工业VOCs废气处理方法及处理系统与流程

本发明涉及废气处理技术领域，尤其是涉及一种工业vocs废气处理方法及处理系统。

背景技术：

在工业废气vocs(volatileorganiccompounds，挥发性有机物)治理领域，目前最为常用的方法为热力氧化法，即在高温(760℃以上)下将废气中vocs完全氧化分解为二氧化碳和水，以达到净化废气的目的。

蓄热式热氧化炉，英文缩写：rto，因其具有高效的热回收率和高效的处理效率以及安全稳定、全自动化方式，符合大工业化生产条件下对环保的要求，因此蓄热式热氧化炉在世界范围内应用最为广泛。尤其在工业废气治理要求极高的欧美发达国家，利用蓄热式热氧化炉对工业废气进行处理是最主要的处理方式。目前rto的常见的结构形式有：两室rto、三室rto、旋转式rto等。

rto中应至少包含两个蓄热室，蓄热室内由蓄热体，其处理流程大致为：已处理过的高温气体流经蓄热体，使蓄热体升温，此为“蓄热”；未处理过的废气流经高温的蓄热体，吸收蓄热体中的热量而升温，此“放热”。每个蓄热室依次经历蓄热-放热等程序，周而复始，连续工作。“放热”状态：低温气流流经蓄热体，气流温度逐渐升高；“蓄热”状态：高温气流流经蓄热体，气流温度逐渐降低。处于“放热”状态的蓄热体其低温区间的vocs气体由于未达到氧化温度是没有分解的，因此当蓄热体直接由“放热”转换为“蓄热”时，这些未分解的vocs会在状态切换后排到外部。对于这个问题，传统的两室rto，无有效的缓解措施，因此两室rto的净化率一般只能达到95％，很多情况下都不能达到排放标准。而为缓解这个问题研发出来的三室rto和旋转式rto，在状态转换前增加了一个清扫的过程，其净化率可达到99％。但三室rto和旋转式rto相对于两室rto结构复杂、控制程序繁琐，成本也有大幅度增加。

技术实现要素：

本发明的第一目的在于提供一种工业vocs废气处理方法，利用该方法可以提高vocs废气的净化率，并降低设备成本，该处理工艺简单易行，易于工业化生产。

本发明的第二目的在于提供一种工业vocs废气处理系统，以缓解现有技术的处理工业废气vocs气体的装置结构复杂、成本高的技术问题。

为了实现本发明的上述目的，特采用以下技术方案：

一种工业vocs废气处理方法，包括以下步骤：向蓄热式热氧化炉中交替通入vocs废气和洁净气体。

进一步的，上述处理方法包括以下步骤：

先向蓄热式热氧化炉中通入vocs废气，待通入蓄热式热氧化炉内处于放热状态的蓄热体的vocs废气的温度下降至500-760℃时，停止通入vocs废气，之后通入洁净气体使残留在蓄热式热氧化炉内的vocs废气继续流动并逐渐升温，最终氧化分解，待残留的vocs废气全部分解完全后，停止通入洁净气体，之后再次向蓄热式热氧化炉中通入vocs废气，重复停止通入vocs废气及通入洁净气体的步骤，直至停止对vocs废气的处理。

进一步的，在首次通入vocs废气前还包括对蓄热式热氧化炉进行预热的步骤。

进一步的，所述蓄热式热氧化炉包括第一蓄热室和第二蓄热室以及位于所述第一蓄热室和所述第二蓄热室中间的燃烧室。

进一步的，所述处理方法包括以下步骤：

步骤a)：对蓄热式热氧化炉的第一蓄热室和第二蓄热室进行预热；

步骤b)：预热完成后，先将vocs废气通入所述第一蓄热室内，vocs废气在所述第一蓄热室和燃烧室内发生分解反应，分解后的气体流经所述第二蓄热室后排出蓄热式热氧化炉外；

步骤c)：当所述第一蓄热室温度下降至500-760℃时，停止通入vocs废气，并将洁净气体通入所述第一蓄热室中，使残留在所述第一蓄热室内的vocs废气继续流动并且升温，在所述第一蓄热室和/或所述燃烧室内充分分解后流经所述第二蓄热室，然后排出蓄热式热氧化炉外；

步骤d)：将vocs废气通入所述第二蓄热室内，vocs废气在所述第二蓄热室和燃烧室内发生分解反应，分解后的气体流经所述第一蓄热室后排出所述蓄热式热氧化炉外；

步骤e)：当所述第二蓄热室温度下降至500-760℃以下后，停止通入vocs废气，并将洁净气体通入所述蓄热式热氧化炉中，使残留在所述第二蓄热室内的vocs废气继续流动并且升温，在所述第二蓄热室和/或所述燃烧室内充分分解后流经所述第一蓄热室，然后排出蓄热式热氧化炉外；

步骤f)：重复步骤b)～步骤e)直至停止对vocs废气的处理。

一种实现上述处理方法的工业vocs废气处理系统，包括蓄热式热氧化炉，所述蓄热式热氧化炉通过进风系统分别连通vocs废气源和洁净气体气源；

所述vocs废气源和所述洁净气体气源分别通过所述进风系统相互交替地向所述蓄热式热氧化炉供气。

进一步的，所述进风系统包括风机和与所述风机连接的进风管道，所述进风管道上设有第一控制阀和第二控制阀，所述第一控制阀控制所述洁净气体气源与所述蓄热式热氧化炉通断，所述第二控制阀控制所述vocs废气源与所述蓄热式热氧化炉通断。

进一步的，所述进风系统包括进风管道，所述进风管道上设有三通阀，所述三通阀包括两个进风口和一个出风口，两个所述进风口分别连通洁净气体气源和vocs废气源，所述出风口通过所述进风管道与所述蓄热式热氧化炉连通。

进一步的，所述蓄热式热氧化炉包括第一蓄热室和第二蓄热室；所述进风管道与第一蓄热室连接处设有用于通断气体的第三控制阀，所述进风管道与第二蓄热室连接处设有用于通断气体的第四控制阀。

进一步的，所述第一蓄热室与所述第二蓄热室分别通过出风系统向外排气；

所述出风系统包括与所述第一蓄热室和所述第二蓄热室分别连通的出风管道，所述出风管道上设有第一排风阀和第二排风阀，所述第一排风阀控制所述出风管道与所述第一蓄热室的通断，所述第二排风阀控制所述出风管道与所述第二蓄热室的通断。

与已有技术相比，本发明具有如下有益效果：

本发明提供工业vocs废气处理方法，创新性地采用交替通入vocs废气和洁净气体，当蓄热式热氧化炉内的蓄热体残留有未被分解的vocs废气时，可以通过通入洁净气体使其继续在蓄热式热氧化炉内分解完全，从而巧妙地解决了残留在蓄热体内的vocs废气被排入到大气的问题。

本发明提供的工业vocs废气处理系统仅仅在原有的处理装置上改变了进气系统的控制结构，实现了交替通入vocs废气与洁净气体，因此，该处理系统结构简单，成本低且可以达使净化率达到99％以上，满足排放达标的要求。

附图说明

为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例1提供的工业vocs废气处理系统的结构示意图；

图2为本发明实施例2提供的工业vocs废气处理系统的结构示意图；

图3为本发明实施例3提供的工业vocs废气处理方法的流程图。

图标：10-洁净气体气源；20-vocs废气源；30-蓄热式热氧化炉；31-第一蓄热室；311-第一蓄热体；32-第二蓄热室；321-第二蓄热体；33-燃烧室；41-风机；42-进风管道；421-第一控制阀；422-第二控制阀；423-第三控制阀；424-第四控制阀；43-三通阀；44-出风管道；441-第一排风阀；442-第二排风阀。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”、“第四”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

本发明的一个方面提供了一种工业vocs废气处理方法，包括以下步骤：向蓄热式热氧化炉中交替通入vocs废气和洁净气体。

本发明提供工业vocs废气处理方法，创新性地采用交替通入vocs废气和洁净气体，当蓄热式热氧化炉内的蓄热体残留有未被分解的vocs废气时，可以通过通入洁净气体使其继续在蓄热式热氧化炉内分解完全，从而巧妙地解决了残留在蓄热体内的vocs废气被排入到大气的问题。

本发明中的洁净气体为空气或氧气或vocs含量低于排放限值的空气。

其中，向蓄热式热氧化炉中交替通入vocs废气和洁净气体是指：先向蓄热式热氧化炉内通入vocs废气，当蓄热式热氧化炉内的蓄热体放热结束后，再向蓄热式热氧化炉内通入洁净气体，以使蓄热室中的vocs废气继续在蓄热式热氧化炉通过加热的方式氧化分解。当分解结束后再向蓄热式热氧化炉内通入vocs废气并重复以上过程，以达到持续分解vocs废气气体的目的。

作为本发明优选的实施方式，上述处理方法包括以下步骤：

先向蓄热式热氧化炉中通入vocs废气，待通入蓄热式热氧化炉内处于放热状态的蓄热体的vocs废气的温度下降至500-760℃时，停止通入vocs废气，之后通入洁净气体使残留在蓄热式热氧化炉内的vocs废气继续流动并逐渐升温，最终氧化分解，待残留的vocs废气全部分解完全后，停止通入洁净气体，之后再次向蓄热式热氧化炉中通入vocs废气，重复停止通入vocs废气及通入洁净气体的步骤，直至停止对vocs废气的处理。

当蓄热室温度下降至500-700℃以下时，此时，蓄热室内的温度不足以引起vocs废气发生燃烧反应，因此，此时通入洁净气体可以使残留在蓄热室内的未发生燃烧反应的vocs废气流向燃烧室，并在燃烧室内发生燃烧反应，从而使vocs废气反应完全；当蓄热室温度下降至700-760℃的温度范围内进行切换洁净气体时，此时蓄热室的温度还足以使vocs废气发生分解反应，因此，此时通入洁净气体可以使残留在蓄热室内的未发生燃烧反应的vocs废气继续在蓄热室内发生分解反应。

作为本发明优选的实施方式，在首次通入vocs废气前还包括对蓄热式热氧化炉进行预热的步骤。对蓄热式热氧化炉中的蓄热室进行预热，以使蓄热室内的温度能够满足vocs废气分解的需要。

作为本发明优选的实施方式，所述蓄热式热氧化炉包括第一蓄热室和第二蓄热室以及位于所述第一蓄热室和所述第二蓄热室中间的燃烧室。

作为本发明优选的实施方式，所述处理方法包括以下步骤：

步骤a)：对蓄热式热氧化炉的第一蓄热室和第二蓄热室进行预热；

步骤b)：预热完成后，先将vocs废气通入所述第一蓄热室内，vocs废气在所述第一蓄热室和燃烧室内发生分解反应，分解后的气体流经所述第二蓄热室后排出蓄热式热氧化炉外；

步骤c)：当所述第一蓄热室温度下降至500-760℃时，停止通入vocs废气，并将洁净气体通入所述第一蓄热室中，使残留在所述第一蓄热室内的vocs废气继续流动并且升温，在所述第一蓄热室和/或所述燃烧室内充分分解后流经所述第二蓄热室，然后排出蓄热式热氧化炉外；

步骤d)：将vocs废气通入所述第二蓄热室内，vocs废气在所述第二蓄热室和燃烧室内发生分解反应，分解后的气体流经所述第一蓄热室后排出所述蓄热式热氧化炉外；

步骤e)：当所述第二蓄热室温度下降至500-760℃时，停止通入vocs废气，并将洁净气体通入所述蓄热式热氧化炉中，使残留在所述第二蓄热室内的vocs废气继续流动并且升温，在所述第二蓄热室和/或所述燃烧室内充分分解后流经所述第一蓄热室，然后排出蓄热式热氧化炉外；

步骤f)：重复步骤b)～步骤e)直至停止对vocs废气的处理。

当第一蓄热室温度下降至500-700℃以下时，此时，第一蓄热室内的温度不足以引起vocs废气发生燃烧反应，因此，此时通入洁净气体可以使残留在第一蓄热室内的未发生燃烧反应的vocs废气流向燃烧室，并在燃烧室内发生燃烧反应，从而使vocs废气反应完全；当第一蓄热室温度下降至700-760℃的温度范围内进行切换洁净气体时，此时第一蓄热室的温度还足以使vocs废气发生分解反应，因此，此时通入洁净气体可以使残留在第一蓄热室内的未发生燃烧反应的vocs废气继续在第一蓄热室和燃烧室内发生分解反应。

当第二蓄热室温度下降至500-700℃以下时，此时，第二蓄热室内的温度不足以引起vocs废气发生燃烧反应，因此，此时通入洁净气体可以使残留在第二蓄热室内的未发生燃烧反应的vocs废气流向燃烧室，并在燃烧室内发生燃烧反应，从而使vocs废气反应完全；当第二蓄热室温度下降至700-760℃的温度范围内进行切换洁净气体时，此时第二蓄热室的温度还足以使vocs废气发生分解反应，因此，此时通入洁净气体可以使残留在第二蓄热室内的未发生燃烧反应的vocs废气继续在第二蓄热室和燃烧室内发生分解反应。

在上述优选实施方式中，蓄热式热氧化炉采用两室结构，当第一蓄热室处于放热状态时，第二蓄热室可以处于蓄热状态，避免能量的损失。

本发明的另一个方面提供了一种实现上述处理方法的工业vocs废气处理系统，包括蓄热式热氧化炉，所述蓄热式热氧化炉通过进风系统分别连通vocs废气源和洁净气体气源；

所述vocs废气源和所述洁净气体气源分别通过所述进风系统相互交替地向所述蓄热式热氧化炉供气。

本发明提供的工业vocs废气处理系统仅仅在原有的处理装置上改变了进气系统的控制结构，实现了交替通入vocs废气与洁净气体，因此，该处理系统结构简单，成本低且可以达使净化率达到99％以上，满足排放达标的要求。

作为本发明优选的实施方式，所述进风系统包括风机和与所述风机连接的进风管道，所述进风管道上设有第一控制阀和第二控制阀，所述第一控制阀控制所述洁净气体气源与所述蓄热式热氧化炉通断，所述第二控制阀控制所述vocs废气源与所述蓄热式热氧化炉通断。

风机前的进风管道上设有第一控制阀和第二控制阀，当打开第一控制阀时，洁净气体气源与风机相连通，洁净气体通过风机流向蓄热式热氧化炉；当打开第二控制阀时，vocs废气源与风机相连通，vocs废气通过风机流向蓄热式热氧化炉。

作为本发明优选的实施方式，所述进风系统包括进风管道，所述进风管道上设有三通阀，所述三通阀包括两个进风口和一个出风口，两个所述进风口分别连通洁净气体气源和vocs废气源，所述出风口通过所述进风管道与所述蓄热式热氧化炉连通。

三通阀的一个进风口和洁净气体气源连通，另一个进风口和vocs废气源连通。当需要通入vocs废气时，打开与vocs废气源连通的进风口的阀门即可；当需要通入洁净气体时，打开与洁净气体气源相连通的进风口的阀门即可。

利用上述三通阀可以实现三种连通状态：两室蓄热式热氧化炉的进气口与vocs废气源单独连通；两室蓄热式热氧化炉的进气口与洁净气体气源单独连通；两室蓄热式热氧化炉的进气口与vocs废气源和洁净气体气源同时连通。

在上述优选的实施方式中，所述蓄热式热氧化炉包括第一蓄热室、第二蓄热室以及位于所述第一蓄热室和所述第二蓄热室中间的燃烧室。所述第一蓄热室与所述第二蓄热室分别通过所述进风系统同时与所述vocs废气源和所述洁净气体气源相连通。所述vocs废气源和所述洁净气体气源分别通过所述进风系统相互交替地向所述第一蓄热室或所述第二蓄热室供气。

在上述优选实施方式中，蓄热式热氧化炉采用两室蓄热式热氧化炉。两室蓄热式热氧化炉通过进风系统连接到所述vocs废气源和所述洁净气体气源，进风管道上设置有阀门，可以通断所述vocs废气源和所述洁净气体气源与所述蓄热式热氧化炉的连接。所述的两室蓄热式热氧化炉包含两个蓄热室，分别为第一蓄热室和第二蓄热室，第一蓄热室内设有第一蓄热体，第二蓄热室内设有第二蓄热体，第一蓄热体和第二蓄热体在进行蓄热与放热的状态转换前，需通入洁净气体进行清扫动作，即：切断vocs废气源与所述蓄热式热氧化炉的连接，并使所述蓄热式热氧化炉与洁净气体气源连通，使洁净气体通过处于放热状态的第一蓄热体或第二蓄热体，在洁净气体的压力作用下干净气体会将第一蓄热体或第二蓄热体内残留的vocs废气由低温区推送至高温区，最终在蓄热式热氧化炉内氧化分解，而蓄热体内最终只会留存洁净气体。

作为本发明优选的实施方式，所述进风管道与第一蓄热室连接处设有用于通断气体的第三控制阀，所述进风管道与第二蓄热室连接处设有用于通断气体的第四控制阀。

第三控制阀用于控制进风管道与第一蓄热室的通断，第四控制阀控制进风管道与第二蓄热室的通断。当向第一蓄热室内通气时，则打开第三控制阀，关闭第四控制阀。当向第二蓄热室通气时，则关闭第三控制阀，打开第四控制阀。

作为本发明优选的实施方式，所述第一蓄热室与所述第二蓄热室分别通过出风系统向外排气；所述出风系统包括与所述第一蓄热室和所述第二蓄热室分别连通的出风管道，所述出风管道上设有第一排风阀和第二排风阀，所述第一排风阀控制所述出风管道与所述第一蓄热室的通断，所述第二排风阀控制所述出风管道与所述第二蓄热室的通断。

vocs废气氧化分解后通过出风系统向外排气，第一蓄热室与第二蓄热室分别与出风系统连通，互不干扰。第一蓄热室与出风系统的连接和第二蓄热室与出风系统的连接分别单独控制。

当在第一蓄热室内通入气体时，则关闭第一排风阀，打开第二排风阀；当在第二蓄热室内通入气体时，则打开第一排风阀，关闭第二排风阀。

实施例1

如图1所示，本实施是一种工业vocs废气处理系统，该处理系统包括蓄热式热氧化炉30，蓄热式热氧化炉30通过进风系统分别与vocs废气源20和洁净气体气源10相连通；vocs废气源20和洁净气体气源10分别通过进风系统相互交替地向蓄热式热氧化炉30供气。其中，蓄热式热氧化炉30包括第一蓄热室31、第二蓄热室32以及位于第一蓄热室31和第二蓄热室32中间的燃烧室33；第一蓄热室31与第二蓄热室32分别通过进风系统同时与vocs废气源20和洁净气体气源10相连通；vocs废气源20和洁净气体气源10分别通过进风系统相互交替地向第一蓄热室31或第二蓄热室32供气。

进风系统包括风机41和与风机41连接的进风管道42，进风管道42上设有第一控制阀421和第二控制阀422，第一控制阀421控制洁净气体气源10与风机41通断，第二控制阀422控制vocs废气源20与风机41通断。

第一蓄热室31与进风管道连接处设有用于通断气体的第三控制阀423，第二蓄热室32与进风管道连接处设有用于通断气体的第四控制阀424。

第一蓄热室31与第二蓄热室32分别通过出风系统向外排气。出风系统包括与第一蓄热室31和第二蓄热室32分别连通的出风管道44，出风管道44上设有第一排风阀441和第二排风阀442，第一排风阀441控制出风管道44与第一蓄热室31的通断，第二排风阀442控制出风管道44与第二蓄热室32的通断。

本实施例的工业vocs废气处理系统的工作过程如下：

a)预热：对蓄热式热氧化炉30的第一蓄热室31和第二蓄热室32进行预热处理；

b)废气处理：预热完成后，可选择第一蓄热室31中的蓄热体先放热，具体操作如下：

打开第三控制阀423和第二排风阀442，关闭第四控制阀424和第一排风阀441，同时关闭第一控制阀421并打开第二控制阀422；风机41在预热阶段已经启动，此时在风机41的压力作用下，vocs废气流经第一蓄热室31内的第一蓄热体311，第一蓄热体311开始对vocs废气放热，此时第一蓄热体311处于“放热”状态，vocs废气在第一蓄热体311内逐渐升温，vocs废气温度达到分解温度后就开始氧化分解，之后vocs废气进入燃烧室33；如果vocs废气温度没有达到分解温度，燃烧室33内的燃烧器就会启动，继续对vocs废气进行加温直至分解；氧化分解处理后的高温气体从燃烧室33进入第二蓄热室32的第二蓄热体321，会将热量传递给第二蓄热体321，此时第二蓄热体321就处于“蓄热”状态；

c)当第一蓄热体311热量不足要结束“放热”转换为“蓄热”时，需要先执行清扫动作，具体操作如下：

打开第一控制阀421并关闭第二控制阀422，此时第一蓄热室31与洁净气体气源10连通，洁净气体在风机41的作用下流向第一蓄热室31，使第一蓄热体311内的残留vocs废气继续向高温区流动，当vocs废气温度达到分解温度后就开始氧化分解，vocs废气经过第一蓄热体311后进入燃烧室33，若vocs废气温度没有达到分解温度，则燃烧器会启动，继续对vocs废气进行加温直至分解，清扫过程中，第一蓄热体311仍处于“放热”状态，第二蓄热体321处于“蓄热”状态；其中，清扫的时间由清扫风量和第一蓄热室31空间确定；

d)转换蓄热室：关闭第三控制阀423和第二排风阀442，打开第四控制阀424和第一排风阀441，同时关闭第一控制阀421并打开第二控制阀422；

此时第二蓄热体321处于“放热”状态，第一蓄热体311处于“蓄热”状态；处理过程与步骤b)相同，在此不再赘述；

e)暂停vocs废气处理，清扫第二蓄热体321，处理过程与步骤c)相同，在此不再赘述；

f)重复步骤b)～步骤e)，直至停止对vocs废气的处理。

实施例2

如图2所示，本实施是一种工业vocs废气处理系统，本实施例与实施例1的区别在于进风系统的设置不同。

本实施例中，进风系统包括进风管道42，进风管道42上设有三通阀43，三通阀43包括两个进风口和一个出风口，两个进风口分别连通洁净气体气源10和vocs废气源20，出风口通过进风管道42与蓄热式热氧化炉30连通。

实施例3

本实施例是一种工业vocs废气处理方法，该处理方法的处理流程如图3所示，下面将结合图1和图3对本实施例的处理方法做进一步详细说明。

上述工业vocs废气处理方法包括以下步骤：

步骤a)：对蓄热式热氧化炉30的第一蓄热室31和第二蓄热室32进行预热；

步骤b)：预热完成后，打开第三控制阀关闭第四控制阀且打开第二排风阀关闭第一排风阀，同时打开第二控制阀422，关闭第一控制阀421，或，打开三通阀43的连接vocs废气源20的进风口的阀门，关闭三通阀43的连接洁净气体气源10的进风口的阀门，先将vocs废气源20中的vocs废气通过进风系统通入所述第一蓄热室内31，vocs废气在所述第一蓄热室31和燃烧室33内发生分解反应，分解后的气体流经所述第二蓄热室32后经出风系统排出蓄热式热氧化炉30外；

步骤c)：当第一蓄热室31温度下降至600℃后，第一蓄热室内的vocs废气会停止分解反应的进行，此时停止通入vocs废气，并关闭第二控制阀422，打开第一控制阀421，或者，关闭三通阀43的连接vocs废气源20的进风口的阀门，打开三通阀43的连接洁净气体气源10的进风口的阀门，将洁净气体气源10中的洁净气体通过进风系统通入所述蓄热式热氧化炉30中，使残留在第一蓄热室31内的vocs废气在燃烧室33内充分分解后流经所述第二蓄热室32，然后经出风系统排出蓄热式热氧化炉30外；

步骤d)：当步骤c中的残留的vocs废气完全分解后，关闭第三控制阀打开第四控制阀且关闭第二排风阀打开第一排风阀，同时打开第二控制阀422，关闭第一控制阀421，或，打开三通阀43的连接vocs废气源20的进风口的阀门，关闭三通阀43的连接洁净气体气源100的进风口的阀门，将vocs废气源20中的vocs废气通过进风系统通入第二蓄热室32内，vocs废气在第二蓄热室32和燃烧室33内发生分解反应，分解后的气体流经第一蓄热室31，然后经出风系统排出蓄热式热氧化炉30外；

步骤e)：当第二蓄热室32温度下降至600℃后，第一蓄热室内的vocs废气会停止分解反应的进行，此时停止通入vocs废气，并关闭第二控制阀422，打开第一控制阀421，或者，关闭三通阀43的连接vocs废气源20的进风口的阀门，打开三通阀43的连接洁净气体气源10的进风口的阀门，将洁净气体气源10中的洁净气体通过进风系统通入所述蓄热式热氧化炉30中，使残留在第二蓄热室32内的vocs废气在燃烧室33内充分分解后流经第一蓄热室31，然后经出风系统排出蓄热式热氧化炉30外；

步骤f)：重复步骤b)～步骤e)直至停止对vocs废气的处理。

在很多的工业场所以及工厂作业过程中，vocs废气排放并不要求是连续性的，即排放过程中，是允许出现短时间的停排的。如车间、喷漆房、间隙式烘干室、vocs吸附床的脱附过程等。本发明基于这一点，将vocs废气的排放控制和rto蓄热体的状态转换等因素有机的结合在一起，以系统思路来解决vocs废气排放不达标以及三室rto设备复杂、成本高的问题，针对性设计出了上述vocs废气的处理系统及工艺，既能满足废气排放达标的目的，又能极大的降低成本、简化控制程序。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。