专利名称：一种波纹管真空冷凝器的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及气体冷凝装置，尤其涉及一种波纹管真空冷凝器。
背景技术：
真空冷凝器是在真空状态下将蒸汽转化成液体的热交换器。在高真空状态下，真空室内残余气体分子的65%到95%以上都是水分子以及水分子与其它气体分子的结合物，这些水汽分子是典型的最具副作用性的污染气体。以往常用的方法是，离子清洗和高温烘烤，但真空系统尤其是扩散泵系统对水蒸气抽速太低，而用昂贵的低温泵系统也仅仅吸附和掩埋掉真空室中的一部分水蒸气分子，高温烘烤也只是把水分子从基片表面迁移，使基片减少对水蒸气的吸附，而真空冷凝器可将90%以上的水分子吸附，并能吸附掉真空泵中逃逸出来一部分油分子。传统真空冷凝器的主要特点是压力低、传热差，上述特点会影响冷凝器的换热效率，影响真空冷凝器的使用效果，因此要求冷凝器的阻力降要小，传热要好，这就要求在结构设计以及强化传热上有特殊的考虑。
实用新型内容本实用新型解决的技术问题是:提供一种压降小，传热效果好的真空冷凝器。为达此目的，本实用新型采用以下技术方案:一种波纹管真空冷凝器，包括成卧式布置的壳体，所述壳体两端设置有管板，所述管板上穿设有换热管管束，所述壳体上部设置有穹顶，所述穹顶上开设气体进口，所述壳体底部设置有冷凝液出口，侧面设置有不凝气出口。进一步的，所述管束边缘具有由不设置换热管的区域形成的导流槽。进一步的，所述壳体中部不凝气出口上方水平的设置有长挡板，所述长挡板长度贯穿整个管束，宽度延伸至管束中心位置。进一步的，所述长挡板上沿管束轴向布置有若干降液管。进一步的，所述壳体中与所述管板平行的布置有若干支撑板，所述支撑板支撑所述管束。进一步的，所述不凝气出口设置有表面上设置有通气孔的挡液板。进一步的，所述换热管采用不锈钢波纹管。本实用新型的有益效果为:设置有穹顶形成较大的进口气体分布空间，使气体能够沿管长方向均匀分布；壳体内没有折流板，流体不经过折流过程压降很小，设置有导流槽，便于气体快速进入管束内部充分接触换热管束，换热效果好；设置有长挡板能够防止气体不经过换热直接由不凝气出口排出，排出不凝气出口设置有挡液板减小排出气体的带液量，采用不锈钢波纹管作为换热管，换热效果好。
[0014]下面根据附图和实施例对本实用新型作进一步详细说明。图1为本实用新型所述的波纹管真空换热器结构示意图。图2波纹管真空换热器截面图。图中:1、壳体；2、管板；3、换热管；4、气体进口 ；5、不凝气出口 ；6、冷凝液出口 ；7、穹顶；
8、支撑板；9、长挡板；10、挡液板；11、降液管；12、导流槽。
具体实施方式
以下结合附图并通过具体实施方式
来进一步说明本实用新型的技术方案。如图1、2所示，于本实施例中，本实用新型所述的一种波纹管真空冷凝器，包括成卧式布置的壳体I，所述壳体I两端设置有管板2，所述管板2上穿设有换热管3管束，所述壳体I上部设置有穹顶7，穹顶7是一个较大的进口气体分布空间，气体进入冷凝器后有足够的空间使之沿管长方向迅速均匀的分布；所述穹顶7上开设气体进口 4，所述壳体I底部设置有冷凝液出口 6，侧面设置有不凝气出口 5。所述管束边缘具有导流槽12，所述导流槽12是管束边缘设置的一些不布管区，方便气体快速进入管束内部，使之迅速、充分的接触换热表面冷凝。所述壳体I中部不凝气出口 5上方水平的设置有长挡板9，所述长挡板9长度贯穿整个管束，宽度延伸至管束中心位置，长挡板9可以防止气体不经过换热，直接从不凝气出口 5排出。所述长挡板9上沿管束轴向布置有若干降液管11，降液管11可以使壳程上部分的冷凝液沿降液管11流至壳程底部后由冷凝液出口排出。所述壳体I中与所述管板2平行的布置有若干支撑板8，支撑板8不起到折流的作用，流体在壳体I内部不经过一系列的折流过程，所以壳程气体冷凝过程中的压降很小。所述不凝气出口 5设置有表面上设置有通气孔的挡液板10，挡液板10可以有效的阻挡液体，大大减少不凝气出口 5的带液量。所述换热管3采用不锈钢波纹管，不锈钢波纹管可以提高管、壳程的传热系数。管内一般为循环水等冷却介质，大小连续变换的截面可以使管内循环水实现充分湍流，减薄层流底层，使管内传热系数大大增强。管外为真空气体冷凝，冷凝液在重力作用下聚集在波纹管的波谷位置使其快速的滴落，从而减薄了冷凝的液膜厚度，使传热系数提高。因为管内夕卜传热都得到了增强，使冷凝器的总传热系数增大。需要声明的是，上述具体实施方式
仅仅为本实用新型的较佳实施例及所运用技术原理，在本实用新型所公开的技术范围内，任何熟悉本技术领域的技术人员所容易想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围内。
权利要求1.一种波纹管真空冷凝器，其特征在于，包括成卧式布置的壳体，所述壳体两端设置有管板，所述管板上穿设有换热管管束，所述壳体上部设置有穹顶，所述穹顶上开设气体进口，所述壳体底部设置有冷凝液出口，侧面设置有不凝气出口。
2.根据权利要求1所述的波纹管真空冷凝器，其特征在于，所述管束边缘具有由不设置换热管的区域形成的导流槽。
3.根据权利要求1所述的波纹管真空冷凝器，其特征在于，所述壳体中部不凝气出口上方水平的设置有长挡板，所述长挡板长度贯穿整个管束，宽度延伸至管束中心位置。
4.根据权利要求1所述的波纹管真空冷凝器，其特征在于，所述长挡板上沿管束轴向布置有若干降液管。
5.根据权利要求1所述的波纹管真空冷凝器，其特征在于，所述壳体中与所述管板平行的布置有若干支撑板，所述支撑板支撑所述管束。
6.根据权利要求1所述的波纹管真空冷凝器，其特征在于，所述不凝气出口设置有表面上设置有通气孔的挡液板。
7.根据权利要求1所述的波纹管真空冷凝器，其特征在于，所述换热管采用不锈钢波纹管。
专利摘要本实用新型公开一种波纹管真空冷凝器，包括成卧式布置的壳体，所述壳体两端设置有管板，所述管板上穿设有换热管管束，所述壳体上部设置有穹顶，所述穹顶上开设气体进口，所述壳体底部设置有冷凝液出口，侧面设置有不凝气出口；设置有穹顶形成较大的进口气体分布空间，使气体能够沿管长方向均匀分布；壳体内没有折流板，流体不经过折流过程压降很小，设置有导流槽，便于气体快速进入管束内部充分接触换热管束，换热效果好；设置有长挡板能够防止气体不经过换热直接由不凝气出口排出，排出不凝气出口设置有挡液板减小排出气体的带液量，采用不锈钢波纹管作为换热管，换热效果好。
文档编号F28F9/00GK202993894SQ20122071771
公开日2013年6月12日 申请日期2012年12月21日 优先权日2012年12月21日
发明者韩军, 程娅楠, 王飞, 李迪, 贾敬华 申请人:北京广厦环能科技有限公司