专利名称：带波纹管热补偿结构的多晶硅设备双层视镜的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及太阳能光伏技术领域，尤其涉及多晶硅制造设备 中的视镜，特别是一种带波纹管热补偿结构的多晶硅设备双层视镜。
背景技术：
还原炉和氢化炉是多晶硅制备的关键设备，为了能随时监测设备 内部的生产工况，需要在设备上设置一个或多个视镜。目前，常用视 镜的结构相对简单，主要包括上、下法兰、视镜玻璃，视镜玻璃夹持 在上下法兰之间靠法兰螺栓的拧紧力固定。还原炉和氢化炉都是带夹 套设备，还需设置引出管连接视镜和设备本体。引出接管分别与设备 筒体和夹套筒体焊接，另一端与下法兰焊接在一起。由于设备内部反 应温度很高，引出接管受热后产生膨胀，周期性的膨胀收縮会造成引 出接管与夹套筒体处焊缝发生疲劳破坏。设备内部反应产生的多晶硅 颗粒或其他结晶状颗粒很容易附着在视镜玻璃的内表面上，如果得不 到及时清理，从视镜就不能观察设备内部的情况，失去了其应有的作 用。
发明内容
本实用新型的目的在于提供一种带波纹管热补偿结构多晶硅设 备双层视镜，所述的这种带波纹管热补偿结构多晶硅设备双层视镜要 解决现有技术中还原炉和氢化炉的内筒体和夹套温差过大而导致视 镜引出接管受热膨胀、造成引出接管与夹套筒体处焊缝发生疲劳破坏 的技术问题，同时还要解决现有技术中视镜玻璃不能及时清理的技术 问题。
4本实用新型的这种带波纹管热补偿结构的多晶硅设备双层视镜 包括上法兰、下法兰和内接管，其中，所述的内接管的一端通过焊接 结构连接有一个异型锻件管，所述的异型锻件管呈圆锥管状，异型锻 件管的小直径端与内接管连接，内接管的另一端通过焊接结构连接有 一个连接短节，所述的连接短节呈圆柱管状，所述的下法兰套设在连 接短节的外圆周上，下法兰与连接短节通过焊接结构固定连接，内接 管的外周套设有一个波纹管，内接管的外壁与所述的波纹管的内壁之 间设置有间隙，波纹管的一端与下法兰的下端面固定连接，波纹管的 另一端上固定设置有一个环状凸缘，下法兰的上侧设置有一个中间法 兰，所述的上法兰设置在所述的中间法兰的上侧，下法兰、中间法兰 和上法兰通过紧固螺栓固定，下法兰和中间法兰之间设置有一个第一 视镜玻璃，中间法兰和上法兰之间设置有一个第二视镜玻璃。
进一步的，所述的波纹管的一端固定设置有一个连接环，所述的 连接环通过焊接结构与下法兰的下端面连接。
进一步的，下法兰的内圆周壁中设置有一个环形凹槽，下法兰的 侧壁中沿径向设置有一个介质气进口，所述的介质气进口与所述的环 形凹槽内空腔连通，所述的连接短节上沿圆周设置有一个以上数目的 斜孔，任意一个所述的斜孔均连通环形凹槽内空腔和连接短节的内 腔，任意一个斜孔的方向均指向所述的第一视镜玻璃。
进一步的，所述的中间法兰的侧壁中设置有一个冷却水进口和一 个冷却水出口 ，所述的冷却水进口和冷却水出口分别与第一视镜玻璃 和第二视镜玻璃之间的间隙连通。
进一步的，所述的冷却水进口的轴向和冷却水出口的轴向位于中 间法兰的径向方向上。
本实用新型的工作原理是将异型锻件管的大直径端焊接在还原炉或者氢化炉的设备筒体上，波纹管通过其一端的环状凸缘焊接在还 原炉或者氢化炉的夹套筒体上。波纹管和内接管之间的空隙内填充夹 套内的冷却水。当还原炉和氢化炉工作时，和设备相连接的内接管受 热，波纹管和内接管之间的冷却水对内接管进行冷却。同时，由波纹 管吸收内接管的热膨胀。当反应产生的多晶硅颗粒或其他结晶状颗粒 附着在视镜玻璃的内表面时，可以通过介质气进口喷入参与反应的介 质气体进行冲洗，节省了设备停车清洗视镜玻璃的时间，实现了对视 镜玻璃进行在线清洗。通过中间法兰上的冷却水进口和冷却水出口， 可以对第一视镜玻璃和第二视镜玻璃进行冷却清洗，而且两层视镜玻 璃具有更好的防爆功能。
本实用新型和已有技术相比，其效果是积极和明显的。本实用新 型在内接管外套设波纹管，利用波纹管与内接管之间的环状空隙填充 冷却水，对内接管进行冷却，利用波纹管吸收内接管的热膨胀。避免 了温度变化对夹套筒体的影响，从而保证设备的安全运行。本实用新 型在内接管的一端连接了介质气冲洗装置，可以有效在线冲洗视镜玻 璃的内表面，节省了设备停车清洗视镜玻璃的时间。在第一视镜玻璃 和第二视镜玻璃之间设置了冷却水通道，可以对第一视镜玻璃和第二 视镜玻璃进行冷却清洗，而且两层视镜玻璃具有更好的防爆功能。
图1是本实用新型的带波纹管热补偿结构的多晶硅设备双层视镜 结构示意图。
其中，l表示介质气进口、 2表示冷却水进口、 3表示中间法兰、 4表示紧固螺钉、5表示第一视镜玻璃、6表示第二视镜玻璃、7表 示上法兰、8表示冷却水出口、 9表示下法兰、IO表示连接短节、 ll表示波纹管、12表示异型锻件管、13表示下凸缘、14表示内接管、15表示连接环。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的具体结构作进一步描述。
如图1所示，本实用新型的带波纹管热补偿结构的多晶硅设备双
层视镜由上法兰7、下法兰9和内接管14构成，其中，所述的内接 管14的一端通过焊接结构连接有一个异型锻件管12，所述的异型锻 件管12呈圆锥管状，异型锻件管12的小直径端与内接管14连接， 内接管14的另一端通过焊接结构连接有一个连接短节10，所述的连 接短节10呈圆柱管状，所述的下法兰9套设在连接短节10的外圆周 上，下法兰9与连接短节10通过焊接结构固定连接，内接管14的外 周套设有一个波纹管11，内接管14的外壁与所述的波纹管11的内 壁之间设置有间隙，波纹管11的一端与下法兰9的下端面固定连接， 波纹管11的另一端上固定设置有一个环状凸缘13，下法兰9的上侧 设置有一个中间法兰3，所述的上法兰7设置在所述的中间法兰3的 上侧，下法兰9、中间法兰3和上法兰7通过紧固螺栓4固定，下法 兰9和中间法兰3之间设置有一个第一视镜玻璃5，中间法兰3和上 法兰7之间设置有一个第二视镜玻璃6。
进一步的，所述的波纹管11的一端固定设置有一个连接环15， 所述的连接环15通过焊接结构与下法兰9的下端面连接。
进一步的，下法兰9的内圆周壁中设置有一个环形凹槽，下法兰 9的侧壁中沿径向设置有一个介质气进口 1，所述的介质气进口 1与 所述的环形凹槽内空腔连通，所述的连接短节10上沿圆周设置有一 个以上数目的斜孔，任意一个所述的斜孔均连通环形凹槽内空腔和连 接短节10的内腔，任意一个斜孔的方向均指向所述的第一视镜玻璃进一步的，所述的中间法兰3的侧壁中设置有一个冷却水进口 2
和一个冷却水出口 8，所述的冷却水进口 2和冷却水出口 8分别与第 一视镜玻璃5和第二视镜玻璃6之间的间隙连通。
进一步的，所述的冷却水进口 2的轴向和冷却水出口 8的轴向位 于中间法兰3的径向方向上。
本实施例的工作过程是将异型锻件管12的大直径端焯接在还 原炉或者氢化炉的设备筒体上，波纹管11通过其一端的环状凸缘13 焊接在还原炉或者氢化炉的夹套筒体上。波纹管11和内接管14之间 的空隙内填充夹套内的冷却水。当还原炉和氢化炉工作时，和设备相 连接的内接管14受热，波纹管11和内接管14之间的冷却水对内接 管14进行冷却。同时，由波纹管11吸收内接管14的热膨胀。当反 应产生的多晶硅颗粒或其他结晶状颗粒附着在视镜玻璃的内表面时， 可以通过介质气进口 1喷入参与反应的介质气体进行冲洗，节省了设 备停车清洗视镜玻璃的时间，实现了对视镜玻璃进行在线清洗。通过 中间法兰3上的冷却水进口 2和冷却水出口 8，可以对第一视镜玻璃 5和第二视镜玻璃6进行冷却清洗，而且两层视镜玻璃具有更好的防 爆功能。
权利要求1.一种带波纹管热补偿结构的多晶硅设备双层视镜，包括上法兰、下法兰和内接管，其特征在于所述的内接管的一端通过焊接结构连接有一个异型锻件管，所述的异型锻件管呈圆锥管状，异型锻件管的小直径端与内接管连接，内接管的另一端通过焊接结构连接有一个连接短节，所述的连接短节呈圆柱管状，所述的下法兰套设在连接短节的外圆周上，下法兰与连接短节通过焊接结构固定连接，内接管的外周套设有一个波纹管，内接管的外壁与所述的波纹管的内壁之间设置有间隙，波纹管的一端与下法兰的下端面固定连接，波纹管的另一端上固定设置有一个环状凸缘，下法兰的上侧设置有一个中间法兰，所述的上法兰设置在所述的中间法兰的上侧，下法兰、中间法兰和上法兰通过紧固螺栓固定，下法兰和中间法兰之间设置有一个第一视镜玻璃，中间法兰和上法兰之间设置有一个第二视镜玻璃。
2. 根据权利要求1所述的带波纹管热补偿结构的多晶硅设备双层 视镜，其特征在于所述的波纹管的一端固定设置有一个连接环， 所述的连接环通过焊接结构与下法兰的下端面连接。
3. 根据权利要求1所述的带波纹管热补偿结构的多晶硅设备双层 视镜，其特征在于下法兰的内圆周壁中设置有一个环形凹槽， 下法兰的侧壁中沿径向设置有一个介质气进口，所述的介质气进 口与所述的环形凹槽内空腔连通，所述的连接短节上沿圆周设置 有一个以上数目的斜孔，任意一个所述的斜孔均连通环形凹槽内 空腔和连接短节的内腔，任意一个斜孔的方向均指向所述的第一 视镜玻璃。
4. 根据权利要求1所述的带波纹管热补偿结构的多晶硅设备双层视镜，其特征在于所述的中间法兰的侧壁中设置有一个冷却水 进口和一个冷却水出口 ，所述的冷却水进口和冷却水出口分别与第一视镜玻璃和第二视镜玻璃之间的间隙连通。
5. 根据权利要求4所述的带波纹管热补偿结构的多晶硅设备双层 视镜，其特征在于所述的冷却水进口的轴向和冷却水出口的轴 向位于中间法兰的径向方向上。
专利摘要一种带波纹管热补偿结构的多晶硅设备双层视镜，包括上法兰、下法兰和内接管，内接管的一端连接有异型锻件管，异型锻件管的小直径端与内接管连接，内接管的另一端连接有连接短节，下法兰套设在连接短节的外圆周上，下法兰与连接短节连接，内接管的外周套设有一个波纹管，内接管的外壁与波纹管的内壁之间设置有间隙，波纹管的一端与下法兰的下端面固定连接，波纹管的另一端上固定设置有环状凸缘，下法兰的上侧设置有中间法兰，上法兰设置在中间法兰的上侧，下法兰、中间法兰和上法兰通过紧固螺栓固定，下法兰和中间法兰之间设置有第一视镜玻璃，中间法兰和上法兰之间设置有第二视镜玻璃。波纹管吸收内接管的热膨胀，保证设备安全运行。
文档编号F27B17/00GK201302372SQ20082015456
公开日2009年9月2日 申请日期2008年10月28日 优先权日2008年10月28日
发明者周积卫, 程佳彪, 茅陆荣, 郝振良 申请人:上海森松新能源设备有限公司