具有温湿度调节功能的空气洗涤装置的制作方法

文档序号:4743520阅读:252来源:国知局
专利名称:具有温湿度调节功能的空气洗涤装置的制作方法
技术领域
本实用新型为一种具有温湿度调节功能的空气洗涤装置,尤指该离子吸附板体可以物理方式吸附滤除该气体分子污染物,而离子吸附板体所吸附的污染物可经由水冲刷下来,而可长期重复使用,进而可使本实用新型可达到提升使用便利性及降低成本的功效,又凭借该本实用新型其水温控制装置,以达到温度及湿度调节功效的目的。
背景技术
—般半导体或面板产业的无尘室(clean room),除了必须控制厂房内温度及湿度,也要针对空气中含有的酸、碱及有机类等气体分子污染物(Airborne MolecularContamination,AMC)加以处理并排除,否则该多种气体分子污染物可能会影响无尘室内各种精密昂贵的机器设备,特别是光学类元件例如液晶面板产业的曝光机(Aligner)的光学 镜片,请参阅图I所示,目前业界普遍采用化学滤网10来滤除该气体分子污染物,其是利用化学酸碱中和的原理,当一含有气体分子污染物的外在气体Al通过该洒水器2的水泵20将水201通过喷管21洒出,即可将含有杂质的气体沉淀后,该外在气体Al再通过该化学滤网10,使该外在气体Al内的气体分子污染物便会与该化学滤网10产生酸碱中和反应,而可使通过该化学滤网10的外在气体Al,成为不含气体分子污染物的工作气体A2,进而可使该化学滤网10及洒水器2可达到滤除气体分子污染物的目的。该现有的化学滤网10,虽可达到滤除气体分子污染物的目的,但该化学滤网10须定时或依使用情况更换,因该化学滤网10所吸附的污染物经由使用者取出后无法再生重复使用,又因其过滤原理为化学的酸碱中和,故单一种类的化学滤网10通常只能滤除单一的酸性或碱性气体分子污染物,如欲达到较完整的滤除效果,便须同时使用两种以上的化学滤网10,进而造成使用上不便及成本增加,因此实有改进的必要,又该现有的洒水器2,虽可达到沉淀含有杂质的气体,但该洒水器2无温度调节的功能,因此当温度太高或太低时,无法进行温度调节,而导致影响工作气体A2温度的缺失,进而导致无尘室内各种精密昂贵的机器设备的环境条件。是故,如何将上述等缺失加以摒除,即为本实用新型的设计人所欲解决的技术困难点的所在。
发明内容有鉴于现有的化学滤网,因其须定时更换,无法重复使用,进而造成使用上不便及成本增加,该现有的洒水器,无温度调节功能,进而造成影响工作气体,因此本实用新型的目的在于提供一种具有温湿度调节功能的空气洗涤装置,凭借该离子吸附板体可以物理方式吸附滤除该气体分子污染物,而离子吸附板体所吸附的污染物可经由水冲刷下来,而可长期重复使用,进而可使本实用新型可达到提升使用便利性及降低成本的功效,又凭借该本实用新型其水温控制装置,以达到温度及湿度调节功效的目的。为达成以上的目的,本实用新型提供一种具有温湿度调节功能的空气洗涤装置,其包含—壳体,该壳体设有入风口与出风口 ;一气体分子污染物去除装置,该气体分子污染物去除装置设于该壳体内,该气体分子污染去除装置内设有水泵及喷管,该喷管与水泵相连接,该气体分子污染物去除装置包含有至少一个离子吸附板体,该每一离子吸附板体包含有至少一个温度调节导管,该气体分子污染物去除装置设有水温控制装置,该水温控制装置与每一温度调节导管相连接。所述的具有温湿度调节功能的空气洗涤装置,其中,该离子吸附板体的数量为至少一个,该离子吸附板体的材质为陶瓷、铝、铜或不锈钢,该离子吸附板体为平板、波浪板或波浪状的蜂巢板。所述的具有温湿度调节功能的空气洗涤装置,其中,该壳体内进一步包含有风机,该风机位于出风口一侧。 所述的具有温湿度调节功能的空气洗涤装置,其中,更进一步包含有一第一滤网,该第一滤网设于入风口与气体分子污染物去除装置之间。所述的具有温湿度调节功能的空气洗涤装置,其中,更进一步包含有一第二滤网,该第二滤网设于风机与出风口之间。本实用新型还提供一种具有温湿度调节功能的空气洗涤装置,其包含—壳体,该壳体设有入风口与出风口 ;一气体分子污染物去除装置,该气体分子污染物去除装置设于该壳体内,该气体分子污染去除装置内设有水泵、至少一个喷管及水温控制装置,该水温控制装置与水泵相连接,该水温控制装置与每一喷管相连接,该气体分子污染物去除装置设有收纳槽,该收纳槽位于喷管下方。所述的具有温湿度调节功能的空气洗涤装置,其中,该壳体内进一步包含有风机,该风机位于出风口一侧。所述的具有温湿度调节功能的空气洗涤装置,其中,更进一步包含有一第一滤网,该第一滤网设于入风口与气体分子污染物去除装置之间。所述的具有温湿度调节功能的空气洗涤装置,其中,更进一步包含有一第二滤网,该第二滤网设于风机与出风口之间。所述的具有温湿度调节功能的空气洗涤装置,其中,该收纳槽内设有至少一个离子吸附板体,该离子吸附板体的材质为陶瓷、铝、铜或不锈钢,该离子吸附板体为平板、波浪板或波浪状的蜂巢板。本实用新型的有益效果是凭借该离子吸附板体可以物理方式吸附滤除该气体分子污染物,而离子吸附板体所吸附的污染物可经由水冲刷下来,而可长期重复使用,进而可使本实用新型可达到提升使用便利性及降低成本的功效,又凭借该本实用新型其水温控制装置,以达到温度及湿度调节功效的目的。

图I为背景技术的动作示意图;图2为本实用新型的架构方块示意图;图3为本实用新型的气体流动示意图;[0024]图3A为本实用新型的气体分子污染物去除装置局部架构示意图;图4为本实用新型其第二实施例的架构方块示意图;图4A为本实用新型其第二实施例的气体分子污染物去除装置局部架构示意图;图5为本实用新型其第三实施例的架构方块示意图;图5A为本实用新型其第三实施例的气体分子污染物去除装置局部架构示意图。附图标记说明10_化学滤网;2_洒水器;20_水泵;201_水;21_喷管;3-壳体;31-入风口 ;32_出风口 ;33_第一滤网;34_第二滤网;35_气体流道;4-气体分子污染物去除装置;40_离子吸附板体;41_水泵;42_喷管;421_水;422_含有杂质的水分;43_水温控制装置;44_温度调节导管;45_收纳槽;6_风机;A1-外在气体;A2-工作气体。
具体实施方式
为使贵审查员方便简捷了解本实用新型的其他特征内容与优点及其所达成的功效能够更为显现,兹将本实用新型配合附图,详细说明如下请参阅图2所示,本实用新型提供一种具有温湿度调节功能的空气洗涤装置,其包含一壳体3,该壳体3设有入风口 31与出风口 32,该入风口 31与出风口 32之间形成有一气体流道35,该壳体内可进一步包含有风机6,该风机6位于出风口 32 —侧;一气体分子污染物去除装置4,该气体分子污染物去除装置4设于该壳体3内,该气体分子污染物去除装置4位于该气体流道35上,该气体分子污染去除装置4内设有水泵41及喷管42,该喷管42与水泵41相连接,该气体分子污染物去除装置4包含有至少一个离子吸附板体40,该每一离子吸附板体40包含有至少一个温度调节导管44,该喷管42位于离子吸附板体40上方,该气体分子污染物去除装置4设有水温控制装置43,该水温控制装置43与每一温度调节导管44相连接,该离子吸附板体40的材质可为陶瓷、铝、铜或不锈钢,该离子吸附板体40可为平板、波浪板或波浪状的蜂巢板;请再参阅图2所示,本实用新型尚可进一步包含有一第一滤网33或一第二滤网34,其中该第一滤网33设于该壳体3其入风口 31与该气体分子污染物去除装置4之间,该第二滤网34则设于该风机6与该壳体3的出风口 32之间,该第一滤网33或第二滤网34可为 HEPA (High Efficiency Particulate Air,高效空气微粒子过滤)滤网或为 ULPA (UltraLow Penetration Air,超低穿透空气微粒子过滤)滤网,通过本实用新型尚进一步包含有该第一滤网33或第二滤网34,且该第一滤网33或第二滤网34为HEPA滤网或为ULPA滤网,而使该第一滤网33或第二滤网34可滤除空气中的微尘粒子,进而可使本实用新型兼具有更佳空气清净效果的功效;请再参阅图3、图3A所示,通过本实用新型其气体分子污染物去除装置4内设有水泵41,该水泵41设有喷管42,该喷管42与水泵41相连接,该气体分子污染物去除装置
4内设有离子吸附板体40,又该离子吸附板体40包含有至少一个温度调节导管44,该气体分子污染物去除装置4内设有水温控制装置43,该水温控制装置43与离子吸附板体40的每一温度调节导管44相连接,当该外在气体Al经由气体分子污染物去除装置4作用时,通过水泵41的喷管42将水421洒出而使该外在气体Al内含其杂质沉淀,再通过该离子吸附板体40可以物理方式吸附该外在气体Al所含的气体分子污染物,可使通过该离子吸附板体40的外在气体Al不再含有该气体分子污染物,而离子吸附板体40所吸附的污染物可经由水冲刷下来,而使离子吸附板体40可重复使用,又通过该气体分子污染物去除装置4内设有水温控制装置43,该水温控制装置43与离子吸附板体40的每一温度调节导管44相连接,当该气体温度太低或过高时,即可通过该水温控制装置43可导入热水或冷水,而使该气体达到降温或升温的功效,进而达到温度调节功能的目的,同时,通过该水温控制装置43也可通过水温控制空气湿度,当该温度提升时,即会使离子吸附板体40表层水膜的水蒸气分压提升,使水分子由离子吸附板体40表面往空气扩散,进而造成湿度提升,若当该温度降低时,即会使离子吸附板体40表层水膜的水蒸气分压降低,使水分子由空气往离子吸附板体40表面扩散,进而造成湿度降低,以达到控制外在气体Al湿度的目的,而使该外在气体Al成为符合无尘室或使用者的温湿度要求且不含气体分子污染物的工作气体A2,该工作气体A2可再通过该风机6的动力导引作用,经由该出风口 32离开该壳体3,以供无尘室或使用者使用,进而可使本实用新型可达到滤除气体分子污染物的目的;请参阅图4所示,本实用新型也提供一种具有温湿度调节功能的空气洗涤装置,其包含 一壳体3,该壳体3设有入风口 31与出风口 32,该入风口 31与出风口 32之间形成有一气体流道35,该壳体内可进一步包含有风机6,该风机6位于出风口 32 —侧;一气体分子污染物去除装置4,该气体分子污染物去除装置4设于该壳体3内,该气体分子污染物去除装置4位于该气体流道35上,该气体分子污染去除装置4内设有水泵41、至少一个喷管42及水温控制装置43,该水温控制装置43与水泵41相连接,该水温控制装置43与每一喷管42相连接,该气体分子污染物去除装置4设有收纳槽45,该收纳槽45位于喷管42下方,再者,请参阅第五图所示,该气体分子污染物去除装置4的收纳槽45内可设有至少一个离子吸附板体40,该离子吸附板体40的材质可为陶瓷、铝、铜或不锈钢,该离子吸附板体40为平板、波浪板或波浪状的蜂巢板,进而达到更佳吸附气体分子污染物的功效;请参阅图4A所示,当该外在气体Al经由气体分子污染物去除装置4作用时,通过水泵41的喷管42将水421洒出而使该外在气体Al内含其杂质沉淀,并通过该收纳槽45位于喷管42下方,即可将含有杂质的水分422收纳集中的功效,又通过该水泵41设有水温控制装置43,当该气体温度太低或过高时,即可凭借该水温控制装置43可将水温升高或降低,而使该气体达到升温或降温的功效,进而达到温度调节功能的功效;请再参阅图5、图5A所示,该本实用新型另一实施例,于本实用新型其收纳槽45内设有离子吸附板体40,进而达到更佳吸附气体分子污染物的功效;请再参阅图3、图5所示,凭借该气体分子污染物去除装置4的离子吸附板体40以物理方式吸附滤除该气体分子污染物,而可长期重复使用,进可排除现有化学滤网10须定时更换,因现有化学滤网10所吸附的污染物经由使用者取出后无法再生重复使用,导致使用不便及成本增加的缺失,进而可使本实用新型可达到提升使用便利性及降低成本的功效;该离子吸附板体40的数量为至少一个,当通过第一个离子吸附板体40的外在气体Al其内含的气体分子污染物因与空气中的水分接触而反应产生其他类型的气体分子污染物时,该其他类型的气体分子污染物仍会被第二个离子吸附板体40所吸附滤除,进而可使本实用新型兼具可达到更佳过滤效果的功效;再通过本实用新型设有水温控制装置43,而可调整控制空气的温度及湿度,进而可使本实用新型达到温度调节功能且兼具恒湿的功效。为使本实用新型更加显现出其进步性与实用性,兹与现有作一比较分析如下现有技术I、化学滤网须定时更换,无法重复使用,使用上 较不方便。2、使用成本较高。本实用新型优点I、离子吸附板体可长期重复使用,无须更换,使用较便利。2、使用成本较低。3、温度及湿度调节的功效。
权利要求1.一种具有温湿度调节功能的空气洗涤装置,其特征在于,包含 一壳体,该壳体设有入风口与出风口; 一气体分子污染物去除装置,该气体分子污染物去除装置设于该壳体内,该气体分子污染去除装置内设有水泵及喷管,该喷管与水泵相连接,该气体分子污染物去除装置包含有至少一个离子吸附板体,该每一离子吸附板体包含有至少一个温度调节导管,该气体分子污染物去除装置设有水温控制装置,该水温控制装置与每一温度调节导管相连接。
2.如权利要求I所述的具有温湿度调节功能的空气洗涤装置,其特征在于,该离子吸附板体的数量为至少一个,该离子吸附板体的材质为陶瓷、铝、铜或不锈钢,该离子吸附板体为平板、波浪板或波浪状的蜂巢板。
3.如权利要求I所述的具有温湿度调节功能的空气洗涤装置,其特征在于,该壳体内进一步包含有风机,该风机位于出风口一侧。
4.如权利要求I所述的具有温湿度调节功能的空气洗涤装置,其特征在于,更进一步包含有一第一滤网,该第一滤网设于入风口与气体分子污染物去除装置之间。
5.如权利要求3所述的具有温湿度调节功能的空气洗涤装置,其特征在于,更进一步包含有一第二滤网,该第二滤网设于风机与出风口之间。
6.一种具有温湿度调节功能的空气洗涤装置,其特征在于,包含 一壳体,该壳体设有入风口与出风口 ; 一气体分子污染物去除装置,该气体分子污染物去除装置设于该壳体内,该气体分子污染去除装置内设有水泵、至少一个喷管及水温控制装置,该水温控制装置与水泵相连接,该水温控制装置与每一喷管相连接,该气体分子污染物去除装置设有收纳槽,该收纳槽位于喷管下方。
7.如权利要求6所述的具有温湿度调节功能的空气洗涤装置,其特征在于,该壳体内进一步包含有风机,该风机位于出风口一侧。
8.如权利要求6所述的具有温湿度调节功能的空气洗涤装置,其特征在于,更进一步包含有一第一滤网,该第一滤网设于入风口与气体分子污染物去除装置之间。
9.如权利要求7所述的具有温湿度调节功能的空气洗涤装置,其特征在于,更进一步包含有一第二滤网,该第二滤网设于风机与出风口之间。
10.如权利要求6所述的具有温湿度调节功能的空气洗涤装置,其特征在于,该收纳槽内设有至少一个离子吸附板体,该离子吸附板体的材质为陶瓷、铝、铜或不锈钢,该离子吸附板体为平板、波浪板或波浪状的蜂巢板。
专利摘要本实用新型提供一种具有温湿度调节功能的空气洗涤装置,其包含一壳体,该壳体设有入风口与出风口;一气体分子污染物去除装置,该气体分子污染物去除装置设于该壳体内,该气体分子污染物去除装置包含有水温控制装置及至少一个离子吸附板体,该离子吸附板体包含有至少一个温度调节导管;通过该离子吸附板体可以物理方式吸附滤除该气体分子污染物,而离子吸附板体所吸附的污染物可经由水冲刷下来,而可长期重复使用,进而可使本实用新型可达到提升使用便利性及降低成本的功效,又通过该本实用新型其水温控制装置,以达到温度及湿度调节功效的目的。
文档编号F24F1/02GK202561916SQ20122012346
公开日2012年11月28日 申请日期2012年3月28日 优先权日2012年3月28日
发明者郭祐甫 申请人:奇鼎科技股份有限公司
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