专利名称：一种硅片旋转甩干装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种机械装置，尤其涉及一种干燥既全面又彻底、成本较低的硅
片旋转甩干装置。
背景技术：
传统的装置具有以下的不足之处1)干燥程度不彻底、不全面；2)成本较高、性价比不高。
实用新型内容为了克服现有技术中的缺陷，本实用新型提供一种干燥既全面又彻底、成本较低的硅片旋转甩干装置。 本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是 —种硅片旋转甩干装置，包括一槽体，该槽体中心位置具有一旋转轴，该旋转轴自上而下设有轴承、花篮，所述旋转轴的下端与一同步带轮相连接，该同步带轮上缠绕有同步带，所述槽体的左方设有一花篮。 所述轴承设于轴承座，所述花篮设于花篮托盘内。
由于采用了上述技术方案，本实用新型具有如下的有益效果 干燥程度更加全面、更加彻底；制造成本更加低廉，性价比大大提升。
图1是本实用新型的剖视图。
具体实施方式
以下结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。 —种硅片旋转甩干装置，包括一槽体，该槽体中心位置具有一旋转轴，该旋转轴自
上而下设有轴承、花篮，所述旋转轴的下端与一同步带轮相连接，该同步带轮上缠绕有同步带，所述槽体的左方设有一花篮。 所述轴承设于轴承座，所述花篮设于花篮托盘内。 本实用新型的优点在于干燥程度更加全面、更加彻底；制造成本更加低廉，性价比大大提升。 显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为清楚地说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无法对所有的实施方式予以穷举。凡是属于本实用新型的技术方案所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型的保护范围之列。
权利要求一种硅片旋转甩干装置，其特征在于包括一槽体，该槽体中心位置具有一旋转轴，该旋转轴自上而下设有轴承、花篮，所述旋转轴的下端与一同步带轮相连接，该同步带轮上缠绕有同步带，所述槽体的左方设有一花篮。
2. 根据权利要求l所述的硅片旋转甩干装置，其特征在于所述轴承设于轴承座，所述花篮设于花篮托盘内。
专利摘要本实用新型涉及一种机械装置，具体公开了一种硅片旋转甩干装置，包括一槽体，该槽体中心位置具有一旋转轴，该旋转轴自上而下设有轴承、花篮，所述旋转轴的下端与一同步带轮相连接，该同步带轮上缠绕有同步带，所述槽体的左方设有一花篮。所述轴承设于轴承座，所述花篮设于花篮托盘内。本实用新型具有干燥更全面、更彻底，制造成本低、性价比高的优点。
文档编号F26B5/08GK201488476SQ200920150860
公开日2010年5月26日 申请日期2009年6月10日 优先权日2009年6月10日
发明者耿彪 申请人:耿彪