专利名称：一种气瓶组真空干燥装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种气体设备，尤其是一种气瓶组真空干燥装置。
背景技术：
常用的气瓶组真空干燥装置其最终的真空度一般为5 ~ 10 x 10 —2Pa，其结
构组成通常包括真空泵、截止阀、真空压力表、气管、干燥箱、气瓶夹具、
波紋管、填气阀和放空阀，如周文国在1993年第二期《深冷技术》上发表的
d高纯度气瓶干燥抽真空最佳操作方法3 —文中就提到上述的气瓶组真空干
燥装置。然而上述的装置抽气速率低，精确度差，真空度也不能满足现有高
纯度气瓶的需求。 发明内容
针对上述存在问题，本发明提供一种气瓶组真空干燥装置，通过结构的 改变，可以
为了达到以上目的，本发明采取以下技术方案， 一种气瓶组真空干燥装 置，主要包括抽真空装置、阀门、真空压力表、气管、干燥箱、气瓶夹具、 气瓶接口、波紋管、填气阀和放空阀，阀门安装在抽真空装置与气管之间， 其特征在于所述抽真空装置为罗茨真空机组。
本发明具有以下优点大大提高了抽气效率，同时降低了真空度，提高 了精确性。
图1为本发明实施例的结构示意图
1、罗茨真空机组 2、真空蝶阀 3、气管 4、排空阀 5、填 气阀 6、气瓶接口 7、气瓶夹具 8、波紋管 9、干燥箱 10、热偶真空仪 11、真空规管 12、真空压力表 13、压力表阀
14、密闭箱
具体实施方式
以下结合附图对本发明作进一步说明。 实施例一
如图1所示，本发明的一种气瓶组真空干燥装置，主要包括抽真空装置 (本专利中用是的罗茨真空机组l)、阀门(本专利中用的是真空蝶阀2)、真 空压力表12、气管3、干燥箱9、气瓶接口 6、气瓶夹具7、波紋管8、填气 阀5和放空阀4，罗茨真空机组1与气管通过真空蝶阀2连接，真空压力表 12、填气阀5和放空阀4通过管路连接在气管近真空蝶阀2端，气管3通过 气瓶接口 6、波紋管8、气瓶夹具7与待真空干燥气瓶连接，待真空干燥气瓶 摆放在干燥箱9内(通常有多组待真空干燥气瓶，相应干燥箱就有多个)，为 了安全，通常干燥箱9会安放在一密闭箱14中。 实施例二
同实施例一的一种气瓶组真空干燥装置，其不同之处在于所述气管3 近气瓶接口端安装有一热偶真空仪10，热偶真空仪10通过真空规管11与气 管连接。由于热偶真空仪10的精度达0.1Pa，所以可以更精确的控制真空度。
除上述实施例外，本发明还可以有其他实施方式。凡采用等同替换或等 效变换形成的技术方案，均落在本发明要求的保护范围内。
权利要求1、一种气瓶组真空干燥装置，主要包括抽真空装置、阀门、真空压力表、气管、干燥箱、气瓶夹具、气瓶接口、波纹管、填气阀和放空阀，阀门安装在抽真空装置与气管之间，其特征在于所述抽真空装置为罗茨真空机组。
2、 根据权利要求l所述的一种气瓶组真空干燥装置，其特征在于所述 阀门为真空蝶阀。
3、 根据权利要求2所述的一种气瓶组真空干燥装置，其特征在于所述 气管近气瓶接口端安装有一热偶真空仪，热偶真空仪通过真空规管11与气管 连接。
4、 根据权利要求3所述的一种气瓶组真空干燥装置，其特征在于所述 干燥箱安装在密闭箱里。
专利摘要一种气瓶组真空干燥装置，主要包括抽真空装置、阀门、真空压力表、气管、干燥箱、气瓶夹具、气瓶接口、波纹管、填气阀和放空阀，阀门安装在抽真空装置与气管之间，其特征在于所述抽真空装置为罗茨真空机组。本实用新型具有以下优点大大提高了抽气效率，同时降低了真空度，提高了精确性。
文档编号F26B5/04GK201311160SQ20082016190
公开日2009年9月16日 申请日期2008年10月15日 优先权日2008年10月15日
发明者韦须林 申请人:江苏亚洲气体设备有限公司