30D沿Y方向进退，从而沿Y方向推拉轴箱14D。由此从相邻的辊12C、12D排列的方向(X方向)观察时，辊12D相对于辊12C倾斜规定的角度。

若辊12D相对于辊12C倾斜，则在未向压延装置1供给材料时，辊12C、12D之间的间隙在辊12C、12D的中央部变窄，在辊12C、12D的两端部变宽。另一方面，若向辊12C、12D之间供给材料，则辊12C、12D的中央部的间隙扩宽而辊12C、12D的中央部朝向外侧挠曲。因此辊12C、12D之间的间隙变为大致恒定，因此能够将通过辊12C、12D之间轧制后的材料形成为大致均匀的厚度。

传感器单元24A夹设于轴箱14A与轴箱14B之间且与该两者接触(参照图1～图3)。在轴箱14A与轴箱14B之间以沿Y方向排列的方式配置有两个传感器单元24A。两个传感器单元24A配置为使连结辊12A的轴与辊12B的轴的假想直线位于其间。

传感器单元24B夹设于轴箱14B与框架10之间且与该两者接触(参照图1以及图2)。传感器单元24B位于轴箱14B的侧缘中在Y方向上与液压缸18B相反的一侧。

传感器单元24D夹设于轴箱14C与轴箱14D之间且与该两者接触(参照图1以及图2)。在轴箱14C与轴箱14D之间以沿Y方向排列的方式配置有两个传感器单元24D。两个传感器单元24D配置为使连结辊12C的轴与辊12D的轴的假想直线位于其间。

对传感器单元24A、24B、24D的结构进行更详细地说明。传感器单元24A、24B、24D的结构均相同，因此以下参照图4对传感器单元24A的结构进行说明，并省略其他传感器单元24B、24D的说明。

传感器单元24A包括：距离传感器34、框体(第一部件)36、框体(第二部件)38、引导部件40、两个螺栓42以及两个螺旋弹簧44。距离传感器34包括伸缩部34a和传感器主体部34b。伸缩部34a能够沿其长度方向(图4的左右方向)伸缩。伸缩部34a若在其长度方向上被施加外力，则收缩，若除去该外力，则恢复为原来的长度。传感器主体部34b经由圆柱状的连结部件34d而与伸缩部34a连接。传感器主体部34b将伸缩部34a的伸缩量转换为电信号。在传感器单元24A中，伸缩部34a的伸缩方向是轴箱14A、14B相邻的方向(X方向)。

框体36包括：内侧筒状部(第一部件)36a、底壁(第一部件)36b、外侧筒状部36c以及连接壁36d。内侧筒状部36a收容传感器主体部34b。在内侧筒状部36a的侧壁，两个贯通孔(供给路)H1、H2形成于不同的位置。内侧筒状部36a的一端固定于轴箱14A、14B的一方。

贯通孔H1与未图示的气体供给源连接。从贯通孔H1向内侧筒状部36a内导入冷却气体(例如空气)。从贯通孔H2并从内侧筒状部36a将在内侧筒状部36a内与传感器主体部34b进行了热交换之后的冷却气体排出。贯通孔H2用于将连接于传感器主体部34b的信号线34c向传感器单元24A外取出。

底壁36b将内侧筒状部36a的另一端闭塞。在底壁36b形成有将内侧筒状部36a的内外连通的贯通孔H3。以伸缩部34a位于内侧筒状部36a的外侧且传感器主体部34b位于内侧筒状部36a的内侧的方式，将连结部件34d插通于贯通孔H3。因此连结部件34d由贯通孔H3支承。即，距离传感器34保持于内侧筒状部36a。

外侧筒状部36c位于内侧筒状部36a的外侧，并与内侧筒状部36a在同轴上延伸。连接壁36d将内侧筒状部36a以及外侧筒状部36c连接。在连接壁36d形成有沿伸缩部34a的伸缩方向延伸的四个贯通孔H4。

框体38包括：筒状部(第二部件)38a、底壁(第二部件)38b以及凸缘部38c。筒状部38a位于内侧筒状部36a与外侧筒状部36c之间。筒状部38a与内侧筒状部36a以及外侧筒状部36c在同轴上延伸。

底壁38b将筒状部38a的一端闭塞。伸缩部34a的前端抵接于底壁38b中面向内侧筒状部36a的内表面F1。底壁38b中的外表面F2是不固定于轴箱14A、14B的另一方而抵接于轴箱14A、14B的另一方的表面并且能够在该表面的面内移动的接触面。

凸缘部38c呈环状，并朝向筒状部38a的外侧延伸。在凸缘部38c形成有沿伸缩部34a的伸缩方向延伸的四个贯通孔H5。从伸缩部34a的伸缩方向观察时，各贯通孔H5分别与对应的贯通孔H4重合。

引导部件40夹设于内侧筒状部36a的外周面与筒状部38a的内周面之间。引导部件40将筒状部38a支承为能够相对于内侧筒状部36a旋转，并且将筒状部38a支承为能够相对于内侧筒状部36a沿伸缩部34a的伸缩方向引导该筒状部38a。因此筒状部38a(框体38)经由引导部件40安装于内侧筒状部36a(框体36)。

螺栓42分别插通于贯通孔H4、H5内。螺栓42的前端与凸缘部38c旋合。因此螺栓42具有将筒状部38a沿伸缩部34a的伸缩方向相对于内侧筒状部36a引导的功能。

螺旋弹簧44分别被螺栓42插通。螺旋弹簧44配置在连接壁36d与凸缘部38c之间。螺旋弹簧44向使连接壁36d与凸缘部38c分离的方向对两者之间赋予作用力。

具有以上结构的传感器单元24A以伸缩部34a收缩规定量且未完全收缩的状态(以下，称为“基准状态”。)配置于轴箱14A、14B之间。因此在轴箱14A、14B之间的分离距离变大的情况下，伸缩部34a也追随其而伸长。其结果距离传感器34检测出伸缩部34a相对于基准状态的伸长量，并基于该伸长量计算出相邻的辊12A、12B之间的间隙。另一方面，在轴箱14A、14B之间的分离距离变小的情况下，伸缩部34a也追随其而收缩。其结果距离传感器34检测出伸缩部34a相对于基准状态的收缩量，并基于该收缩量计算出相邻的辊12A、12B之间的间隙。这样，距离传感器34基于伸缩部34a的伸缩量来测量相邻的辊12A、12B之间的间隙。

返回图1，控制部26由一个或多个控制用计算机构成，并控制压延装置1。控制部26具有：基于控制条件而执行压延装置1各部的控制处理的处理部(未图示)、和从计算机能够读取的记录介质读取程序的读取部(未图示)。记录于该记录介质的程序是用于使压延装置1的各部执行控制处理的程序。作为记录介质，例如也可以是半导体存储器、光记录盘、磁记录盘、光磁记录盘。

具体而言，控制部26控制压延装置1，利用辊12B、12C将片状的基材S1与供给至辊12A、12B之间的材料M1以及供给至辊12C、12D之间的M2一起进行轧制，从而使压延装置1制造在基材S1的各面成形有材料M1、M2的膜而成的片状的产品S2(参照图2)。此时，控制部26基于来自距离传感器34的信号，以使相邻的辊12A、12B之间的间隙、相邻的辊12B、12C间的间隙以及相邻的辊12C、12D之间的间隙成为恒定的方式，控制各液压缸18A、18B、18D。

例如，在由距离传感器34测量出的相邻的辊12A、12B之间的间隙小于目标值的情况下，以使辊12A从辊12B分离的方式将轴箱14A向液压缸18A侧拉近。另一方面，在由距离传感器34测量出的相邻的辊12A、12B之间的间隙大于目标值的情况下，借助液压缸18A按压轴箱14A以使辊12A接近辊12B。

在以上那样的本实施方式中，传感器单元24A夹设于轴箱14A与轴箱14B之间并且与该两者接触。另外，传感器单元24A包括：距离传感器34，其具备在轴箱14A、14B排列的一个方向上伸缩的伸缩部34a；框体36，其保持距离传感器34；框体38，其与伸缩部34a抵接并且能够沿一个方向滑动地相对于框体36安装。因此在轴箱14A、14B接近的情况下，框体38向一个方向滑动该接近的大小，且伸缩部34a向一个方向收缩该接近的大小。另一方面，在轴箱14A、14B分离的情况下，框体38向一个方向滑动该分离的大小，且伸缩部34a向一个方向伸长该分离的大小。这样，能够直接测量轴箱14A、14B在一个方向的移动量作为伸缩部34a的伸缩量。因此能够用传感器单元24A极高精度地检测出辊12A、12B之间的间隙。特别是使用了专利文献1中记载的那样的非接触式距离传感器的情况下的精度，例如为10μm以上，但利用伸缩部34a直接测量轴箱14A、14B在一个方向的移动量作为伸缩量的情况下的精度，例如为1μm左右。其结果控制部26基于该伸缩量来控制液压缸18A，由此关于辊12A、12B之间的间隙实现极高精度的控制。

在本实施方式中，两个传感器单元24A配置为使连结辊12A的轴与辊12B的轴的假想直线位于其间。因此即便轴箱14A、14B中的一方相对于另一方倾斜，也能够使用由两个传感器单元24A测量出的两个伸缩量的例如平均值，而极高精度地检测出辊12A、12B之间的间隙。

在本实施方式中，内侧筒状部36a(框体36)固定于轴箱14A。底壁38b(框体38)包括外表面F2，该外表面F2不固定于轴箱14B，并与轴箱14B的表面抵接，并且能够在该表面的面内移动。因此即便辊12A、12B中的一方在与一个方向(伸缩部34a的伸缩方向)正交的假想平面中相对于另一方偏移地移动，外表面F2也追随其抵接于轴箱14B的表面并且在该表面的面内移动。因此能够抑制在沿着该假想平面的方向上对传感器单元24A产生载荷。另外，伸缩部34a的伸缩方向被保持为一个方向原样不变，因此即便在辊12A、12B之间产生上述那样的偏移的情况下，也能够极高精度地检测出辊12A、12B之间的间隙。

在压延装置1的动作中，辊12A、12B被加热，因此若距离传感器34因该热量而被加热，则有可能因温度偏差而使来自距离传感器34的输出值发生变动。然而在本实施方式中，作为用于向距离传感器34(传感器主体部34b)供给冷却气体的供给路，在内侧筒状部36a形成有贯通孔H1、H2。因此能够通过贯通孔H1、H2用冷却气体对距离传感器34进行冷却。因此能够更高精度地检测出辊12A、12B之间的间隙。

以上，对本实施方式进行了详细地说明，但本发明不限定于上述的实施方式。例如也可以将框体36、38的一方固定于轴箱14A、14B的一方，框体36、38的另一方包括接触面，该接触面不固定于轴箱14A、14B的另一方，而抵接于轴箱14A、14B的另一方的表面并且能够在该表面的面内移动。

也可以在相邻的一对轴箱之间夹设有至少一个传感器单元。

在装置动作时，在距离传感器34的周围难以产生热量的情况下，传感器单元24A也可以不包括用于对距离传感器34进行冷却的供给路。

也可以代替通过贯通孔H1、H2用冷却气体对距离传感器进行冷却，而是用隔热材料等形成框体36、38。在该情况下，能够减少赋予距离传感器34的热量，因而能够抑制温度偏差产生的影响。因此能够更高精度地检测出辊12A、12B之间的间隙。

压延装置1也可以具备压力转换器，该压力转换器将液压缸18A、18B、18D从辊12A、12B、12D分别受到的压力转换为电信号。

在上述的实施方式中，对压延装置1进行了说明，但本发明可以广泛应用于利用相邻的一对辊轧制材料的轧制装置。

附图标记说明：1…压延装置；12A～12D…辊；14A～14D…轴箱；18A、18B、18D…液压缸；22A、22D…辊横轧(roll cross)机构；24A、24B、24D…传感器单元；26…控制部；34…距离传感器；34a…伸缩部；34b…传感器主体部；36、38…框体；36a…内侧筒状部；36b…底壁；38a…筒状部；38b…底壁；H1、H2…贯通孔；F2…外表面。