1.一种承载膜夹紧装置,其特征在于,包括,
承载膜保持部,所述承载膜保持部具有:
用于保持承载膜的第一保持件,
及用于定位承载膜的第一定位部;
夹紧部,具有至少两处,分别设置在所述第一保持件相对的两侧,每个夹紧部分别具有:
吸附部,具有可吸附承载膜相对的侧部的其中一侧部的吸附面,
夹紧件,设置在所述吸附部的上方,
夹紧驱动部,与所述夹紧件连接,并可驱动所述夹紧件将承载膜夹紧。
2.根据权利要求1所述的一种承载膜夹紧装置,其特征在于,所述第一保持件为弹性件。
3.根据权利要求2所述的一种承载膜夹紧装置,其特征在于,所述第一保持件为硅胶铝。
4.根据权利要求1所述的一种承载膜夹紧装置,其特征在于,所述承载膜保持部上还设置有用于沿X轴方向调节所述第一保持件的位置的第一调节部。
5.根据权利要求4所述的一种承载膜夹紧装置,其特征在于,所述第一调节部包括第一微分头。
6.根据权利要求1所述的一种承载膜夹紧装置,其特征在于,所述吸附部包括与真空发生器连接的吸附板,所述吸附面设置在所述吸附板的上部,所述吸附面包括多个真空吸附孔。
7.根据权利要求1或6所述的一种承载膜夹紧装置,其特征在于,还包括用于沿X轴方向调节所述夹紧部的第二调节部。
8.根据权利要求7所述的一种承载膜夹紧装置,其特征在于,所述第二调节部包括沿X轴方向可滑动的第一滑动部、沿X轴方向伸缩的弹簧、第二微分头;所述夹紧部安装在所述第一滑动部上;所述弹簧一端固定,另一端与所述夹紧部连接,并可拉住所述夹紧部;所述第二微分头可伸出抵接所述夹紧部,并使所述夹紧部克服所述弹簧的弹力而在所述第一滑动部上滑动。
9.根据权利要求1或8所述的一种承载膜夹紧装置,其特征在于,所述夹紧驱动部包括沿Z轴驱动的第一滑台气缸及沿X轴驱动的第二滑台气缸,所述夹紧件安装在所述第二滑台气缸上。