专利名称：废气处理系统燃烧室结构的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种废气和危害性有毒气体的处理装置，公开一种废气处理系统燃烧室结构。废气和危害性有毒气体是在半导体制程原物料与副产物中产生的，通过在燃烧室中燃烧可以处理这些气体，使排放的气体达到环保排放标准。
背景技术：
在处理半导体制程原物料与副产物中会产生多种废气和危害性有毒气体，这些危害物有些有腐蚀燃烧室的危险，因此这些危害性有毒气体不能直接排放到大气中，所以就会涉及到处理这些废气和危害性有毒气体的方法和装置。
一般处理的方法有(1)电热水洗式(Thermal type)加热温度在800～1300度间，处理可燃气体且其燃烧产物可溶于水的气体，如H2，TDMAT，DCS，NF3，N2O，NH3，SiH4，C2F6，ClF3，WF6等气体；(2)燃烧水洗式(Burn type)通入CH4、C3H8和O2等气体进行高温燃烧处理可燃气体，其最高温度可达1600℃，可有效处理各种可燃气体(包括PFC)；这些废气和危害性有毒气体是通过废气处理系统中的燃烧室进行处理。但是由于有些气体一般都会有腐蚀性，所以在燃烧室中处理时，会腐蚀燃烧室的内壁，因此对燃烧室的制造时要解决该问题。
发明内容
为了解决现有的废气处理系统中的燃烧室被危害性有毒气体腐蚀的问题，危害性有毒气体进入后会腐蚀它的内壁和加热棒，会使它的加热棒腐蚀断裂，燃烧室内表层腐蚀脱落、内层变薄、穿孔破裂，以致会影响燃烧室的使用寿命和气密性，造成严重后果。本发明提供一种废气处理系统，该废气处理系统的燃烧室不仅在加热棒外面装了保护套，而且在燃烧室内壁加了氧化锆复合涂层或氧化铝或氧化铝复合涂层，可以有效防止危害性有毒气体的腐蚀。
本发明是这样实现的一种废气处理系统燃烧室结构，包括燃烧室、加热棒以及加热棒保护套，其特征在于在燃烧室内壁涂有涂层，该涂层在氧化锆复合涂层、氧化铝涂层、氧化铝复合涂层中选择一种。所述的氧化锆复合涂层为硅酸锆和锆石粉末复合涂层，氧化铝复合涂层为氧化铝和氧化锆复合涂层，涂层厚度在1.5mm～5mm。所述的加热棒保护套的材质为氧化铝陶瓷，保护套的套体与加热棒间距为5～20mm，上下间距为50～70mm，并用法兰与加热棒共同固定在盖板上。
在废气处理系统中，一些废气和危害性有毒气体，必须经过该系统中的燃烧室进行处理。但是有些气体是具有腐蚀性的，在进入燃烧室后会对其进行腐蚀，会使它的加热棒腐蚀断裂，燃烧室内表层腐蚀脱落、内层变薄、穿孔破裂，以致会影响燃烧室的使用寿命和气密性，造成严重后果。为了避免造成严重后果，在加热棒外面装了保护套，该保护套的材质为氧化铝陶瓷，耐高温，耐腐蚀性能良好。在燃烧室内壁加了氧化锆复合涂层或氧化铝或氧化铝复合涂层，该涂层耐腐蚀性能强，耐高温，高温化学性能稳定，耐磨，耐冲蚀性能，可以有效解决这一问题。并且在耐腐蚀的同时，把这些气体进行有效地处理，使排放的气体达到环保标准。
本发明的有益效果是，在处理危害性有毒气体的同时，由于加热棒加了保护套和燃烧室内壁加了氧化锆复合涂层或氧化铝或氧化铝复合涂层，有效地防止了危害性有毒气体的腐蚀。
四
附图是本发明燃烧室结构示意图。
在图中1、内壁涂层；2、保护套；3、加热棒。
五具体实施例方式本发明废气处理系统中，一些废气和危害性有毒气体，必须经过该系统中的燃烧室进行处理。但是有些气体是具有腐蚀性的，在进入燃烧室后会对其进行腐蚀，会使它的加热棒腐蚀断裂，燃烧室内表层腐蚀脱落、内层变薄、穿孔破裂，以致会影响燃烧室的使用寿命和气密性，造成严重后果。为了避免造成严重后果，在加热棒外面装了保护套，该保护套的材质为氧化铝陶瓷，耐高温，耐腐蚀性能良好。在燃烧室内壁加了氧化锆复合涂层或氧化铝或氧化铝复合涂层，该涂层耐腐蚀性能强，耐高温，高温化学性能稳定，耐磨，耐冲蚀性能，可以有效解决这一问题。并且在耐腐蚀的同时，把这些气体进行有效地处理，使排放的气体达到环保标准。
下面通过对比例和实施例来进一步说明。
对比例在废气处理系统的燃烧室中，在燃烧室的加热棒3的外面装了保护套2，该保护套的材质为氧化铝陶瓷。用该氧化铝陶瓷加热棒加热，可耐1600℃的高温，并且抗腐蚀性能良好。钛合金也是一种可用于加热棒保护套的材质，用钛合金加热棒加热耐高温在600～650℃，而用钛铝化合物为基的钛合金Ti3Al(α2)和TiAl(γ)加热棒分别耐高温为816和982℃，抗腐蚀性较好。对氧化铝陶瓷和钛合金进行比较，氧化铝陶瓷在耐高温方面优于钛合金，并且具有更好的耐腐蚀性能。
实施例1在燃烧室内壁加了氧化锆复合涂层，该涂层耐腐蚀性能强，耐高温，耐冲蚀性能。
列举氧化锆复合涂层中的其中一种涂层，即硅酸锆和锆石粉末复合涂层。其性能规格如下
在燃烧室内壁用硅酸锆和锆石粉末复合涂层，该复合涂层具有熔点高，耐高温，耐腐蚀性能强，一些废气和危害性气体进入燃烧室中，它可以在耐腐蚀的同时，把这些气体进行有效地处理，使排放的气体达到环保标准。
实施例2在燃烧室内壁加了氧化铝或氧化铝复合涂层1，该涂层耐腐蚀性能强，耐高温，高温化学性能稳定，耐磨，耐冲蚀性能。
列举氧化铝复合涂层中的其中一种涂层，即氧化铝和氧化锆复合涂层。其性能规格如下
在燃烧室内壁用氧化铝和氧化锆复合涂层，氧化铝和氧化锆均属陶瓷类，氧化铝具有耐高温、高强度、耐磨、耐腐蚀性能等性能，氧化锆具有密度大，硬度较高，抗弯强度和断裂韧性在各种陶瓷中为最高等性能，两者的复合涂层具有熔点高，耐高温，耐腐蚀性能强，一些废气和危害性气体进入燃烧室中，它可以在耐腐蚀的同时，把这些气体进行有效地处理，使排放的气体达到环保标准。
权利要求
1.一种废气处理系统燃烧室结构，包括燃烧室、加热棒以及加热棒保护套，其特征在于在燃烧室内壁涂有涂层，该涂层在氧化锆复合涂层、氧化铝涂层、氧化铝复合涂层中选择一种。
2.根据权利要求1所述的废气处理系统燃烧室结构，其特征在于所述的氧化锆复合涂层为硅酸锆和锆石粉末复合涂层，氧化铝复合涂层为氧化铝和氧化锆复合涂层。
3.根据权利要求1或2所述的废气处理系统燃烧室结构，其特征在于所述的燃烧室内壁涂层厚度为1.5mm～5mm。
4.根据权利要求1所述的废气处理系统燃烧室结构，其特征在于所述的加热棒保护套的材质为氧化铝陶瓷。
5.根据权利要求4所述的废气处理系统燃烧室结构，其特征在于所述氧化铝陶瓷保护套，套体与加热棒左右间距为5～20mm，上下间距为50～70mm，保护套通过法兰与加热棒共同固定在盖板上。
全文摘要
本发明为一种废气处理系统中的燃烧室结构，包括燃烧室、加热棒以及加热棒保护套，其特征在于在燃烧室内壁涂有涂层，该涂层在氧化锆复合涂层、氧化铝涂层、氧化铝复合涂层中选择一种。加热棒保护套的材质为氧化铝陶瓷。本发明不但耐危害性有毒气体的腐蚀，而且耐高温，可以安全有效的处理这些废气和危害性有毒气体，使排放的气体达到环保标准。
文档编号F23G5/48GK1644992SQ200510023528
公开日2005年7月27日 申请日期2005年1月24日 优先权日2005年1月24日
发明者周鸿淇 申请人:真一(上海)集成电路设备有限公司